Effect of $O_2$ Partial Pressure on Properties of Transparent $AlO_x$ Thin Films Deposited by Reactive Ion Beam Sputtering
-
- 한국세라믹학회:학술대회논문집
- /
- 한국세라믹학회 2003년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
- /
- pp.40.1-40
- /
- 2003