• 한국진공학회지
• /
• 제17권4호
• /
• pp.262-269
• /
• 2008

진공시스템 안의 잔류가스를 측정하여 공정제어에 이용되는 잔류가스분석기의 주요부품인 이온원, 사중극자질량분석기, 이온검출부의 작동원리와 사용 상 발생될 수 있는 문제점 및 가능한 해결방법을 소개한다.

• 산업기술연구
• /
• 제21권B호
• /
• pp.149-153
• /
• 2001

A study on the particle growth in $TEOS/O_2$ plasma was performed, and particle size and its distribution was measured by the electrical aerosol analyzer (EAA), light scattering particle size analyzer and the particle size was also determined by SEM. The effects of process variables such as total gas flow rate, reactor pressure, supplied power and initial reactant concentration on the particle growth were investigated. From the EAA results, the particle size distribution is divided into three groups of the cluster size and the small and large size particles. The particle size distribution measured by the light scattering particle size analyzer becomes bimodal, because the cluster size particles smaller than 20 nm in diameter cannot be detected by the light scattering particle size analyzer. The size of particles measured by the light scattering particle size analyzer is in good agreements with those by the SEM. Also we could understand that the particle formation is very sensitive to the changes of reactor pressure and reactant concentration. As the total gas flow rate increases, the particle size decreases because of the shorter residence time. As the reactor pressure, or the reactant concentration increases, the particle concentration increases and the particles grow more quickly by the faster coagulation between particles.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
• /
• 한국해양정보통신학회 2006년도 춘계종합학술대회
• /
• pp.1032-1036
• /
• 2006

In this study, we implement the potable blood gas analyzer measuring pH, $pCO_2\;and\;pO_2$ of the arterial blood. The implemented system by this study is divided into hardware and software part and also the hardware portion is parted by mechanism and electronic circuit mit. The system program is composed of operating, washing, correcting and measuring program. And to correct the system, two-point calibration method is used, one-point calibration method is also added for more accuracy, and system program is coded. For verifying the implemented system, We examine to response property of each electrode. And evaluate accuracy of the system using standard reagent and was construed as statistical.

• 한국진공학회지
• /
• 제16권2호
• /
• pp.91-98
• /
• 2007

한국표준과학연구원 진공기술센터에서 잔류기체분석기 교정장치를 개발하였으며, 이 장치를 이용하여 서로 다른 구조를 가진 두개의 사중극 질량분석기 (quadrupole mass spectrometer)의 질소, 아르곤, 헬륨에 대한 기체감도를 측정하였다. 그 결과 기체감도는 QMS 구조와 상관없이 기체의 질량이 클수록 높게 나타났고 압력에 따라서도 다른 특성을 보였으므로 정확한 사용을 위해서는 기체감도를 꼭 보정해야 함을 알 수 있었다.

• 한국연소학회지
• /
• 제15권4호
• /
• pp.43-52
• /
• 2010

A non-intrusive measurement, Planar Laser Induced Fluorescence was employed to visualize and measure the fuel distribution of the non-reacting field at the burner exit of gas turbine combustor. Measurement techniques, image processing method and quantification procedure were presented. Also, concentration measurement with gas analyzer was carried out to verify the propriety of PLIF result. The PLIF result coincides well with gas analyzer measurement result. PLIF test result for several other conditions are mentioned as well.

• 전기학회논문지
• /
• 제68권1호
• /
• pp.102-107
• /
• 2019

This paper proposes a method to improve the mass spectral detection performance of the residual gas analyzer. By improving the mode estimation method for setting the threshold value and improving the additive noise elimination method, it is possible to detect mass spectrums having low peak values of the threshold level difficult to distinguish from noise. Ion signal blocks for each mass index with noise removed by the improved method are effective for eliminating invalid ion signals based on the linear and quadratic fittings. The mass spectrum can be obtained from the quadratic fitted curves for the reconstructed ion signal block using only the valid ion signals. In addition, the resolution of the mass spectrum can be improved by correcting the error caused by the shift of the spectral peak position. To verify the performance of the proposed method, computer simulations were performed using real ion signals obtained from the residual gas analysis system under development. The simulation results show that the proposed method is valid.

• 방사성폐기물학회지
• /
• 제18권2_spc호
• /
• pp.327-336
• /
• 2020

HANARO (High-flux Advanced Neutron Application Reactor)는 우라늄의 핵분열 연쇄반응에서 생성된 중성자를 이용하여 다양한 연구개발을 수행하는 열출력 30 MW 규모의 연구용 원자로이다. 탈기탱크는 HANARO의 부속시설에 설치되어 있다. 탈기탱크는 내부환경요인으로 인해 기체오염물질을 발생시킨다. 탈기탱크는 기체오염물질을 허용 가능한 수준 이하로 유지하기위해 필요하며 기체시료채취판넬의 분석기에 의해 모니터링 된다. 응축수가 발생하여 기체시료채취판넬의 분석기 내부로 유입된다면, 분석기의 측정 챔버 내부에 부식이 발생하여 고장을 야기한다. 응축수의 생성 원인은 탈기탱크에 존재하는 기체가 분석기로 유입되는 과정에서 탈기탱크와 분석기사이 온도 차이다. 응축수 생성을 억제하고 계통 내부에 생성된 응축수를 효율적으로 제거하기 위해 탈기탱크와 기체시료채취판넬 사이에 히팅시스템이 설치되었다. 이 연구에서 우리는 히팅시스템의 효율성을 알고자 한다. 또한 Wall Condensation Model을 이용하여 유체 입구온도, 외부온도 및 히팅 케이블 설정온도 변화에 따른 파이프 온도와 평균응축량의 변화를 모델링하였다.

• Journal of the Korean Wood Science and Technology
• /
• 제35권6호
• /
• pp.65-72
• /
• 2007

VOC Analyzer는 공기 중에 포함되어 있는 VOC (휘발성 유기화합물) 중 toluene, ethyl benzene, xylene, styrene 등 4가지 방향족 탄화수소 가스 농도를 측정하는 측정 장비이다. 검출기에는 고감도 반도체 가스센서를 사용한 가스크로마토그래피방식으로써 캐리어 가스로서는 봄베공기를 사용한다. 또한, 대기 중에 포함되어 있는 다양한 가스성분을 농축하지 않고 VOC를 분리 검출하여 농도를 편리하면서도 자세하게 측정할 수 있으므로 건축자재, 페이트, 도료, 접착제 등에서 응용될 수 있다. 이러한 장점을 가진 VOC Analyzer를 이용하여 목재에 주로 사용되는 도료로부터 VOC 방사거동을 확인하였다. 실험은 시편을 밀봉하여 실험개시 후 일정시간 간격으로 48시간까지 측정하였다. 수용성 페인트와 enamel 페인트의 VOC 방산량은 lacquer와 urethane vanish에 비해 상대적으로 적었으며 4개의 샘플 중에서 lacquer의 VOC 방산량이 가장 높게 나타났다. VOC Analyzer를 이용한 측정법은 현재 사용되고 있는 VOC 측정방법 중 가장 빠르고 경제적인 기술이기 때문에 앞으로 널리 사용된 것이라 기대된다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
• /
• pp.50-50
• /
• 2000

당사는 1970년 제우스 콤 상사로부터 출발하여 1988년 12우러 주식회사 제우스로 법인 전환한 후 현재 한국반도체 산업협회 및 회원으로 등록 활동하고 있다. 이번 발표에서는 회사에 대한 소개와 함께 취급품목을 설명하고자 한다. 취급품목은 Ion beam sources(CSC), E-beam evaporator & E-beam source(Temescal), Residual Gas Analyzer(SPECTRA), Cryopump & Waterpump(CTI-Cryogenics), Thickness Monitor & Controller, Electrical Feedthrough, RTP system, Thin Film Analyzer, PECVD, RIE 등이다.

• 대한기계학회논문집B
• /
• 제27권11호
• /
• pp.1604-1611
• /
• 2003

The experimental investigation of a coal splitter used in the 500㎿(e) boilers of fossil power plant is carried out to validate the design criteria. To predict air flow and the amount of particles at the exit, velocity and the weight of particles are measured on test planes using the coal splitter model with two-dimensional phase doppler particle analyzer and the glass fiber filter. It is found that the position of guide plate influences significantly both flow rates of gas and particle at the exit. Gas flow rate was a linear function of the guide plate, whereas particle flow rate was a exponential function of it.