• 청정기술
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• 제18권3호
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• pp.280-286
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• 2012

초임계 이산화탄소를 이용하여 희생 $SiO_2$층에 대한 건식 식각 실험을 진행하였다. HF/pyridine (HF/py) 식각액과 알콜 첨가제를 사용하여 이중 챔버 시스템 방식으로 boron phosphor silica glass (BPSG), tetraethyl orthosilicate (TEOS), thermal $SiO_2$와 Si-nitride (SiN)의 박막 층에 대한 식각 성능을 조사하였다. 메탄올의 첨가에 의하여 실리카 희생막에 대한 HF/py의 식각률이 높아지는 것을 확인할 수 있었다. BPSG를 제외하고는 메탄올이 가장 높은 식각률을 보여줬지만, BPSG의 SiN에 대한 식각 선택비는 이소프로판올이 가장 높았다. HF/py/MeOH 계의 건식 식각반응에서 반응 온도에 따라서 박막별 식각률이 증가하였다. 특히 반응 온도 증가에 따라 BPSG의 식각 속도의 증가폭이 매우 높게 나타났다. HF/py에 알콜 공용매를 첨가하여도 식각 부산물 감소에는 크게 효과가 없었다. HF/$H_2O$의 식각률이 HF/py/alcohol 보다 높게 나타났지만 HF/$H_2O$에 알콜 공용매를 첨가하였을 때는 오히려 식각률이 감소되었다. 캔틸레버 빔 구조를 초임계 이산화탄소 건식 식각으로 제조하여 높은 종횡비의 패턴구조물을 손상 없이 성공적으로 식각할 수 있었다.

• 한국식품영양과학회지
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• 제36권8호
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• pp.965-974
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• 2007

본 연구는 새싹채소 혼합분말(배추, 유채, 브로콜리, 적무, 갓, 알팔파, 메밀 및 보리)이 혈액 및 지방조직의 지질대사 개선효과를 살펴보기 위하여 고지방식이를 섭취한 흰쥐에게 새싹채소 혼합분말을 식이의 5%와 10%로 4주간 급여한 후, 체내 지방조직의 지방 함량, 지방세포의 크기, 지방합성 관련 효소인 ME, 6PGDH, G6PDH, LPL 활성, 혈청 지질성상, 인슐린 및 렙틴 농도를 측정하였다. 체중증가량은 고지방식이만을 급여한 HF-N군이 유의하게 증가하였으며, 고지방식이와 새싹채소 혼합분말을 동시에 급여한 HF-CSL군과 HF-CSH군은 정상지방섭취군인 NF-C군과 유사하였다. 고지방식이만을 급여한 HF-N군은 지방조직의 무게와 지방 함량이 유의하게 높았으며, HF-CSL군과 HF-CSH군은 NF-C군보다도 낮은 경향이었다. 혈청 중 중성지방, 총콜레스테롤 및 LDL-콜레스테롤 함량은 고농도의 새싹채소 혼합분말을 급여한 HF-CSH군이 정상지방섭취군인 NF-C군보다도 낮았으며, HDL-콜레스테롤 함량은 NF-C군보다 높았다. 혈청 인슐린과 렙틴 농도는 HF-N군이 다른 군들에 비하여 가장 높게 나타났으며, 새싹채소 혼합분말의 효과는 새싹채소 혼합분말의 섭취량이 증가함에 따라 감소하였다. 지방세포의 크기도 HF-N군이 다른 군들에 비하여 유의하게 컸다. 새싹채소 혼합분말의 섭취량이 증가함에 따라 지방세포 크기가 작아지는 경향이었다. 지방조직의 지방합성관련 효소인 ME, 6PGDH 및 G6PDH 활성은 지방조직 모두 HF-N군에서 가장 높았다. 새싹채소 혼합분말을 고농도 첨가한 HF-CSH군은 ME와 G6PDH 활성이 가장 낮았으며, NF-C군과는 유사한 활성을 나타내었다. 새싹채소 혼합분말의 섭취량이 증가함에 따라 지방조직의 ME, 6PGDH 및 G6PDH 활성은 저하되었다. 지방조직의 HR-LPL과 TE-LPL 활성은 HF-N군이 다른 군들에 비하여 증가하였으며, 새싹채소 혼합분말의 첨가량이 증가할수록 HR-LPL과 TE-LPL 활성 모두 유의하게 저하되었다. 고농도의 새싹채소 혼합분말을 첨가한 HF-CSH군은 NF-C군가 비슷한 LPL 활성을 나타내었다. 이상의 결과 흰쥐의 경우 식이섬유소를 첨가하지 않고 고지방식이만을 급여 시 체중 및 체지방 함량 증가, 혈청 중 총콜레스테롤 및 중성지방 함량 증가, 지방합성관련 효소 활성 증가를 유도하며, 식이 지방의 섭취 수준이 심혈관계질환에 미치는 영향이 큰 것으로 나타났다. 고지방식이로 인하여 증가된 이러한 결과는 새싹채소 혼합분말 섭취로 혈청 및 지방조직의 지질대사 개선에 영향을 미치는 것으로 나타났다. 이러한 효과는 새싹채소 혼합분말이 혈청 중 총콜레스테롤, 중성지질, 인슐린, 렙틴 농도의 변화와 지방조직의 지방합성관련 효소의 활성 변화로 유도된 것으로 사료된다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2006년도 추계학술발표회 초록집
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• pp.45-46
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• 2006

• 전기학회논문지
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• 제59권8호
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• pp.1401-1405
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• 2010

We have successfully demonstrated of metal-insulator-semiconductor (MIS) capacitors with $HfO_2$/p-Si structures. The $HfO_2$ film was grown at $200^{\circ}C$ on H-terminated Si wafer by atomic layer deposition (ALD) system. TEMAHf and $H_2O$ were used as the hafnium and oxygen sources. A cycle of the deposition process consisted of 0.1 s of TEMAHf pulse, 10 s of $N_2$ purge, 0.1 s of $H_2O$ pulse, and 60 s of $N_2$ purge. The 5 nm thick $HfO_2$ layer prepared on Si substrate by ALD exhibited excellent electrical properties, including low leakage currents, no mobile charges, and a good interface with Si.

• 한국환경농학회지
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• 제27권3호
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• pp.217-224
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• 2008

시설하우스 폐양액 처리를 위한 소형 폐양액처리장치 개발을 위해 소형 폐양액처리장치를 VF-HF, VF-VF, HF-VF 및 HF-HF 조합형으로 구분하여 조합방법별, 여재깊이별 및 폐양액 부하량별로 각각 최적 조건을 조사하였으며, 개발된 시설하우스 폐양액처리장치의 적용성을 검증하기 위해 상기 최적조건하에서 실제 오이, 파프리카 및 딸기 시설하우스에서 배출되는 폐양액의 수처리효율을 조사하였다. 여재 깊이에 따른 오염물질의 수처리 효율은 BOD, COD, SS, T-N 및 T-P 모두에서 깊이가 깊어짐에 따라 수처리효율이 점점 증가하였으며,여재깊이70 cm에서 모든 조합의 BOD, COD 및 SS의 처리효율은 각각 87, 84 및 82% 이상으로 조합방법에 따라 큰 차이 없이 안정적인 수처리 효율을 보였다. T-N 및 T-P의 경우 HF-HF 및 HF-VF 조합형의 처리효율이 타 조합방법에 비해 약간 높았다. 폐양액 부하량에 따른 BOD, COD, SS, T-N 및 T-P의 처리효율은 $150L\;m^{-2}\;day^{-1}{\approx}300L\;m^{-2}\;day^{-1}>450L\;m^{-2}\;day^{-1}$순으로 폐양액의 부하량이 증가함에 따라 수처리 효율이 점점 감소하였다.모든 폐양액 부하량에서의 오염물질 처리효율은HF-VF 및 HF-HF 조합형이 다른 조합형에 비해 높았으며, 특히 총 질소의 경우 HF-HF 조합형이 가장 높은 처리효율을 보였다. 장치의 최적 여재깊이는 70 cm이상이었고, 최적 폐양액 부하이상의 결과를 미루어 볼 때 시설하우스 소형 폐양액처리량은 $300L\;m^{-2}\;day^{-1}$이하이었으며, 최적 조합방법은HF-HF 조합형이었다.

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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• 한국현미경학회 2004년도 제35차 춘계학술대회
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• pp.84-92
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• 2004

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2002년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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• pp.132-132
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• 2002

• 한국자기학회:학술대회 개요집
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• 한국자기학회 2000년도 International Symposium on Magnetics The 2000 Fall Conference
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• pp.484-485
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• 2000

• 한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집
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• 한국마이크로전자및패키징학회 2002년도 추계기술심포지움논문집
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• pp.115-121
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• 2002

In this research we have investigated the characteristics of ultra thin $HfO_2 /SiON$stack structure films using several analytical techniques. SiON layer was thermally grown on standard SCI cleaned silicon wafer at $825^{\circ}C$ for 12sec under $N_2$O ambient. $HfO_2 /SiON$$_4$/$H_2O$ as precursors and $N_2$as a carrier/purge gas. Solid HfCl$_4$was volatilized in a canister kept at $200^{\circ}C$ and carried into the reaction chamber with pure $N_2$carrier gas. $H_2O$ canister was kept at $12^{\circ}C$ and carrier gas was not used. The films were grown on 8-inch (100) p-type Silicon wafer at the $300^{\circ}C$ temperature after standard SCI cleaning, Spectroscopic ellipsometer and TEM were used to investigate the initial growth mechanism, microstructure and thickness. The electrical properties of the film were measured and compared with the physical/chemical properties. The effects of heat treatment was discussed.

• 한국식품영양학회지
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• 제26권1호
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• pp.8-14
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• 2013

This study was performed to investigate the effects of ethanolic extract of Ulmus davidiana root (UE) on lipid metabolism in mice fed a high-fat diet (HF) for 7 weeks. Forty male ICR mice were randomly divided into four groups; normal diet group (N), high-fat diet group (HF), HF with 0.5% UE (HF-L) and 1% UE (HF-H) group. Body weight, body weight gain, and liver weight in the HF group was significantly higher than in the N group, while those of the HF-L and HF-H group were unchanged. UE improved HF-induced dyslipidemia by reducing serum triglyceride, total cholesterol, and the atherogenic index. There was no difference in serum HDL-cholesterol among experimental groups. However, the HDL-cholesterol/total cholesterol ratio was significantly increased in the HF-L and HF-H group. Histological analysis showed that HF-fed mice developed hepatocellular microvesicular vacuolation as a result of fat accumulation. These changes were attenuated by 1% UE supplementation. In addition, hepatic triglyceride and cholesterol levels in the HF-H group significantly reduced. Taken together, these results demonstrated that lipid levels in the blood and liver were reduced by UE, suggesting that it might be beneficial for the prevention and treatment of hyperlipidemia and fatty liver.