열선 CVD법으로 증착된 비정질 실리콘 박막과 결정질 실리콘 기판 계면의 passivation 특성 분석 (Interface Passivation Properties of Crystalline Silicon Wafer Using Hydrogenated Amorphous Silicon Thin Film by Hot-Wire CVD)
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- 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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- 한국신재생에너지학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.172-175
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- 2009