Wafer bonding methods such as fusion and anodic bonding suffer from high temperature treatment, long processing time, and possible damage to the micro-scale sensor or actuators. In the localized bonding process, beating was conducted locally while the whole wafer is maintained at a relatively low temperature. But previous research of localized heating has some problems, such as non-uniform soldering due to non-uniform heating and micro crack formation on the glass capsule by thermal stress effect. To address this non-uniformity problem, a new heater configuration is being proposed. By keeping several points on the heater strip at calculated and constant potential, more uniform heating, hence more reliable wafer bonding could be achieved. The proposed scheme has been successfully demonstrated, and the result shows that it will be very useful in hermetic packaging. Less than 0.2 ㎫ contact Pressure were used for bonding with 150 ㎃ current input for 50${\mu}{\textrm}{m}$ width, 2${\mu}{\textrm}{m}$ height and 8mm $\times$ 8mm, 5mm$\times$5mm, 3mm $\times$ 3mm sized phosphorus-doped poly-silicon micro heater. The temperature can be raised at the bonding region to 80$0^{\circ}C$, and it was enough to achieve a strong and reliable bonding in 3minutes. The IR camera test results show improved uniformity in heat distribution compared with conventional micro heaters. For gross leak check, IPA (Isopropanol Alcohol) was used. Since IPA has better wetability than water, it can easily penetrate small openings, and is more suitable for gross leak check. The pass ratio of bonded dies was 70%, for conventional localized heating, and 85% for newly developed FP scheme. The bonding strength was more than 30㎫ for FP scheme packaging, which shows that FP scheme can be a good candidate for micro scale hermetic packaging.
Kwon, Jin Kyung;Kang, Geum Choon;Lee, Seong Hyun;Sung, Je Hoon;Yun, Nam Kyu;Moon, Jong Pil;Lee, Su Jang
Journal of Biosystems Engineering
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제38권4호
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pp.287-294
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2013
Purpose: Greenhouses for a protected horticulture covered with a plastic or glass are easy to have weakness in a heat loss by deterioration, damage, poor construction, and so on. To grasp the vulnerable points of heat loss of the greenhouses is important for heating energy saving. In this study, an on-site heat loss audit and energy consulting system were developed for an efficient energy usage of a greenhouse. Method: Developed system was mounted with infrared thermal and visual cameras to grasp the heat loss from the greenhouse quickly and exactly, and a trial calculation program of heating load of greenhouse to provide farmers with the information of heating energy usage. Results: Developed system could print out the reports about the locations and causes of the heat losses and improvement methods made up by an operator. The mounted trial calculation program could print out the information of the period heating load and fuel cost according to the conditions of greenhouse and cultivation. The program also mounted the databases of the information on the 13 horticultural energy saving technologies developed by the Korea Rural Development Administration and simple economic analysis sub-program to predict the payback period of the technologies. Conclusion: The developed system was expected to be used as the basic equipment for an instructors of district Agricultural Technology and Extension Centers to conduct the energy consulting service for the farmers within the jurisdiction.
본 연구에서는 실물모형 화재시험 후 쉴드터널 라이닝의 손상평가를 수행하였다. 먼저 고온에 노출된 쉴드터널 라이닝의 코어 채취를 통해 잔존압축강도를 측정하고, X선 회절분석 및 열중량 분석으로 수열온도를 예측하였다. 코어 채취에 의해 측정된 잔존 압축강도를 통해 고온에 의한 부재의 강도저하를 평가할 수 있었다. 또한 정확한 수열온도 예측이 이루어진다면 기존의 연구결과를 통해 부재의 잔존압축강도를 추정할 수 있다. X선 회절분석 및 열중량 분석은 약 $450^{\circ}C$의 온도를 기준으로 수열온도 예측이 가능하지만 정량적인 수열온도의 판단에는 한계가 있었다. $400{\sim}600^{\circ}C$의 수열온도범위에서는 기기분석에 의한 평가와 더불어 해석적 기법이 병행된다면 보다 정확한 수열온도 예측이 가능할 것이다.
Reliable estimation of energy load inside the greenhouse and the selection of cooling and heating facilities are very important preceding factors to save energy as well as initial and maintenance costs of operating a greenhouse. Recently, building energy simulation (BES) technique to simulate a model similar to the actual conditions through a variety of dynamic simulation methods, and predict and analyze the flow of energy is being actively introduced and developed. As a fundamental research to apply the BES technique which is mainly used for analysis of general buildings, to greenhouse, this research designed four types of naturally-ventilated greenhouses using one of commercial programs, TRNSYS, and then compared and analyzed their energy load properties, by applying meteorological data collected from six regions in Korea. When comparing the greenhouse load of each region depending on latitude and topographical characteristics through simulation, Chuncheon had nearly 9~49 % higher heating load per year than other regions, but its annual cooling load was the reverse to it. Except for Jeju, 1-2W type greenhouses in five regions showed about 17 % higher heating load than a widespan type greenhouse, and 1-2W type greenhouses in Chuncheon, Suwon, Cheongju, Daegu, Cheonju and Jeju had 23 %, 20 %, 17 %, 16 %, 18 % and 20 % higher cooling load respectively than a wide span-type one. Glasshouse and vinyl greenhouse showed 8~11 % and 10~12 % differences respectively in heating load, while 2~10 % and 7~10 % differences in cooling load respectively.
최근, 지열 냉난방 시스템의 초기 공사비를 절감하기 위해 연구되고 있는 에너지 파일의 열교환량을 산정하기 위해 2종류(부속연결형, 슬링키형)의 현장타설말뚝형(PRD, 시공심도 4.5m, 직경 1,200mm) 에너지 파일을 시험시공하고 수치 시뮬레이션에 의해 효율을 상호 비교하였다. 상호 비교결과에 의하면 지중 교환량은 운전시작과 함께 채열에 의한 지중온도의 저하에 의해 점점 감소하였고 부속연결형의 평균 열원수의 온도차는 난방운전에서 $0.37^{\circ}C$, 냉방운전에서 $0.34^{\circ}C$로 나타났다. 또, 부속연결형의 난방운전시 열교환량 231.4W/m보다 냉방운전의 방열량은 252.2W/m로서 9% 높았고 슬링키형은 난방 기간 평균 열교환량이 168.0W/m로 부속연결형에 비해 약 27% 낮은 열교환량을 얻었다.
Kim, Jinse;Park, Jong Woo;Park, Seokho;Choi, Dong Soo;Choi, Seung Ryul;Kim, Yong Hoon;Lee, Soo Jang;Park, Chun Wan;Han, Gui Jeung;Cho, Byoung-Kwan
Journal of Biosystems Engineering
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제41권2호
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pp.108-115
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2016
Purpose: Radio frequency (RF) heating is a promising thawing method, but it frequently causes undesirable problems such as non-uniform heating. This can occur because of the food shape, component distribution, and initial temperature differences between food parts. In this study, RF heating was applied to the thawing of cylindrically shaped pork sirloin by changing the shape of electrodes and the surrounding temperature. Methods: Curved electrodes were utilized to increase the thawing uniformity of cylindrically shaped frozen meat. Pork sirloin in the shape of a half-circle column was frozen in a deep freezer at $-70^{\circ}C$ and then thawed by RF heating with flat and curved electrodes. In order to prevent fast defrosting of the food surface by heat transfer from air to the food, the temperature of the thawing chamber was varied by -5, -10, and $-20^{\circ}C$. The temperature values of the frozen pork sirloin during RF thawing were measured using fiber-optic thermo sensors. Results: After multiple applications of curved electrodes resembling the food shape, and a cooled chamber at $-20^{\circ}C$ the half-cylindrically shaped meat was thawed without surface burning, and the temperature values of each point were similarly increased. However, with the parallel electrode, the frozen meat was partially burned by RF heating and the temperature values of center were overheated. The uniform heating rate and heat transfer prevention from air to the food were crucial factors for RF thawing. In this study, these crucial factors were accomplished by using a curved electrode and lowering the chamber temperature. Conclusions: The curved shape of the electrode and the equipotential surface calculated from the modeling of the parallel capacitor showed the effect of uniform heating of cylindrically shaped frozen food. Moreover, the low chamber temperature was effective on the prevention of the surface burning during RF thawing.
본 논문은 로이유리(Low emissivity glass) 표면에 증착되어 있는 금속박막의 전도 특성을 이용하여 발열유리(Heatable glass)를 제작하는 방법에 대해 제안한다. 로이유리의 발열량은 로이유리 표면저항에 의한 주울(Joule) 열에 의존하므로 소재의 표면저항을 측정함으로써 예측 및 설계가 가능하다. 본 연구에서는 저방사층이 11nm인 소프트로이유리 시료에 각 50mm 간격으로 은(Ag) 전극을 형성시키고, 4단자법으로 면저항을 측정하여 로이유리의 소비전력과 발열량을 예측한 후에, 제작 및 실험을 통해 발열성능을 확인하였다. 기존의 발열유리 제작방법은 크게 두 가지로 일반유리(Normal glass)에 니크롬(Nichrome) 열선을 삽입하는 방법과, 일반유리에 전도성 투명박막을 증착하는 방법이 있다. 니크롬 열선 삽입 방식은 발열성능은 우수하나 유리 고유의 투명성을 저해하고, 전도성 투명박막을 증착하는 방법은 투명성은 양호하나 공정이 복잡하여 실용성이 저하된다. 본 논문에서는 주로 건축물의 단열효과 향상을 위해 사용되는 로이유리를 이용하여 로이유리 전면에 코팅되어 있는 전도성 금속박막에 레이저 빔을 조사하여 원하는 발열성능을 가지는 발열유리를 제작하는 방법을 제안한다. 제안된 방법은 기존의 니크롬 열선을 삽입하는 방법에 비해 투명성이 양호하고, 전도성 투명박막을 증착하는 방법에 비해 제작과정이 보다 수월함을 확인하였다. 아울러, 레이저를 조사하여 로이유리의 표면 박막을 패터닝(Patterning) 하는 형태에 따른 발열특성의 비교와 로이유리에 적합한 레이저 출력조건을 제시하고자 한다.
일반사출성형에서는 수지가 캐비티 내를 흐르면서 냉각으로 인한 점도의 상승으로 전사성이 급격히 나빠지기 때문에 미세패턴을 가진 성형품을 제작하는데 많은 어려움이 따른다. 이를 해결하는 방법으로 금형온도를 용융된 수지온도 수준까지 순간적으로 표면만을 가열하여 성형시킨 후 급속히 냉각하는 다양한 순간금형가열방식이 있고, 그 중 본 연구에서는 전열가열방식인 E-Mold을 채택하였다. 특히, 마이크/나노 부품 성형에 필수적인 E-Mold 금형설계에 있어 heating line의 배치는 금형의 온도 제어 및 균일한 온도 분포에 절대적인 영향을 미치므로 최적화된 heating line의 배치가 필수적이다. 본 연구에서는 사출공정의 사이클 타임을 최소화하면서 다양한 해석 프로그램을 사용하여 E-Mold의 최적화 설계를 전산모사 하였고, 이를 실험결과와 비교하였다. 먼저, 3D CAD 프로그램인 Pro-Engineer Wildfire 2.0 을 사용하여 E-Mold 금형을 설계하고, ANSYS사의 ICEMCFD 프로그램을 사용하여 MESH 생성하고, ANSYS사의 FLUENT 프로그램을 사용하여 금형의 초기온도 $60^{\circ}C$에서 $120^{\circ}C$와 $180^{\circ}C$까지 가열하는데 걸리는 시간과 냉각시키는데 걸리는 시간 등을 전산모사 하였다. 그리고 Polycarbonate를 이용하여 LGP 도광판을 실제 사출성형하여 얻은 데이터와 비교 분석을 하였다. 전산모사와 실제 사출결과에서 $3{\sim}4$초가량의 차이가 나타났지만 실제 사출시 고온의 용융된 플라스틱 수지에 따른 냉각시간의 오차를 생각한다면, 전산모사와 실힘결과는 거의 일치한다고 볼 수 있다. 따라서 본 체계적인 전산모사방법을 통해 E-Mold의 Heating Line 최적화 설계가 가능하다는 것을 확인하였다.
In comparison of the antioxidant activities by the different extraction methods of the domestic mung bean varieties, 'Geumsung', 'Dahyeon', 'Sohyeon', and 'Eohul', were soaked and dehulled, with the extracts obtained by using 80% ethanol at room temperature or heated. The mung bean hull was freeze-dried, ground, and passed through 100 mesh sieve. The moisture content of the hull powder ranged from 1.70 to 3.15%. The total dietary fiber content ranged from 84.42 to 88.47%, with the Sohyeon hull showing the highest value. The L value of Geumsung hull (62.93) was the highest, and the a value of Sohyeon hull (-1.69) was the lowest (p<0.05). The color difference was the highest in Dahyeon hull (42.52) and lowest in Geumsung hull (38.52). The Eohul hull's chlorophyll a and b contents were the highest with the 80% ethanol extract by heating (10.55 and 6.12 ${\mu}g/mL$, respectively), but the Sohyeon hull showed the highest in 80% ethanol extract at room temperature (7.63 and 3.93 ${\mu}g/mL$, respectively). The total phenolic and total flavonoid contents of the ethanol extracts were significantly different between the varieties regardless of the extraction temperature. The hull extract from the heating extraction was higher in Eohul than in other varieties, and was the lowest in the Dahyeon variety. The extract from Sohyeon hull at room temperature showed the highest contents of total phenolic and flavonoid contents. In the mung bean hull extract by heating, DPPH and ABTs radical scavenging activity ranged from 13.49-16.75% and 22.93-39.42% respectively and those at room temperature ranged from 39.86-41.88% and 49.71-70.92%. The reducing powers of extracts by heating ranged from 7.29 to 9.36 mg BHT/g hull, and at room temperature, they ranged from 19.90 to 20.97 mg BHT/g hull. Our results indicate that different extraction methods influenced antioxidant activities in the domestic mung bean varieties.
Real-time characterization of the rock thermal deformation and fracture process provides guidance for detecting and evaluating thermal stability of rocks. In this paper, time -frequency characteristics of acoustic emission (AE) and electromagnetic radiation (EMR) signals were studied by conducting experiments during rock continuous heating. The coupling correlation between AE and EMR during rock thermal deformation and failure was analyzed, and the microcosmic mechanism of AE and EMR was theoretically analyzed. During rock continuous heating process, rocks simultaneously produce significant AE and EMR signals. These AE and EMR signals are, however, not completely synchronized, with the AE signals showing obvious fluctuation and the EMR signals increasing gradually. The sliding friction between the cracks is the main mechanism of EMR during the rock thermal deformation and fracture, and the AE is produced while the thermal cracks expanding. Both the EMR and AE monitoring methods can be applied to evaluate the thermal stability of rock in underground mines, although the mechanisms by which these signals generated are different.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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