• 전자공학회논문지D
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• 제36D권4호
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• pp.56-62
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• 1999

본 연구에서, (Ba,Sr)TiO\sub 3\ 박막이 rf 전력, dc 바이어스 전압 및 반응로 압력과 같은 식각 공정 변수를 변화하여 ICP에서 Cl\sub 2\Ar 가스 혼합비에 따라 식각되었다. 0.2의 Cl\sub 2\/(Cl\sub 2\+Ar) 가스 혼합비, 600 W의 rf 전력,250 V의 dc 바이어스 전압 및 5 mTorr의 반응로 압력의 공정 조건하에서 식각율은 56nm/min이었다. 이때 Pt, SiO\sub 2\ 막에 대한 BST 박막의 식각 선택비는 각각 0.52, 0.43이었다. 식각된 BST 박막의 표면반응은 XPS로 분석하였다. Ba는 BaCl\sub 2\ 와 같은 화학적인 반응과 물리적인 스퍼터링에 의해 제거되었다. Sr의 제거는 Sr과 Cl의 화확적인 반응보다 Ar 이온 충격이 더 효과적이었다. Ti는 TiCl\sub 4\ 와 같은 화학반응에 의해 용이하게 제거되었다. XPS 분석 결과를 비교하기 위하여 SIMS의 분석을 수행하여 비교한 결과 동일한 결론을 도출하였다.

• 보존과학회지
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• 제31권3호
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• pp.181-192
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• 2015

강원도 영동 강릉지역인 남양리 백자가마터와 동해지역 발한동2(사문동) 가마터 백자 12개 시편을 대상으로 제작기술 및 태토 사용원료의 특성을 살펴보고자 하였다. 각각 화학 조성과 결정상, 소성온도, 미량원소 및 희토류원소 등을 분석하였으며, X-선 형광분석기(XRF)와 X-선 회절분석(XRD), 열팽창계수 측정(Dilatometer), 유도결합 플라즈마 질량 분석법(ICP-MS) 및 유도결합 플라스마 방출 분광법(ICP-AES)을 이용하였다. 우선, XRD를 통한 결정상 분석에서는 강릉 남양리 가마터, 동해 발한동2(사문동) 가마터 백자 모두 quartz와 mullite만 검출되었다. 소성온도를 추정하기 위한 열팽창 수축 측정 결과, 시편마다 각각 차이가 있지만, 대부분 $1200^{\circ}C$ 이하에서 소성되었다. 제게르식을 통한 주성분 분석 결과, 강릉 남양리 가마터 출토 백자의 주성분이 동해 발한동2(사문동) 가마터 백자와 화학적 조성에 차이가 있었으며, 강릉 남양리 가마터 백자의 $RO_2$와 $RO+R_2O$가 동해 발한동2(사문동) 가마터 백자보다 높은 함량이었다. 희토류원소 분석 결과는 강릉 남양리 가마터 백자와 동해지역 발한동2(사문동) 가마터 백자가 지질학적 기원이 상이한 모암으로 제작되었음을 알 수 있었다.

• 분석과학
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• 제28권5호
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• pp.309-316
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• 2015

본 연구에서는 ICP-MS의 혈장 중 극미량의 납 분석법을 검증하기 위하여 Class 1,000 이내의 환경조건을 확보한 후 특이성, 일내 및 일간 정확도, 정밀도, 검정곡선 등을 확인하였다. 청정실의 부유 분진량을 측정한 결과, 0.3 µm 크기는 0.3~62개, 0.5 µm 크기는 0.0~28.3 개로 총 부유분진량이 최대 90.3개로 요구 환경에 부합하였다. 우태아 혈청 공시료로 조제한 시료의 MDL (Method detection limit)은 1.77 ng/L이고, LOQ (Limit of quantification)값은 5.55 ng/L 이었다. 검정곡선은 y=1.09×10⁻³ x+4.88×10⁻²이었고, 상관계수 r=0.9999이었다. 분석법 확립을 위한 특이성, 일내 및 일간 정확성, 정밀성, 그리고 검정곡선을 확인한 결과 50 ng/L 이상에서 분석법 확인 기준에 적합하였다. 이를 토대로 분석한 일반인의 혈장 중 납 농도 평균은 55.4 ng/L 이었으며, 현직 근로자는 440 ng/L 이었고, 퇴직 근로자는 132 ng/L 이었다.

• 보존과학회지
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• 제30권3호
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• pp.249-261
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• 2014

본 연구에서는 강원도 원주 지역에서 발굴된 귀래2리 1호 가마터와 2호 가마터에서 출토된 백자의 제작 기술 및 사용 원료의 특징을 살펴보고 출토 백자 원료의 연관성을 도출하고자 하였다. X-선 형광분석기(XRF)와 X-선 회절분석(XRD), 열팽창계수 측정(Dilatometer), 유도결합 플라즈마 질량 분석법(ICP-MS) 및 유도결합 플라스마 방출 분광법(ICP-AES)을 이용하여 대상 시편에 대해서 각각 화학 조성과 결정상, 소성온도, 미량원소 및 희토류원소 등을 분석하였다. 귀래2리 가마터 출토 백자는 착색 산화물과 융제의 함유량이 높은 특징을 나타낸다. 소성온도는 시편마다 차이가 있지만 대부분 $1200^{\circ}C$ 이하에서 소성 되었으며 일부 시편은 $1000^{\circ}C{\pm}20^{\circ}C$에서 저온 소성되었고 귀래2리 1호 가마터 출토 백자 중 일부는 $1200^{\circ}C$ 이상 고온에서 소성되었다. 분석 대상 백자의 태토를 XRD 분석한 결과 모두 quartz와 mullite가 검출 되었으며 quartz와 mullite의 검출 비율은 모두 비슷하다. 출토된 백자 태토의 제겔식을 이용한 분석 결과 대상 백자 모두 같은 영역에서 군집하여 태토 원료와 제작 기법의 유사성을 확인할 수 있다. 또한 희토류 원소 분석 결과를 통하여 분석 대상 백자는 지질학적 성인이 동일한 모암으로 제작했음을 알 수 있다.

• 한국세라믹학회지
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• 제34권10호
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• pp.1015-1020
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• 1997

In the Nd;YAG crystal growth by Czochralski method, the relationship between the core formation and the solid-liquid interface was observed by controlling the temperature gradient in the furnace. When the crystal was grown along<111> direction, defects and core area were reduced as the temperature gradient increased. The optimum temperature gradient was found to be higher than 4$0^{\circ}C$/cm. The Nd3+ concentration analysis by ICP-Mass showed that the segregation coefficient was about 20% higher in the core region than core-free region, where the segregation coefficients of core region and core-free region were 0.22 and 0.18, respectively.

• Journal of Radiation Protection and Research
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• 제34권2호
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• pp.65-68
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• 2009

Metal-semiconductor contact is very important for the operating property of semiconductor detector. $Cd_{0.96}$ $Zn_{0.04}$ Te semiconductor crystal was grown with Bridgman method, and the crystal was cut and polished. EPMA (Electron Probe Micro Analyzer) and ICP-MS (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry) analysis were done to obtain the chemical composition and impurity of the crystal. Metal contact was deposited with thermal evaporator on both sides of the crystal. Detectors with Au/CZT/Au and In/CZT/Au structure were made, and I-V curve and the energy spectrum were measured with the detectors. It could be seen that the detector with the In/CZT/Au structure has superior property than the detector with Au/CZT/Au structure when the crystal resistivity was low. However, the metal contact structure effect becomes low when the crystal resistivity was high.

• 한국지구과학회지
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• 제42권4호
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• pp.383-389
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• 2021

Several studies investigating the behavior and environmental distribution of rare earth elements (REEs) have been reviewed to determine the geochemical processes that may affect their concentrations and fractionation patterns in groundwater and whether these elements can be used as tracers for groundwater-rock interactions and groundwater flow paths in small catchments. Inductively coupled plasma-mass spectrometry (ICP-MS), equipped with an ultrasonic nebulizer and active-film multiplier detector, is routinely used as an analytical technique to measure REEs in groundwater, facilitating the analysis of dissolved REE geochemistry. This review focuses on the distribution of REEs in groundwater and their application as tracers for groundwater geochemistry. Our review of existing literature suggests that REEs in ice cores can be used as effective tracers for atmospheric particles, aiding the identification of source regions.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제20권2호
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• pp.87-91
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• 2021

Various Cu ions are discharged into water from various industries, which results in a severe trouble for groundwater, soil, air, and eventually animals and humans. In this work, graphene oxide (GO) is introduced as a Cu removal absorber and the real-time monitoring method is demonstrated. The results show that GO is a very effective material to absorb Cu ions in the solution. In addition, the residual Cu ions in the solution is monitored via optical transmittance method, which well match with Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer (ICP-MS) analysis.

• 방사성폐기물학회지
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• 제7권1호
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• pp.25-31
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• 2009

토양중 $^{99}Tc$의 배경준위를 측정할 수 있는 분석법을 수립하고 한국 토양중의 $^{99}Tc$ 농도를 비교 검토하였다. 토양중의 $^{99}Tc$을 분리 정제하기 위해서 선택성 TEVA수지를 사용하였다. 화학분리 회수율을 계산하기 위해 $^{99}Mo/^{99m}Tc$ 생성기에서 생산한 $^{99m}Tc$를 추적자로 사용하고 그 문제점을 검토하였다. $^{99m}Tc$추적자를 사용하여 계산한 화학분리 회수율은 70% 이상이 가능하였다. 순수 분리된 $^{99}Tc$의 측정을 위한 유도결합프라스마 질량분석기(ICP-MS)의 최적 조건을 수립하였다 이 분석법에 의한 토양의 최소검출하한치(MDA)는 15 mBq/kg-dry 이었다. 제주와 고리 주변 토양 시료의 $^{99}Tc$ 농도는 33.73-89.16 mBq/kg-dry 였다. 이러한 수치는 다른 보고치에 비하여 낮은 편이며 대기권 핵실험에서 기인한 낙진의 영향으로 추정된다.

• 한국광물학회지
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• 제23권4호
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• pp.357-365
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• 2010

석영의 광여기 루미네선스(OSL)를 이용한 제4기 퇴적물의 연대측정이 최근 널리 적용되고 있다. 그러나 모든 석영시료가 OSL 연대측정에 적합하지는 않다는 사실도 잘 알려져 있다. OSL 연대측정의 신뢰도를 향상시키고 적용범위를 넓히기 위해서는 석영시료별로 다양한 OSL 신호 특성의 원인에 대한 광물학적 규명이 필요하다. 본 연구는 그러한 광물학적 연구의 일환으로 전혀 다른 지질 및 지표 환경에서 채취한 퇴적물 시료로부터 분리한 석영을 대상으로 OSL 신호특성 분석과 레이저삭마 유도결합플라즈마질량분석(LA-ICP-MS)을 이용한 미량원소 조성분석을 실시하였다. OSL 신호분석 결과, 석영시료는 연대 측정에 적합한 신호특성을 갖는 시료와 부적합한 시료로 명확히 분리할 수 있었다. 미량원소조성분석 결과, Al (평균 73~267 ppm)과 Ti (평균 61~248 ppm)의 함량이 가장 높았으며, 그 외 Li, Mg, Cr, Mn, Fe 등이 40 ppm 미만으로 함유되어 있었다. 석영 시료간 OSL 특성의 명확한 차이에도 불구하고, 그에 상응하는 미량원소함량의 뚜렷한 차이는 발견할 수 없었다. 이는 시료별로 다양한 OSL 신호 특성이 미량원소가 아닌 석영의 다른 광물학적 원인에 기인되었을 가능성을 시사하지만, 향후 보다 많은 시료 분석으로 확인되어야 한다.