Preparation of $SnO_2$ Thin Film Using Reactive DC Magnetron Sputtering
(반응성 DC 마그네트론 스퍼터법에 의한 $SnO_2$ 박막재조 및 특성)
-
- Proceedings of the KIEE Conference
- /
- 대한전기학회 1997년도 하계학술대회 논문집 C
- /
- pp.1352-1354
- /
- 1997