Negative photosensitive glass process에 의한 high aspect ratio 마이크로 구조물의 제조 (The fabrication of high aspect ratio microstructures by negative photosensitive glass process)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1999년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C
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- pp.1140-1141
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- 1999