• 제목/요약/키워드: Heating Electrode

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단일전극을 가진 마이크로 가스센서의 제작 및 특성 (Characteristics and Fabrication of Micro Gas Sensor with Single Electrode)

  • 송갑득;방영일;이상문;이윤수;최낙진;주병수;서무교;허증수;이덕동
    • 센서학회지
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    • 제11권6호
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    • pp.350-357
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    • 2002
  • 센서의 안정도와 감도를 개선시킬 수 있는 단일전극을 가진 열선형 마이크로 가스센서를 제작하였다. 일반적으로, 금속산화물 반도체를 이용한 가스센서는 히터전극과 감지전극의 두 개의 전극을 가지고 있다. 제작된 센서는 히터전극위에 감지물질을 형성하여 단일 전극을 가지는 구조를 가지고 있다. 히터와 감지전극으로 사용되는 Pt는 glass 기판위에 스퍼터링법으로 형성하였으며 $SnO_2$ 감지물질은 제작된 Pt 전극위에 열증착시켜 형성하였다. $SnO_2$ 막은 lift-off 공정을 이용해서 패턴을 형성하고 1시간 동안 산소분위기에서 열산화하였다. 제작된 소자의 크기는 $1.9{\times}2.1\;mm^2$이다. CO 가스에 대한 감지특성을 조사한 결과 1,000 ppm에 대해 100 mV의 출력변화를 나타내었으며, 넓은 농도범위($0{\sim}10,000\;ppm$)에서 선형적인 전압출력을 나타내었다. 또한 가스 반응 전과 반응 후의 전압출력을 비교해 볼 때, 1% 이내의 편차를 나타내는 우수한 회복성을 나타내었다.

전극의 용량성분을 이용한 공진이득 증폭형 유전가열장치에 관한 연구 (A study on a dielectric heating system for amplifying the resonant gain using the capacitance of electrodes)

  • 김신효;이창우;배한나;조대권
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • 제39권9호
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    • pp.940-946
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    • 2015
  • 본 논문에서는 300kHz 이상의 주파수를 사용하는 고전압펄스의 출력이득을 증폭시키는 방법에 대하여 고찰하였다. 종래의 파워스테이지의 전압을 상승시켜 펄스진폭(Pulse-amplitude)을 증폭하는 방식 대신에, 부하의 용량성분과 회로의 기생성분간의 공진을 이용하여 출력이득을 증폭하는 방식으로 연구가 진행되었다. 특히 브릿지형 대신에 Flyback Topology를 적용을 통하여 회로구성을 간소화하고, 출력펄스파형에 출력전극의 용량성분을 부여함에 따라 부하에 가해지는 출력전압의 이득을 증폭시킴으로써, 하드스위칭을 통한 출력회로 내에서의 과부하 및 발열에 따른 손상을 막을 수 있는 장점이 있다. 해당연구는 의료 및 산업용가열분야에 적용되는 유전가열 방식의 접촉형 가열기기의 공간적, 전기적 효율을 제고할 수 있는 한 방법을 제시한다.

상대전극 제작 방식에 따른 염료감응형 태양전지 특성 비교 연구 (A comparative study on the characteristics of the dye-sensitized solar cell with different methods of manufacturing the counter electrode)

  • 손민규;서현웅;신인영;김진경;홍지태;채원용;김희제
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회
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    • pp.1338_1339
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    • 2009
  • Dye-sensitized solar cell (DSC) consists of photo electrode, counter electrode and electrolyte. Photo electrode has titanium oxide layer with dye molecule to create electrons. And counter electrode is made of one layer that has catalytic ability for redox system such as the iodide/triiodide couple. Most DSC researchers use platinum as catalyst on counter electrode because platinum has good catalytic ability and conductivity. Platinum is doped on fluorine-doped tin oxide glass with different methods such as sputtering method, electrochemical method and so on. In this paper, we deposit platinum on counter electrode glass with two methods. One is the radio frequency (RF) sputtering method and the other is the chemical method with heating treatment. Finally, we compare the photovoltaic characteristics of DSCs that are assembled using two different counter electrodes.

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유한요소법에 의한 적층형 세라믹 히터의 전극 패턴 최적화 (Optimization of Electrode Pattern for Multilayer Ceramic Heater by Finite Element Method)

  • 한윤수;김시연;여동훈
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제30권12호
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    • pp.776-781
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    • 2017
  • In this study, we investigated the effect of electrode pattern design on the thermal shock resistance and temperature uniformity of a ceramic heater. A cordierite substrate with a low thermal expansion coefficient was fabricated by tape casting, and a tungsten electrode was printed and used as a heating element. The temperature distribution of the ceramic heater was calculated by a finite-element method (FEM) by considering various electrode patterns, and the tensile stress distribution due to the thermal stress was calculated. In the electrode pattern with a single-line width, the central part of the ceramic heater was heated to the maximum temperature, and the position of the ceramic heater having a double-line width was changed to the maximum temperature, depending on the position of the minimum line width pattern. The highest tensile stress was found along the edges of the ceramic heater. The temperature gradient at the edge determined the tensile stress intensity. The smallest tensile stress was observed for electrode pattern D, which was expected to be advantageous in resisting thermal shock failures in ceramic heaters.

8 MHz 고주파 유전형 가열장치로 가열한 모형에서의 열분포 (Thermal Distribution in a Phantom Using 8MHz RF Capacitive Type Hyperthermia)

  • 이종영;박경란;김계준;성기준
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제9권2호
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    • pp.171-176
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    • 1991
  • 8 MHz 고주파 유전형 가열장치로 모형을 가열할 때에 전극의 크기와 모형의 두께에 따른 온도 분포를 알아보기 위하여 다양한 크기의 전극과 다양한 두께의 모형을 조합하여 실험하였다. 전극은 10, 15, 20, 25, 그리고 30 cm 크기를 사용하였고 모형은 10, 15, 20, 25, 그리고 30 cm 두께를 사용하였다. 모형의 두께가 25 cm 이상일 경우에는 전극의 크기가 모형의 두께보다 크거나 혹은 같을때에 중심부에 균일한 온도 분포를 얻을 수 있었으나, 모형의 두께가 20 cm 이하일 경우에는 전극의 크기가 모형의 두께와 같을 때는 균일한 온도 분포를 얻을 수 없었고 전극의 크기가 모형의 두께보다 클 때만 균일한 온도 분포를 얻을 수 있었다. 크기가 다른 한쌍의 전극을 사용하여 가열시에는 작은 전극 쪽으로 가열 부분이 집중되었고 그 현상은 전극크기의 차가 클 수록 심하였다.

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The effect of sustain discharge gap variation in AC PDP with high Xe content

  • Bae, Hyun-Sook;Whang, Ki-Woong
    • 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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    • 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
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    • pp.13-17
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    • 2006
  • We investigated the effect of sustain electrode gap variation with high Xe content in an ac Plasma Display Panel through two-dimensional numerical simulation to understand the inherent high luminous efficiency mechanism. For the low Xe content, the optimal sustain electrode gap turned out to be about 200 ${\mu}m$, but with higher Xe content, the VUV generation efficiency increased as the electrode gap increases beyond 200 ${\mu}m$. We found that it is due to higher electron heating efficiency in the cathode sheath under the condition of long electrode gap and high Xe content.

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Moving wall형 LB법으로 제작된 MLS DLPC LB 박막의 제작과 캐패시턴스 특성 (Capacitance properties of DLPC LB films with MLS structure fabricated by moving wall type method)

  • 이우선;정용호;손경춘
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1998년도 하계학술대회 논문집 D
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    • pp.1297-1299
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    • 1998
  • LB layers of L-$\alpha$-DLPC deposited by LB method were deposited onto n-type silicon wafer as Z-type film. Films made up of 8, 16 layers of lipid with long alkyl chain and the thickness of monolayer and multilayers was determined by ellipsometry. It was deposited Ag and Al onto LB layers and silicon wafer for electrode and small electrode exhibit high capacitance and low leakage current. The C-V curves of the MLS capacitor shows very high saturation value of capacitance. And cross-sectional SEM image of MLS capacitor indicated the presence of pore with Al electrode and we found that the Ag is good for electrode metal.

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폐탄소 소재를 활용한 시멘트복합체 발열성능 평가 (Heating Properties of Cement Composites using Waste Carbon Materials)

  • 구현철;조형규
    • 한국건축시공학회:학술대회논문집
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    • 한국건축시공학회 2023년도 가을학술발표대회논문집
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    • pp.213-214
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    • 2023
  • The burden of housing heating costs has increased as energy prices such as global oil prices (28.1%), LNG (38%) and minerals (100%) have soared due to the Ukraine crisis. Accordingly, an electrically conductive cement composites had developed using waste carbon materials such as waste cathode materials, waste CNTs, and waste carbon fibers, and the heat generation performance was evaluated.

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Capacitively Coupled Plasma Source를 이용한 Etcher의 상부 전극 온도 변화에 따른 Etch 특성 변화 개선 (Improvement of Repeatability during Dielectric Etching by Controlling Upper Electrode Temperature)

  • 신한수;노용한;이내응
    • 한국진공학회지
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    • 제20권5호
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    • pp.322-326
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    • 2011
  • 상부 전극에 RF power 가 직접 인가되는 capacitively coupled plasma source를 이용한 oxide layer etching 공정은 현재 반도체 제조 공정에서 매우 유용하게 사용되고 있는 방식이다. 그러나 디바이스의 사이즈가 점점 작아지면서 공정을 진행하기 위한 RF power도 커지고, plasma ignition 되는 electrode 사이의 간격도 점점 좁아지는 기술적 변화가 이루어지고 있다. 이러한 H/W의 변화에 따라 예상치 못한 문제들로 공정을 적용하는데 많은 문제점이 발생하고 있는데, 공정 진행 시에 plasma의 영향으로 인한 electrode의 온도 변화도 그 중 하나이다. 이러한 온도 변화로 인해 wafer to wafer의 공정 진행 결과가 서로 다르게 나타나게 하는 문제가 야기되고 있다. 아래의 내용에서는 상부 electrode의 온도 변화에 따른 etch 특성을 연구하고, 이를 개선할 수 있는 방법에 대해 논하고자 한다.

상용 주파수 (60Hz) Plasma Jet Torch의 동작특성에 관한 연구 (A Study on the Operating Characteristics of Commercial Frequency Plasma Jet Torch)

  • 전춘생;정재웅
    • 전기의세계
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    • 제24권1호
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    • pp.75-85
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    • 1975
  • In order to develop the commercial frequency (60Hz) plasma torch of small capacity for material cutting, welding and other industrial heating, the A.C plasma jet generator of non-transfered type is made domestically and the electrode configurations of plasma torch are composed of two kinds of electrodes W-C and W-Cu, combined by thermal emission and field emission electrode materials. In this paper, the characteristics of input power, thermal efficiency, electrode consumption, the flame and forms of arc voltage and arc current for A.C plasma torch are investigated in relation to such variables as arc current, argon flow and magnetic field intensity to obtain the basic design data necessary to A.C plasma jet generator. The result are as follows; (1)The input power, thermal efficiency and electrode consumption are influenced greatly by argon flow, magnetic field intensity and nozzle materials. (2)A.C arc voltage and current are non-symmetrial, involving D.C Component. Due to this current of D.C Component, transformer core is saturated and a large abnormal current flows into the primary winding coil. In order to prevent this abnormal current flow, a condenser must be connected in series to the main discharge circuit. (3)The stability and sharpness of jet flame are improved more in the torch of W-C electrode configuration than in the torch of W-Cu electrode configuration.

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