화학적기계적연마 공정으로 제조한 BLT Capacitor의 Polishing Damage에 의한 강유전 특성 열화 (Degradation from Polishing Damage in Ferroelectric Characteristics of BLT Capacitor Fabricated by Chemical Mechanical Polishing Process)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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- pp.236-236
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- 2008