Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2011.06a
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Pages.645-646
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2011
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

A Study on the basic process for fabrication of high aspect ratio micro structure using partial viscous extension of photoresist

광경화성 수지의 국부적 점성 신장을 이용한 고세장비 마이크로 구조물 제작에 관한 기초공정 연구

김성진 (부산대학교 기계공학부) ;
박상후 (부산대학교 정밀정형 및 금형가공연구소/기계공학부) ;
이동규 (부산대학교 기계공학부) ;
박인백 (부산대학교 기계공학부) ;
이석희 (부산대학교 기계공학부)

Published : 2011.06.01

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Abstract

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