Phase stability and Morphology of high-k gate stack of $Si/SiO_2/HfO_2$ and $Si/SiO_2/ZrO_2$
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- pp.118-119
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- 2007