• 한국진공학회지
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• 제7권3호
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• pp.255-260
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• 1998

Ionized magnetron sputtering은 high density plasma를 사용하여 스퍼터된 입자의 이온화율을 기판에서의 플럭스 기준으로 80%이상까지 증대시킬 수 있는 방법으로 반도체 소자의 아주 작은 홀이나 via contact등을 채울 수 있는 아주 유용한 수단이나 가스의 압력 이 30mTorr 이상으로 상당히 높아야만 이온화율이 높게 유지되어 스퍼터 증착 속도가 느려 지고 중성입자의 각도 분포가 넓어지는 단점이 있다. 그 원인이 스퍼터된 입자들에 의한 전 자 온도의 급격한 감소와 타겟 주변에서의 가스 희귀화 현상에 있다고 보고 이를 보완하고 자 스퍼터 전력을 펄스화 하는 방법을 고안하여 실험하였다. 그 결과 펄스의 on/off time이 10ms/10ms, 100ms/100ms에서 가장 높은 이온화율을 가시광 분광 결과에서 보였으며 실제 로 Ag의 XRD결과 (111)에서 (200)으로 우선 방위의 현격한 변화가 관찰되었다. 이를 고전 력 스퍼터링에 의한 중성 가스 가열과 냉각의 측면에서 해석하였다.

• 한국표면공학회지
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• 제44권5호
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• pp.213-219
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• 2011

Recently aspheric lenses are widely used for superpricision optical instruments, such as cellular phone camera modules, digital cameras and optical communication modules. The aspherical lenses are processed using mold core under high temperature compressive forming pressure. It is imperative to develop superhard protective films for the life extension of lens forming mold core. Especially ta-C films with higher $sp^3$ fractions receive attentions for the life extension of lens forming mold and, in turn, the cost reduction of lenses due to their suprior high temperature stability, high hardness and smooth surfaces. In this study ta-C films were processed on WC mold as a function of substrate bias voltage using FVA (Filtered Vacuum Arc) method. The processed films were characterized by Raman spectroscopy and nano-indentation to investigate bonding nature and hardness, respectively. The film with maximun 87% of $sp^3$ fraction was obtained at the substrate bias voltage of -60 V, which was closest to ta-C film. ta-C films showed better high temperature stability by sustaining relatively high fraction of $sp^3$ bonding even after 2,000 glass lens forming applications.

• 한국진공학회지
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• 제5권4호
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• pp.269-277
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• 1996

PLS 선형가속기 진공계는 클라이스트론 첨두출력 54MW, 펄스폭 4.1$\mu \textrm s$, 반복율 10Hz의 마이크로파 전력 공급상태에서 $2.6\times 10^{-6}$Pa의 진공도를 유지하고 있으며 $45^{\circ}C$ 운전조건에서 마이크로파 전력이 공급되지 않았을 때 진공도는 $2.4\times 10^{-6}$Pa이다. 설치 초기에 $3.0\times 10^{-11}Torr-l/sec-\textrm{cm}^2$이었던 가스방출율은 각 가속단위마다 약 140 GJ의 마이크로파 에너지가 전파된 현재 $1\times 10^{-12}Torr-l/sec-\textrm{cm}^2$이다. 주 장비로 사용중인 이온펌프는 모두 포화된 상태이며 60 l/s, 120 l/s, 230 l/s 이온펌프의 유효배기속도는 운전 영역에서 각각 45 l/s, 65 l/s, 140 l/s이다. 진공계 운전중 야기된 문제점들로는 이온펌프 및 진공 게이지 전원제어기의 오동작, 에너지 배가장치의 출력창, 전자총 및 가속관 종단부하의 진공누출 등이었다. 최근 일년간 총 41회에 140.8시간 운전 중지를 경험하여 98%의 가용도(availability)를 나타내었다. 추후 시험중인 도파관 밸브와 개발중인 가속관 종단부하가 설치된다면 가용도를 99.5% 이상으로 증가시킬 수 있을 것으로 기대한다.

• 대한토목학회논문집
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• 제38권3호
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• pp.377-385
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• 2018

튜브 내부의 공기저항을 최소화해 운송체의 빠른 이동을 가능하게 해주는 초고속 진공튜브 시스템(Super-speed vacuum tube system)은 고효율 친환경성으로 인해 차세대 운송시스템으로 주목받고 있다. 초고속 진공튜브 시스템은 외부에 비해 튜브 내부의 압력을 매우 낮게 유지할 필요가 있으므로 기밀성의 확보가 무엇보다 중요한 설계 요건이라 할 수 있다. 본 연구에서는 균열의 발생이 진공튜브 구조물 내부의 압력 변화에 어떠한 영향을 미치는지 고찰하기 위해 일련의 콘크리트 튜브 구조물에 대해 균열에 따른 내부 압력의 변화를 측정하는 실험을 실시하였다. 실험결과 균열의 길이 또는 균열폭에 대한 정보만으로는 시스템의 기밀성에 영향을 주는 균열의 성질을 표현하기에 부족한 것으로 나타났으며, 반면에 발생된 구조물의 변위와 등가투기계수와의 관계는 상대적으로 높은 상관관계를 가지는 것으로 나타났다. 이와 같은 실험 결과를 바탕으로 설계 단계에서 시스템의 기밀성을 예측하기 위한 향후 연구방향을 제시하였다.

• 한국진공학회지
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• 제7권4호
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• pp.361-367
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• 1998

유기 박막 트렌지스터의 활성층으로 사용하기 위하여 공액성 소중합체인 $\alpha$ -sexithiophene($\alpha$-6T)이라는 시료를 가지고 유기 분자선 증착법(OMBD)을 이용하여 박막 을 제작하였으며 $\alpha$-6T박막의 성막 조건에 따른 박막의 분자 배향, 결정구조 그리고 표면 특성을 알아보기 위해 angle-resolved UV/visible absorption spectroscopy, X-ray diffractometry(XRD) 그리고 atomic force microscopy(AFM)를 이용하였으며 그 분석 결과 성막 조건에 관계없이 모두 monoclinic한 결정구조를 갖으나, 초고진공, 낮은 성막 속도, 기 판의 온도가 높은 조건일 경우 $\alpha$-6T 분자들이 기판에 수직적으로 배열한다는 것을 확일할 수 있었다.

• 한국축산식품학회지
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• 제38권3호
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• pp.506-514
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• 2018

The aim of this study was to evaluate the effects of marinade under different conditions (temperature and vacuum) on pork ham cooked by the sous-vide method ($61^{\circ}C$ and 98.81% vacuum for 45 min). Control group was non-marinade pork ham. The samples were marinated under 1 of 4 conditions: $4^{\circ}C$, 98.81% vacuum (treatment group $T_1$); $4^{\circ}C$, atmospheric pressure ($T_2$); $20^{\circ}C$, 98.81% vacuum ($T_3$); and $20^{\circ}C$, atmospheric pressure ($T_4$). The pH value was higher in the control (6.02) than in the treatment groups (4.30-4.42, p<0.001). Shear force was the lowest in the control: 18.14 N. Lightness and redness values were higher in the control (p<0.001). The chroma value significantly decreased from 12.74 to 7.55 with marinade (p<0.001). Total viable and coliform counts of raw meat were 84.6 and 3.67 Log CFU/g, respectively. After the marinade, the total viable count decreased to 3.00-14.67 Log CFU/g (p<0.001). Coliforms were not detected. After sous-vide cooking, no viable microorganisms were detected in any group. Treatment groups generally showed high scores on consumer preference. The marinade and sous-vide cooking had a positive effect on sensory characteristics. They provided safe conditions for sanitary evaluation. As a result, it appears that marinade at refrigeration temperature is better than that at room temperature.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.380.2-380.2
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• 2014

Direct synthesis of graphene using a chemical vapor deposition (CVD) has been considered a facile way to produce large-area and uniform graphene film, which is an accessible method from an application standpoint. Hence, their fundamental understanding is highly required. Unfortunately, the CVD growth mechanism of graphene on Cu remains elusive and controversial. Here, we present the effect of graphene growth parameters on the number of graphene layers were systematically studied and growth mechanism on copper substrate was proposed. Parameters that could affect the thickness of graphene growth include the pressure in the system, gas flow rate, growth pressure, growth temperature, and cooling rate. We hypothesis that the partial pressure of both the carbon sources and hydrogen gas in the growth process, which is set by the total pressure and the mole fraction of the feedstock, could be the factor that controls the thickness of the graphene. The graphene on Cu was grown by the diffusion and precipitation mode not by the surface adsorption mode, because similar results were observed in graphene/Ni system. The carbon-diffused Cu layer was also observed after graphene growth under high CH4 pressure. Our findings may facilitate both the large-area synthesis of well-controlled graphene features and wide range of applications of graphene.

• 한국추진공학회:학술대회논문집
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• 한국추진공학회 2011년도 제37회 추계학술대회논문집
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• pp.968-969
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• 2011

본 연구에서는 고고도 모사용 2차목 초음속 디퓨져의 특성을 알아보았고 작동 원리를 고찰하였다. STED의 경우 원통형 디퓨져보다 효율적으로 진공환경을 모사할 수 있는 것으로 알려져 있으므로 STED를 해석하였다. STED의 경우 디퓨져의 직경이 노즐 출구보다 크므로 노즐 배기는 디퓨져의 입구에 맞게 팽창되므로 그에 따라 배압이 감소함을 알 수 있었고 최초의 충격파가 보다 강도가 낮은 경사충격파로 바뀌면서 그에 따라 압력이 회복되어 디퓨져가 작동됨을 알 수 있었다.

• Nuclear Engineering and Technology
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• 제51권3호
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• pp.908-914
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• 2019

Fusion power shutdown system (FPSS) is a safety system to stop plasma in case of accidents or incidents. The gas injection system for the FPSS presented in this work is designed to research the flow development in a closed system. As the efficiency of the system is a crucial property, plenty of experiments are executed to get optimum parameters. In this system, the flow is driven by the pressure difference between a gas storage tank and a vacuum vessel with a source pressure. The idea is based on a constant volume system without extra source gases to guarantee rapid response and high throughput. Among them, valves and gas species are studied because their properties could influence the velocity of the fluid field. Then source pressures and volumes are emphasized to investigate the volume flow rate of the injection. The source pressure has a considerable effect on the injected volume. From the data, proper parameters are extracted to achieve the best performance of the FPSS. Finally, experimental results are used as a quantitative benchmark for simulations which can add our understanding of the inner gas flow in the pipeline. In generally, there is a good consistency and the obtained correlations will be applied in further study and design for the FPSS.

• Food Science and Biotechnology
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• 제16권5호
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• pp.848-853
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• 2007

The effects of high-hydrostatic pressure (HHP) on the ginsenoside concentration in Korean red ginseng were investigated. HHP-pretreated Korean red ginseng samples were compared to samples produced by a conventional method. Six-year-old Korean fresh ginseng (Panax ginseng C.A. Meyer) samples were vacuum-packaged in polyethylene film and treated at room temperature for 1 min with HHP (200-600 MPa) and steamed at $98^{\circ}C$ for 3 hr. Major ginsenosides of red ginseng were analyzed by HPLC. HHP-pretreated red ginseng showed a 45% higher level of total major ginsenosides than conventionally prepared red ginseng. The levels of 4 protopanaxadiol-type ginsenosides increased 34-43% and the levels of 5 protopanaxatriol-type ginsenosides increased 45-66%. Scanning electron microscopy and electrical conductivity spectrum analysis showed that HHP pretreatment damaged ginseng plant cells and increased extraction efficiencies of ginsenosides from red ginseng products.