Si 및Si$_{0.7}$ Ge$_{0.3}$ 박막의 표현형태 및 조도의 전개
(Evolution of surface morphology and roughness in Si and $_{0.7}$ Ge$_{0.3}$ thin fimls)
-
- 한국표면공학회지
- /
- 제31권6호
- /
- pp.345-358
- /
- 1998