InGaP/InGaAlP RC-LED 제작을 위한 $Al_{0.95}Ga_{0.05}As$ /$Al_{0.5}Ga_{0.5}As$ 브래그 반사 거울층 건식 식각 조건 최적화
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- Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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- 2009.02a
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- pp.158-158
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- 2009