• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2009.02a
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• pp.335-336
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• 2009

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 2004.08a
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• pp.129-134
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• 2004

The development of fabrication processes of polycrystalline-silicon-thin-film transistors (poly-Si TFTs) at low temperatures is reviewed. Rapid crystallization through laser-induced melt-regrowth has an advantage of formation of crystalline silicon films at a low thermal budget. Solid phase crystallization techniques have also been improved for low temperature processing. Passivation of $SiO_2$/Si interface and grain boundaries is important to achieve high carrier transport properties. Oxygen plasma and $H_2O$ vapor heat treatments are proposed for effective reduction of the density of defect states. TFTs with high performance is reported.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2013.05a
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• pp.99-99
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• 2013

레이저를 이용해 포획된 플라즈마 입자는 검은 색의 입자들로 구성된다. 본 연구에서는 RF 소스전력을 변화시키면서 입자분포의 변이를 살펴보았다. RF 소스전력의 변화에 따라 암흑입자의 수는 선형적으로 증가하였고, 이는 optical emission spectroscopy를 이용해서 측정한 데이터 와도 일치하였다. 선형적 증가는 입자 분포가 플라즈마 감시에 효과적으로 응용될 수 있음을 의미한다.

• Proceedings of the KWS Conference
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• v.43
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• pp.49-51
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• 2004

레이저 아크 하이브리드 용접에서 보호가스로 헬륨을 사용하였을 때 레이저에 의해 발생하는 금속 증기가 아크 플라즈마의 거동에 미치는 영향에 관하여 시뮬레이션 하였다. 해석에 필요한 기본적인 물성치들은 헬륨과 금속 증기의 부분압에 따라 비율로서 결정하였고 아르곤을 사용하였을 때와 비교하여 헬륨 플라즈마의 특성을 파악하였다. 또한 보호가스의 종류에 따라 레이저 빔의 흡수율을 계산하여 고옥의 플라즈마가 발생할 때 헬륨 보호가스가 적당함을 보였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2009.07a
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• pp.1410_1411
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• 2009

본 연구에서는 고전압·방전, Laser Beam, Plasma 공학분야 등에 있어서 중요한 현상 중의 하나로 대두되고 있는 Pulse Power 현상과 관련하여 고전압 단 펄스 발생장치(Pulse Width =10 ns, Pulse Height = 3kV) 시스템을 제작 하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.529-529
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• 2013

플라즈마를 진단하는 데에는 장비적으로나 현실적으로 많은 제약이 따른다. 따라서 측정 할 수 있는 parameter가 적다. 그리고 진단 장비의 성능에 따라서 측정된 data의 신뢰도가 결정된다. 그래서 플라즈마에 레이저를 쏘아서 생성되는 솔리톤의 RADIATION을 이용하여 플라즈마의 특성을 파악하려고 한다. 본 시뮬레이션은 Particle-In-Cell (PIC) 시뮬레이션을 이용하여 Underdense 플라즈마에 Terahertz 레이저를 쏘았을 경우 발생되는 솔리톤의 특성을 파악하였다. 2D 시뮬레이션으로 수행하였으며 플라즈마는 Underdense 플라즈마를 이용하였다. 레이저 Focusing 점의 위치와 솔리톤의 주파수, 플라즈마의 밀도 gradient 에 따른 솔리톤의 이동 및 특징, 플라즈마 밀도에 따른 솔리톤의 특징을 살펴보았다.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 2005.07b
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• pp.1320-1322
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• 2005

Microcrystalline silicon films were deposited on glass substrate by using plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method. The crystalline volume fraction was estimated by means of Raman spectrometer with argon laser as light source. The high hydrogen dilution of silane gas was used for increase in content of crystal silicon phase.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 1991.06a
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• pp.80-80
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• 1991

1 GW급 옥소레이저를 직경과 깊이가 각각 0.5 mm에서 1.5 mm 사이에 있는 12 종류의 몰리브덴(Mo, Z=42) 홈 표적에 집속시켜서 발생하는 X-선의 세기를 측정하였다. 이때의 X-선 세기를 평면 표적의 경우와 비교하여 홈 표적에서의 효과를 조사하였다. X-선의 세기는 20 A 이하의 단파장을 통과시키는 필터뒤에 X-선 두어 측정하였으며 홈 표적에서의 X-선 세기는 평면 표적의 약 2 배가 됨을 보았다. 이 결과는 홈 표적에서의 플라즈마 감금효과에 의해 정성적으로ㅅ 성명 되었다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2007.02a
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• pp.189-190
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• 2007

• Proceedings of the KWS Conference
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• 2003.11a
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• pp.27-29
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• 2003

최근 레이저와 아크를 동시에 사용하여 용접 속도와 품질을 향상시킬 수 있는 하이브리드 용접 기술이 개발되어 활발히 연구가 진행되고 있다. 레이저와 아크를 동시에 사용하게 되면 각각의 열원이 서로 영향을 주어 새로운 용접 열원으로서 동작하게 되는데 특히 레이저에 의해서 발생하는 모재의 금속 증기는 아크 플라즈마의 안정화를 가져오는 것으로 알려져 있다. 또한 금속 증기 속의 이온과 전자가 아크 플라즈마의 음극점을 형성하는데 도움을 줌으로써 플라즈마의 국부적인 온도 상승을 가져오게 된다. 본 연구에서는 effective electrical potential 개념을 도입하여 이러한 현상을 해석하였고 용접 조건에 따른 플라즈마의 거동 변화를 시뮬레이션 하였다.