• 제목/요약/키워드: Junction depth

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RTA 후 FA 공정을 포함한 $P^{+}$-n 박막 접합 특성 (Characteristics of Shallow $P^{+}$-n Junctions Including the FA Process after RTA)

  • 한명석;김재영;이충근;홍신남
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제39권5호
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    • pp.16-22
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    • 2002
  • 본 논문에서는 선비정질화 이온주입과 BPSG(boro-phosphosilicate glass)를 위한 FA(furnace anneal) 공정이 적용된 양질의 p/sup +/-n 박막 접합을 형성하는 공정 조건을 제시하였다. 단결정 실리콘 기판을 As과 Ge 이온으로 45keV와 3×10/sup 14/cm/sup -2/로 주입하여 선비정질화 하였으며, p형 이온으로는 BF₂ 이온을 20keV, 2×10/sup 15/cm/sup -2/로 주입하였다. 고온 열처리는 furnace와 급속 열처기로 수행하였으며, 급속 열처리 온도는 950∼1050℃이며 FA는 BPSG 공정을 위해 850℃/4O분간 수행하였다. 박막 접합의 특성을 고려하기 위해 접합깊이, 면저항 및 다이오드 누설 전류를 측정 ·분석하였다. Ge 이온으로 선비정질화 하였을 경우 As 이온보다 대부분의 접합 특성에서 우수한 결과를 나타내었다. Ge으로 선비정질화하고 1000℃의 RTA를 수행한 경우에 가장 양호한 특성을 나타내었으며, FA를 포함한 경우에는 RTA 1050℃+FA의 열처리 조건에서 Ge 이온으로 선비정질화 했을 때 면저항과 접합깊이의 곱 및 누설 전류에서 양호한 특성을 나타내었다.

Tectonic Features of a Triple-Plate Junction in Hokkaido Using Local Seismic Tomography

  • Kim, So-Gu;Bae, Hyung-Sub;Pak, Sang-Pyo
    • 대한지질공학회:학술대회논문집
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    • 대한지질공학회 2005년도 정기총회 및 학술발표회
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    • pp.101-106
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    • 2005
  • 일본 훗카이도와 그 주변 지역의 238개의 관측소에서 관측한 깊이 0~300km내에서 일어난 4050개의 지진 중 P파 64,024개와 5파 64,618개를 Kim과 Bae(2004)에 의해 개발된 3 성분 토모그래피에 이용하였다. Vp/Vs의 속도 이상대가 훗카이도와 그 주변 지역에서 명확하게 나타났다. Double Seismic Zone(DSZ)의 Seismic Planes는, 훗카이도 주변에서 지진 위험도가 높게 나타나는, 40~80Km의 깊이에서 훗카이도 아래로 태평양판이 섭입하는 것이 발견되었다. 모호 불연속면아래에서 높은 Vp/Vs 이상대의 발견은 Moriya(1994)에 의해 제안된, 쿠릴 열도(Okhotsk Plate 혹은 North American Plate)가 NE 일본 열도(Amurian Plate 혹은 Eurasian Plate)와 충돌하고, 동시에 태평양판이 훗카이도의 Central Tectonic Axis($142^{\circ}{\sim}143^{\circ}E$)와 Hikada Mountain Range(HMR) Corner를 따라 지체구조력의 균형을 이루는 두 개의 판 아래로 섭입하고 있는, 표면 삼중 충돌 가설의 증거이다. 낮은 Vp와 Vs는 장력을 나타내는 지진 메커니즘의 표현인 Central Tectonic Axis을 따라 동쪽과 서쪽에서 발견되었다. 이들 현상은 이 지역에서의 낮은 부게 중력 이상값과 일치한다. 이것은 왜 큰 지진의 대부분이 훗카이도의 3개의 지체구조력의 3중 접합점에 의해 지체구조력의 균형이 깨어지는, 훗카이도 바깥쪽에서 일어나는지 알 수 있다.

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전자선 조사야 결합부분의 선량분포 개선을 위한 Acrylic Electron Wedge의 제작 및 사용 (Design and Application of Acrylic Electron Wedge to Improve Dose Inhomogeneities at the Junction of Electron Fields)

  • 김영범;권영호;황웅구;김유현
    • 대한방사선치료학회지
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    • 제10권1호
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    • pp.60-68
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    • 1998
  • Treatment of a large diseased area with electron often requires the use of two or more adjoining fields. In such cases, not only electron beam divergence and lateral scattering but also fields overlapping and separation may lead to significant dose inhomogeneities(${\pm}20\%$) at the field junction area. In this study, we made Acrylic Electron Wedges to improve dose homogeneities(${\pm}5\%$) in these junction areas and considered application it to clinical practices. All measurements were made using 6, 9, 12, 16, 20MeV Electron beams from a linear accelerator for a $10{\times}10cm$ field at 100cm SSD. Adding a 1 mm sheet of acryl gradually from 1 mm to 15 mm, We acquired central axis depth dose beam profile and isodose curves in water phantom. As a result, for all energies, the practical range was reduced by approximately the same distance as the thickness of the acryl insert, e.g. a 1 mm thick acryl insert reduce the practical range by approximately 1 mm. For every mm thickness of acryl inserted, the beam energy was reduced by approximately 0.2MeV. These effects were almost independent of beam energy and field size. The use of Acrylic Electron Wedges produced a small increase $(less\;than\;3\%)\;in\;the\;surface\;dose\;and\;a\;small\;Increase(less\;than\;1\%)$ in X-ray contamination. For acryl inserts, thickness of 3 mm or greater, the penumbra width increased nearly linear for all energies and isodose curves near the beam edge were nearly parallel with the incident beam direction, and penumbra width was $35\;mm{\sim}40\;mm$. We decide heel thickness and angle of the wedge at this point. These data provide the information necessary to design Acrylic Electron Wedge which can be use to improve dose uniformity at electron field junctions and it will be effectively applicated in clinical practices.

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Co/Ti 이중막 실리사이드를 이용한 $p^{+}$-n극저접합 다이오드의 제작과 전기적 특성 (Fabrication and Electrical Characteristics of $p^{+}$-n Ultra Shallow Junction Diode with Co/Ti Bilayer Silicide)

  • 장지근;엄우용;장호정
    • 한국재료학회지
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    • 제8권4호
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    • pp.288-292
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    • 1998
  • n-well Si(100) 영역에 $BF_{2}$를 이온주입 [에너지: 30KeV, 주입량 : $5\times10^{15}cm^{-2}$] 하고 Co($120\AA$)/Ti($40\AA$)이중막을 진공증착하여 RTA-silicidation을 통해 Co/Ti 이중막 실리사이드층을 갖는 p+ -n극저접합 다이오드를 제작하였다. 제작된 소자의 이상계수와 비접촉저항 및 누설전류는 각각 1.06, $1.2\times10^{-6}\Omega\cdot\textrm{cm}^2$, $8.6\muA/\textrm{cm}^2$(-3V)로 나타났으며 실리사이드층을 갖는 이미터 영역의 면저항은 약 $8\Omega\Box$로, 실리상이드/실리콘 계면에서 보론 농도는 약 $6\times10^{19}cm^{-3}$으로, 실리사이드 두께(~$500\AA$)를 포함한 접합깊이는 약 $0.14\mu{m}$로 형성되었다. 다이오드 제작에서 Co/Ti 이중막 실리사이드 층의 형성은 소자의 누설전류를 다소 증가시켰으나 이상계수의 개선과 이미터 영역의 면저항 및 비접촉저항의 감소를 가져왔다.

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프레스톤튜브를 이용한 복단면 하도의 하상전단응력 측정 및 분석 (Measurement and Analysis of Bed Shear Stresses in Compound Open Channels using the Preston Tube)

  • 이두한;김명환;김원;서일원
    • Ecology and Resilient Infrastructure
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    • 제4권4호
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    • pp.207-215
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    • 2017
  • 하도의 흐름 저항, 측벽 보정, 유사량, 하도 침식과 퇴적, 하도 설계 등의 수리학적 문제는 하상전단응력의 분포와 밀접한 관계가 있으나 하상전단응력 분포를 측정하는 것은 쉽지 않다. 본 연구에서는 간편하게 하상전단응력을 측정할 수 있는 프레스톤튜브를 이용하여 복단면의 하도의 하상전단응력 분포를 측정하고 수심비에 따른 전단응력분포 특성을 고찰하였다. 이를 위해 프레스톤튜브를 제작하여 검정실험을 통해 검정식을 개발하였다. 실험은 5가지 수심비 조건에 대해서 수행하여 전단응력분포를 측정하였다. 복단면 하도의 전단응력분포 특성은 기존 실험연구와 대체로 일치하였으며, 레이놀즈수 증가로 발생하는 전단응력의 변동성, 주수로 전단응력의 변곡점 형성, 홍수터 접합부 부근 전단응력 분포 특성 등에서 차이점을 확인하였다. 본 연구를 통해 프레스톤튜브를 이용한 하상전단응력측정 적용성을 확인하였으며 레이놀즈수와 수심비에 따른 복단면 하도의 전단응력분포 특성을 제시하였다.

6 MeV Electron Therapy에서의 Electron Dose Distribution에 관한 연구 (Research of 6 MeV Electron Dose Distribution)

  • 제재용;박철우;진성진;박은태
    • 대한방사선치료학회지
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    • 제17권2호
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    • pp.161-166
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    • 2005
  • 목 적 : 임상에서 일반적으로 행하여지는 전자선은 피부암과 유방암, 두 경부 등의 다양한 부위의 치료에 사용되어진다. 연구에서는 6 MeV에서 bolus 사용 시 SSD setup과 SBD setup에 따른 선량분포를 비교하였고 electron field 내에 nipple이 존재하는 경우의 전자선 dose 분포, 그리고 광자선과 전자선을 같이 사용할 경우 junction 부위에서의 dose 분포를 비교하여 효과적인 치료성적을 얻고자 한다. 대상 및 방법 : 첫 번째 실험은 SSD(source to surface distance) setup과 SBD(source to bolus distance) setup의 전자선 분포를 비교하기 위해 지름이 20 cm인 반구형 파라핀 phantom을 2개 제작하였다. 두 번째 실험은 Electron field 내에 nipple이 존재하는 경우에 nipple 위에 bolus가 있을 때와 nipple 만큼 bolus를 제거하였을 때의 선량 분포를 서로 비교하였다. 이를 위해 nipple과 유사한 형태를 1 cm 두께의 아크릴을 사용하며 정육면체 형태로 제작하였다. 세 번째 실험은 필름의 중앙을 기준으로 광자선과 전자선의 junction을 나누었다. 그런 다음 film의 한쪽 반에는 광자선을 조사하고 나머지 반에는 전자선을 조사하였다. 위의 모든 실험은 제작된 파라핀 phantom 사이에 압착용 보조기구를 이용하여 film(100 NIF, Kodak, France)을 삽입하고 air gap을 없앤 후 beam 중심축과 수평한 방향으로 놓은 후 6 MeV 전자선 20 MU를 조사하였다. 결 과 : SSD setup과 비교하여 SBD setup은 같은 depth에서 선량 분포가 감소해 있음을 알 수 있고 Electron field 내에 nipple이 존재하는 경우 nipple 크기만큼 bolus를 잘라낸 경우에 균일한 선량분포를 가짐을 알 수 있다. 그리고 광자선과 전자선의 junction에서는 전자선 field 전체에 bolus를 사용하는 것이 homogeneous한 선량 분포를 얻음을 알 수 있다. 결 론 : SSD setup과 SBD setup에 따른 선량분포, electron field 내에 nipple이 존재하는 경우의 전자선 dose 분포, 광자선과 전자선을 같이 사용할 경우 junction 부위에서의 dose 분포에서는 bolus의 사용방법에 따라 전자선의 선량분포곡선은 다양한 변화를 나타내며 본 실험의 결과를 바탕으로 전자선치료가 이루어진다면 더 효과적인 전자선 치료가 이루어질 것으로 사료된다.

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임상가를 위한 특집 3 - 치주판막 절개의 기본원리 (Basic Rules of Incision in Periodontal Flap Preparation)

  • 신승일
    • 대한치과의사협회지
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    • 제50권8호
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    • pp.474-481
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    • 2012
  • The periodontal flap surgery is the most widely utilized surgical procedure to reduce the pocket depth and to access the subgingival root surfaces for scaling and root planing. The diagnosis of the periodontal lesion and the objective of the surgery will dictate the type of flap procedure which will be utilized to obtain the best result. The incisions, type of flap and the selection of suturing design must be planned and executed to fit the problem. Periodontal flaps are designed to preserve gingival integrity and to gain access to root surfaces for residual calculus removal and to thoroughly remove granulation tissue so bone defects can be visualized and treated. Gentle and efficient procedures result in optimum healing and minimal postoperative pain. When flaps need to be repositioned apically or less often, coronally, then the flaps must sit passively at the appropriate level before suturing. To ensure this, buccal and lingual flaps need to be elevated beyond the mucogingival junction so the elasticity of the mucosa allows for flap mobility. Sometimes it may be necessary to extend the flap elevation apically with a split incision approach to minimize the effect of the less elastic periosteum. Vertical incisions can aid in flap positioning by allow ing the clinician to suture the flap at a different level to the adjacent untreated gingiva. In osseous periodontal surgery, flaps are apically positioned to minimize postoperative pocket depth. In regenerative periodontal surgery including implant surgery, soft tissue cove rage of bony defects, graft materials, membranes, and bio logic agents is important so sulcular incisions and light suturing techniques are crucial.

재생술식을 이용한 치근단 병소를 동반한 백악질 열리의 치료 (Treatment of cemental tear associated with periapical lesion using regenerative surgery; A case report)

  • 강효진;정겨운;방은경
    • 대한치과의사협회지
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    • 제54권5호
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    • pp.365-373
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    • 2016
  • Purpose: Cemental tear is a specific type of root surface fracture characterized by a complete separation of a cemental fragment along the cementodentinal junction or a partial split within the cementum along an incremental line. It is suggested to be a factor for periodontal or periapical tissue destruction. The aim of this study is to present a diagnosis and treatment of cemental tear associated with periapical lesion with root canal treatment and regenerative periodontal surgery. Treatments: A 60-year-old male who had a history of sports trauma on the mandibular right central incisor about 10 years ago presented with apical cemental tear. Clinical examination showed a slightly dark yellowish discoloration and sinus tract that was located on the apical labial mucosa. The mobility and percussion were also assessed on the diseased tooth and recorded as $Miller^{\circ}{\phi}s$ Class II and tenderness to percussion. The probing depth was within the normal limit (<3 mm). Radiographic examination revealed a radiolucent lesion at the apical area and extended to distal aspect of the tooth along the fragment of cemental tear. After root canal treatment, periapical surgery was performed. The bony defect was exposed and then the detached root fragment was removed. Apical root resection and retrograde filling with Mineral Trioxide Aggregate (MTA) were accomplished and the bony defect was filled with deproteinized bovine bone mineral (DBBM) and covered with biodegradable collagen membrane. Results: After 9-month follow-up, healing of the mandibular right central incisor was uneventful and no swelling, purulence or pain was revealed in the associated area. Probing pocket depth was favorably stable, and the tooth mobility was decreased to the Miller's Class I. Conclusions: Apical cemental tear associated periapical lesion could be successfully treated with removal of the detached cementum in combination with apical surgery and GTR procedure.

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Effect of Polysaccharides from Acanthopanax senticosus on Intestinal Mucosal Barrier of Escherichia coli Lipopolysaccharide Challenged Mice

  • Han, Jie;Xu, Yunhe;Yang, Di;Yu, Ning;Bai, Zishan;Bian, Lianquan
    • Asian-Australasian Journal of Animal Sciences
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    • 제29권1호
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    • pp.134-141
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    • 2016
  • To investigate the role of polysaccharide from Acanthopanax senticosus (ASPS) in preventing lipopolysaccharide (LPS)-induced intestinal injury, 18 mice (at 5 wk of age) were assigned to three groups with 6 replicates of one mouse each. Mice were administrated by oral gavage with or without ASPS (300 mg/kg body weight) for 14 days and were injected with saline or LPS at 15 days. Intestinal samples were collected at 4 h post-challenge. The results showed that ASPS ameliorated LPS-induced deterioration of digestive ability of LPS-challenged mice, indicated by an increase in intestinal lactase activity (45%, p<0.05), and the intestinal morphology, as proved by improved villus height (20.84%, p<0.05) and villus height:crypt depth ratio (42%, p<0.05), and lower crypt depth in jejunum (15.55%, p<0.05), as well as enhanced intestinal tight junction proteins expression involving occludin-1 (71.43%, p<0.05). ASPS also prevented intestinal inflammation response, supported by decrease in intestinal inflammatory mediators including tumor necrosis factor ${\alpha}$ (22.28%, p<0.05) and heat shock protein (HSP70) (77.42%, p<0.05). In addition, intestinal mucus layers were also improved by ASPS, as indicated by the increase in number of goblet cells (24.89%, p<0.05) and intestinal trefoil peptide (17.75%, p<0.05). Finally, ASPS facilitated mRNA expression of epidermal growth factor (100%, p<0.05) and its receptor (200%, p<0.05) gene. These results indicate that ASPS can prevent intestinal mucosal barrier injury under inflammatory conditions, which may be associated with up-regulating gene mRNA expression of epidermal growth factor and its receptor.

Subepithelial connective tissue graft with and without the use of plasma rich in growth factors for treating root exposure

  • Lafzi, Ardeshir;Faramarzi, Masoumeh;Shirmohammadi, Adileh;Behrozian, Ahmad;Kashefimehr, Atabak;Khashabi, Ehsan
    • Journal of Periodontal and Implant Science
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    • 제42권6호
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    • pp.196-203
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    • 2012
  • Purpose: The aim of this study was to evaluate the clinical efficiency of the subepithelial connective tissue graft (SCTG) with and without plasma rich in growth factor (PRGF) in the treatment of gingival recessions. Methods: Twenty bilateral buccal gingival Miller's Class I and II recessions were selected. Ten of the recessions were treated with SCTG and PRGF (test group). The rest ten of the recessions were treated with SCTG (control group). The clinical parameters including recession depth (RD), percentage of root coverage (RC), mucogingival junction (MGJ) position, clinical attachment level (CAL), and probing depth (PD) were measured at the baseline, and 1 and 3 months later. The data were analyzed using the Wilcoxon signed rank and Mann-Whitney U tests. Results: After 3 months, both groups showed a significant improvement in all of the mentioned criteria except PD. Although the amount of improvement was better in the SCTG+PRGF group than the SCTG only group, this difference was not statistically significant. The mean RC was $70.85{\pm}12.57$ in the test group and $75.83{\pm}24.68$ in the control group. Conclusions: Both SCTG+PRGF and SCTG only result in favorable clinical outcomes, but the added benefit of PRGF is not evident.