Kim, Han-Jun;Almanza-Workman, Marcia;Chaiken, Alison;Elder, Richard;Garcia, Bob;Jackson, Warren;Jeans, Albert;Kwon, Oh-Seung;Luo, Hao;Mei, Ping;Perlov, Craig;Taussig, Carl;Jeffrey, Frank;Beacom, Kelly;Braymen, Steve;Hauschildt, Jason;Larson, Don
한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display
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pp.82-85
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2008
We are working towards large-area arrays of thin film transistors on polymer substrates using roll-to-roll (R2R) processes exclusively. Self-aligned imprint lithography (SAIL) is an enabler to pattern and align submicron features on meter-scaled flexible substrates in the R2R environment. The progress, current status and remaining issues of this new fabrication technology are presented.
This paper shows necessity of encapsulation layer to maximite flexibility of brittle indium-tin-oxide (ITO) on polymer substrates. And, Young's modulus (E) of encapsulation layer have an significant effect on external bending stress and the coefficient of thermal expansion (CTE) of that have a significant effect on internal thermal stress. To compare magnitude of total mechanical stress including both bending stress and thermal stress, the mechanical stress of triple-layer structure (substrate / ITO / encapsulation layer or substrate / buffer layer / ITO) can be quantified and numerically analyzed through the farthest cracked island position. As a result, it should be noted that multi-layer structures with more elastic encapsulation material have small mechanical stress compared to that of buffer and encapsulation structure of large Young's modulus material when they were externally bent.
Zinc oxide(ZnO) was sputtered on various glass and flexible substrates such as polyethylene terephthalate(PET) and polycarbonate(PC). A Q-switched $Nd:YVO_4$ laser with a wavelength of 1,064 nm was used for the direct etching of ZnO films. It was possible to obtain laser etched line patterns on the ZnO films on PC substrate at some specific laser beam conditions. In the flexible substrates, more thermal energy of laser beam is expected to be spreaded for the etching process.
For the deposition of the semiconductor nanocrystals or quantum dots, it is required to have the substrates with smooth surface roughness. Slot-die coating method wad adopted and optimized varying the processing parameters like coating speed, gap distance, solution concentration, etc to get the smooth coated films on flexible substrates. The coating speed in slot-die method was varied from 1 m/min to 2.5 m/min focusing especially on its industrial usage. The gap distance between the substrate surface and slot-die lip was changed also to control mainly the thickness of coated films.
Realization of electronics with performance equal to established technologies that use rigid semiconductor wafers, but in lightweight, foldable and stretchable formats would enable many new application possibilities. Examples include wearable systems for personal health monitoring, 'smart' surgical gloves with integrated electronics and electronic eye type imagers that incorporate focal plane arrays on hemispherical substrates. Circuits that use organic or certain classes of inorganic electronic materials on plastic or steel foil substrates can provide some degree of mechanical flexibility, but they cannot be folded or stretched. Also, with few exceptions such systems offer only modest electrical performance. In this talk, I will present a new approach to high performance, flexible and stretchable integrated circuits. These systems combine single-crystal silicon nanoribbons with thin plastic or elastomeric substrates using both "top-down" and "transfer-printing" technologies. The strategies represent promising routes to high performance, flexible and stretchable optoelectronic devices that can incorporate established, high performance inorganic electronic materials.
Kim, Hyun-Gi;Jang, Jung-Soo;Choi, Suk-Won;Ishikawa, Ken;Takezoe, Hideo;Kim, Sung-Soo
한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display
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pp.1319-1321
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2009
Copper phthalocyanine (CuPc) Field-effect transistors (FETs) was successfully fabricated on plastic substrates. Orientation of CuPc crystallites on substrate could be obtained via rubbing process. It was revealed that CuPc crystallites were perpendicularly aligned on PES substrates with the rubbing direction. The performance of FETs was affected by orientation of CuPc on rubbed substrates.
Recently, transparent ZnO-based TFTs have attracted much attention for flexible displays because they can be fabricated on plastic substrates at low temperature. We report the fabrication and characteristics of ZnO channel layers(ZnO TFTs) having different channel thicknesses. The ZnO film were deposited as active channel layers on $Si_3N_4/Ti/SiO_2p$-Si substrates by rf magnetron sputtering at $100\;^{\circ}C$ without additional annealing. Also the Zno thin films deposited at oxygen partial pressures of 40%. ZnO TFTs using a bottom-gate configuration were investigated. The $Si_3N_4$ film were deposited as gate insulator by PE-CVD at $15\;^{\circ}C$. All Processes were processed below $150^{\circ}C$ which is optimal temperature for flexible display and were used dry etching method.
Kim, Jong-Yun;Jeong, Hu-Young;Choi, Hong-Kyw;Yoon, Tae-Hyun;Choi, Sung-Yool
한국진공학회:학술대회논문집
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한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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pp.9-9
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2011
There has been strong demand for novel nonvolatile memory technology for low-cost, large-area, and low-power flexible electronics applications. Resistive memories based on metal oxide thin films have been extensively studied for application as next-generation nonvolatile memory devices. However, although the metal oxide-based resistive memories have several advantages, such as good scalability, low-power consumption, and fast switching speed, their application to large-area flexible substrates has been limited due to their material characteristics and necessity of a high-temperature fabrication process. As a promising nonvolatile memory technology for large-area flexible applications, we present a graphene oxide-based memory that can be easily fabricated using a room temperature spin-casting method on flexible substrates and has reliable memory performance in terms of retention and endurance. The microscopic origin of the bipolar resistive switching behaviour was elucidated and is attributed to rupture and formation of conducting filaments at the top amorphous interface layer formed between the graphene oxide film and the top Al metal electrode, via high-resolution transmission electron microscopy and in situ x-ray photoemission spectroscopy. This work provides an important step for developing understanding of the fundamental physics of bipolar resistive switching in graphene oxide films, for the application to future flexible electronics.
We characterize a flexible self-assembled liquid crystal display (LCD) fabricated from a polyimide (PI) alignment layer with polydimethylsiloxane pixel walls. Ion beam (IB) irradiation aligned LC molecules in the PI layer and bonded two flexible plastic substrates in a one-step assembly of the pixel walls. X-ray photoelectron spectroscopic analysis, Fourier transform infrared spectroscopy, and scanning electron microscopy provided chemical and physical evidence for the formation of stable chemical bonds between the PI layer and the PDMS pixel walls in addition to the important maintenance of a uniform 6 um gap between the two substrates without the use of any epoxy resins or other polymers.
플렉서블, 웨어러블 디바이스 등을 포함한 차세대 전자 기기의 기계적 신뢰성 향상을 위하여 다양한 유연 접합부에서 높은 수준의 기계적 신뢰성이 요구되고 있다. 기존 고분자 기판 접합을 위한 에폭시 등의 유기 접착소재는 접합부 두께 증가가 필연적이며, 반복 변형, 고온 경화에 의한 열기계적 파손 문제를 수반한다. 따라서 유연 접합을 위해서 접합부 두께를 최소화하고 열 손상을 방지하기 위한 저온 접합 공정 개발이 요구된다. 본 연구에서는 플렉서블 기판의 유연, 강건, 저 열 손상 접합이 가능한 플렉서블 레이저 투과 용접(flexible laser transmission welding, f-LTW)를 개발하였다. 유연 기판 위 탄소나노튜브(carbon nanotube, CNT)를 박막 코팅하여 접합부 두께를 줄였으며, CNT 분산 빔 레이저 가열을 통한 고분자 기판 표면의 국부적 용융 접합 공정이 개발되었다. 짧은 접합 공정 시간과 기판의 열 손상을 최소화하는 레이저 공정 조건을 구축하였으며 고분자 기판과 CNT 접합 형성 메커니즘을 분석하였다. 또한 접합부의 강건성 및 유연성 평가를 위해 인장강도 시험, 박리 시험과 반복 굽힘 시험을 진행하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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