• 방사성폐기물학회지
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• 제3권4호
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• pp.269-278
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• 2005

본 논문에서는 불필요한 용액의 발생이 없이 전해 반응계로 주입되는 용액을 오직 pH 만 조절시켜 배출시키기 위한 연속식 이온교환막 전해 시스템을 개발하였다. 여기서는 전해 반응기 앞에 한 pH-조정조를 두고 대상 용액을 pH-조정조로 주입하면서 pH-조정조의 용액의 일부를 이온 교환막에 따라 음극방 또는 양극방으로 거처 다시 pH-조정조로 순환하게 하며, pH-조정조의 용액의 일부를 상대극 방으로 통과시킴으로써 pH가 조절되어 배출되게 하였다. 양이온 교환막을 사용하는 경우 음극방을 거치는 용액을 pH-조정조로 순환하게 하고, 음이온 교환막을 사용하는 경우 양극방을 거치는 용액을 pH-조정조로 순환하게 함으로서 배출되는 용액을 효과적으로 산성용액 또는 알카리용액으로 만들 수 있었다. 이러한 전해반응기에서 pH 조절 과정은 음극과 양극 사이에 전압 차가 형성될 시, 이온교환막을 통한 용액 중 이온의 전기이동 현상에 의해 유발되는 음극방과 양극방에서 용액의 전하 비 평형 현상과 이에 따른 물의 전해 분해과정에 의해 설명되었다.

• 생명과학회지
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• 제21권12호
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• pp.1710-1715
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• 2011

Nano plasma ion (NPi) generator에서 발생한 NPi의 미생물에 대한 살균 효과를 측정하기 위해 미생물 종류, 조사 시간, 챔버 용적, 이온 수량, 거리에 따라 실험 하였다. 먼저 6종의 미생물 Escherichia coli, Pseudomonas aeruginosa, Salmonella typhimurium, Klebsiella pneumoniae, Staphylococcus aureus, Bacillus subtilis를 대상으로 실험한 결과 미생물 종류에 따라 각각 다른 감소율을 나타냈으며, 그람 음성균인 E. coli가 96.57%로 가장 높았고, 그람 양성균 중 포자를 생성하는 B. subtilis가 57.41%로 가장 낮았다. 그리고 NPi 조사시간에 따라 살균력 측정한 결과, 반응 초기에 대부분의 미생물이 사멸하였으며 이후 서서히 증가하였다. 또한 챔버의 크기에 따른 E. coli의 감소율을 비교하였으며 $0.005m^3$부터 $30m^3$까지 5개 챔버에서 NPi를 2시간 조사한 결과 용적이 증가함에 따라 포화이온 농도는 낮아졌고 이와 함께 살균력도 감소하였다. 이에 $1m^3$ 챔버에 NPi generator를 추가로 설치하여 포화 이온농도에 따른 E. coli의 감소율을 알아보았고 포화 이온 농도가 증가함에 따라 감소율도 함께 증가하는 것으로 나타났다. 마지막으로 NPi generator의 거리에 따른 E. coli의 감소율을 확인하였고 이온이 직접적으로 분출되는 부분의 99.19%를 제외한 나머지 위치에서 팬에 의한 이온 순환으로 포화농도가 비슷하게 유지 되었으며 약 97%의 감소율을 나타냈다.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제22권8호
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• pp.883-888
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• 2001

We describe an ion-surface scattering apparatus newly developed to investigate the reactive scattering process of low-energy alkali-metal ions at surfaces. The apparatus consists of an alkali-metal ion gun that is rotatable by 360°, a quadrupole mass spectrometer (QMS) with an ion energy analyzer, a sample manipulator with a heating-and-cooling stage, and an ultrahigh vacuum (UHV) chamber that houses these components. Preliminary experimental results obtained from the apparatus are presented on angular and energy distributions of the ions scattered from clean Pt(111) and water-adsorbed Pt surfaces.

• 한국공작기계학회논문집
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• 제16권3호
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• pp.88-95
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• 2007

Generally, the integrated system using ion beam consists of 4 major parts, which are SEM, FIB, nano stage, and chamber. Among them, the nano stage and the chamber are designed and manufactured. The whole systems are integrated. Also, FE models are built to perform modal analyses of each part and the whole integrated system with a commercial program. Through these analyses, it is found that each part and the integrated system are very safe against vibrations including external excitations from ground and any others, because their natural frequencies are much larger than frequencies of external excitations. Also, isolation of ground induced vibration is considered.

• 한국콘텐츠학회:학술대회논문집
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• 한국콘텐츠학회 2007년도 추계 종합학술대회 논문집
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• pp.865-868
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• 2007

본 연구는 이온주입(Ion Implanter)장비의 성능향상과 재현성 있는 Source Head를 개발하기 위한 방법이다. Source Head의 Life time이 부품 간 사용되는 Life time과 틀리기 때문에 보통 20일 정도 사용하고, 한번 Source Head를 재생하기 위해 교체되는 부품들도 고가일 뿐 만 아니라 50% 이상이 일회성으로 사용되고 있다. 본 개발에서는 원자의 유입방식을 공중 분산방식으로 적용함으로써 열전자의 손실로 발생하는 부분을 억제하는 효과와 Arc Chamber의 압력을 낮게 가지고 갈 수 있고 Chamber의 오염을 억제하는 효과를 얻을 수 있었다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.208-208
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• 2012

최근 환경문제가 많이 제기되면서 친환경적 운송수단인 자전거 개발과 관련하여 다양한 기술개발이 이루어지고 있다. 그 중 고부가가치의 서스펜션 포크의 프레임에 고기능성 표면처리로 Arc ion plating deposition system (AIPDS)을 이용하여 부식, 내마모 특성이 뛰어난 TiN 박막을 증착시켰다. AIPDS는 기존의 arc system과 달리 다원계 소재 코팅 공정조건 확립을 위하여 chamber wall에 2개의 rectangular type sputter source를 장착하고 소재의 pre-treatment 용 linear type ion source를 설치하였다. 장비의 Chamber 중앙에는 pipe형 arc cathode를 설치하였으며, 그 주위를 anode 역할을 하는 copper 코일로 감아 이는 발생한 arc를 target인 cathode 축을 중심으로 방향성을 가지고 회전하여 진행 할 수 있도록 유도 하였다. 이 시스템에서 증착된 TiN 박막은 bias 전압 변화에 따른 박막의 구조 및 물성을 평가하였다. XRD 장비를 통하여 TiN 박막의 상분석을 진행하였고, 마모테스터, 원자현미경, 마이크로 비커스 경도기 등을 이용하여 기계적 특성을 평가하였다.

• 한국대기환경학회지
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• 제12권5호
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• pp.587-591
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• 1996

An intercomparison experiment was implemented to assess the uncertainties and precisions om atmospheric SO$_{2}$ measurement techiques including a pulsed fluorescence (P-F), a diffusion-scrubber /ion chromatography (D-I), and a mist-chamber/ion chromatography (M-I). Each of those three techniques was investigated by researchers at Seoul National University, Yonsei University, and Hankuk University of Foreign Studies, respectively. The concentrations of atmospheric SO$_{2}$ were determined concurrently using three independent measurement techniques at the Seoul National University campus, Korea during Nov.22 to Dec.2, 1995. While the results from the P-F and D-I techinques showed the very close agreements (within +-5%) throughout the experiment period, M-I technique showed systematically smaller values (up to 30%) than the other two techniques. Although sources of larger discrepancy between different techniques were mot identified, the lower SO$_{2}$ values of the M-I method may be related to the errors associated with sample collection effciency, mass flow rate measurements, and standardization of ion chromatography.

• 한국표면공학회지
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• 제32권4호
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• pp.513-520
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• 1999

In this study, we investigated the effects of variously configured magnets on the characteristics of the plasmas to enhance plasma uniformity and density of an inductively coupled plasma source. As the magnets, Helmholtz type axial electromagnets and various multi-dipole magnets types around the chamber wall were used. To characterize the plasma as a function of the combination of the magnets and magnetic field strengths, ion density, electron temperature, and plasma potential were measured using an electrostatic probe along the chamber diameter for Ar plasmas. The measured maximum ion densities were $8$\times$10^{ 11}$$cm^{-3}$ with 600W inductive power and at 5mTorr of operational pressure and the uniformity of ion density was less than 5.9% at 2mTorr of operational pressure. The combination of an optimized multi-dipole magnet type and an axial electromagnet showed the lowest electron temperature (3eV) and plasma potential ($34V{p}$ )

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국해양정보통신학회 2005년도 춘계종합학술대회
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• pp.985-989
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• 2005

본 논문에서는 비정질 반도체 및 절연체의 etching을 RIE를 사용하여 etching 조건을 결정하는 요인(chamber pressure, gas flow rate, rf power, 온도 등)들을 변화시켜 실험하였고, gas는 비정질 실리콘 박막의 reactive ion etching에 주로 사용되는 $CF_4,\; CF_4+O_2,\;CCl_2F_2,\;CHF_3\;gas$ 등을 사용하였다. 여기서 실리콘 박막의 식각은 $CF_4,\;CCl_2F_2,\;gas$를 그리고 insulator 막인 SiNx 박막의 식각은 $CF_4+O_2,\;CHF_3\;gas$를 사용하였다. 특히 $CCl_2F_2$ gas는 insulator 막인 SiNx 박막과의 식각 selectivity가 6:1로서 우수하기 때문이다. 정확한 control에 의해 높은 수율 (Yield) 을 얻을 수 있어 cost를 절감할 수 있다.

• Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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• 제21권3호
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• pp.302-310
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• 1997

In this paper, we find a method to improve ignitability using methanol which is prospective as an alternative fuel. The constant volume combuster is divided into main chamber and sub-cham¬ber. These two chambers are linked by an adapter which is shaped like a cup. We also compare CDI to HIS that is revised in our laboratory for making a scrutiny into the effects of ignition char¬acteristics. Besides, we analyze a flame propagation process in the main and sub-chamber through taking pictures 10, 000 frames per second by high speed camera at the state being fabricated quartz glass aside main and sub-chamber.