• 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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• 제53권5호
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• pp.237-241
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• 2004

Amorphous silicon (a-Si) films are used in a broad range of solar cell, flat panel display, and sensor. Because of the greater ease of deposition and lower processing temperature, thin films are widely used for thin film transistors (TFTs). However, they have lower stability under the exposure of visible light and because of their low field effect mobility ($\mu$$_{FE}$ ) , less than 1 c $m^2$/Vs, they require a driving IC in the external circuits. On the other hand, polycrystalline silicon (poly-Si) thin films have superiority in $\mu$$_{FE}$ and optical stability in comparison to a-Si film. Many researches have been done to obtain high performance poly-Si because conventional methods such as excimer laser annealing, solid phase crystallization and metal induced crystallization have several difficulties to crystallize. In this paper, a new crystallization process using a molybdenum substrate has been proposed. As we use a flexible substrate, high temperature treatment and roll-to-roll process are possible. We have used a high temperature process above 75$0^{\circ}C$ to obtain poly-Si films on molybdenum substrates by a rapid thermal annealing (RTA) of the amorphous silicon (a-Si) layers. The properties of high temperature crystallized poly-Si studied, and poly-Si has been used for the fabrication of TFT. By this method, we are able to achieve high crystal volume fraction as well as high field effect mobility.

• Journal of Electrical Engineering and Technology
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• 제9권2호
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• pp.514-522
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• 2014

A new type of high precision electromagnetic suspension (EMS) which can support heavy tray along long stroke rail is proposed in this paper. Compared with the conventional EMS, the suggested moving-core typed EMS has the levitation electromagnets (EMs) on the fixed rail. This scheme has high load capability caused by iron-core and enables simple tray structure. Also it does not have precision degradation caused by heat generation from EMs, which is a drawback of conventional EMS. With these merits, the proposed EMS can be an optimal contactless linear bearing in next generation flat panel display (FPD) manufacturing process if the ability of long stroke movement is proved. So a special Section Switching Algorithm (SSA) is derived from the resultant force and moment equations of the levitated tray which enables long stroke movement of the tray. In order to verify the feasibility of the suggested SSA, a simple test-setup of the EMS with 2 Section-changes is made up and servo-controlled in the simulation and experiment. The simulation shows the perfect changeover the EMs, and the experiment shows overall control performance of under ${\pm}40{\mu}m$ gap deviations. These results reveal that the newly suggested contactless linear bearing can simultaneously achieve high load capability and precision gap control as well as long stroke.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제22권5호
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• pp.31-40
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• 2008

최근 FPD 산업에서 물류이송장비의 전원장치로 비접촉 전원장치에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 양산 라인에 적용되고 있는 물류장비의 비접촉 전원장치는 주로 직선구간을 왕복하고, 이송대차가 한 대인 경우에 적용하고 있다. 그러나 곡선 구간과 이송대차가 다수인 경우의 물류이송장비에는 적합하지 않다. 따라서 본 논문은 직 곡선 구간이 혼용되어진 구조이고, 이송대차가 한 대 이상으로 구동되는 물류이송장비의 비접촉 전원장치 시작품에 적용하였고, 적용된 비접촉 전원장치의 회로 구조는 풀 브릿지 구조를 갖는 직 병렬 공진 DC/DC 컨버터 회로로 하여 회로해석, 제어방법, 특성평가, 실험을 통한 적용 가능성에 대한 연구를 행하였다. 또한 비접촉 전원장치의 전체 제어는 1차측 전원공급장치에 일정한 공진전류를 제어하기 위해 듀티 제어를 사용하였고, 2차측 전원공급장치의 출력전압을 일정하게 유지하기 위해 다수의 이송대차가 자체 제어를 하도록 구성하였다. 실제 2대의 이송대차를 제작하여 직 곡선 구간을 구성하고, 물류이송장비를 운용하여 양호한 특성으로 적용 가능함을 알 수 있었다.

• 한국산업정보학회논문지
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• 제11권2호
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• pp.79-85
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• 2006

휴대용 정보기기의 발달은 평판 디스플레이 장비 및 부품 소재의 수요급증으로 이어지고 있으며, 이 중에서 LCD는 LCD TV, 컴퓨터 모니터, 디지털 카메라, CNS(car navigation system), 게임기 등의 다양한 제품으로 그 응용범위가 폭넓어지고 있다. 이와 같이 LCD 시장이 급증함에 따라 LCD 배면조명 모듈인 BLU(backlight unit) 생산을 위한 제조업체들의 수도 크게 증가하였으며, 우수한 품질의 광학적 특성을 갖는 BLU 개발을 위해 광반사면 설계에 관한 연구가 꾸준히 진행되고 있다. 본 연구에서는 경험과 시행착오에 기초하여 수작업에 주로 의존하여 온 기존의 패턴설계환경을 개선하기 위해 CCFL을 광원으로 한 백라이트의 패턴 설계툴을 개발하였다. 본 연구의 검증을 위해 실모델의 백라이트에 대한 광반사면을 설계한 후, BM-7으로 휘도균일도를 측정하였다. 휘도균일도 측정결과, 본 연구의 설계툴을 사용한 BLU가 기존의 설계방식으로 보통 5회 이상의 시도에서 얻을 수 있는 휘도균일도를 1차 시도에서 얻을 수 있었다는 점에서 기존의 설계방식보다 우수한 설계 성능을 보임을 알 수 있었다.

• 한국정보통신학회논문지
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• 제11권4호
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• pp.754-759
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• 2007

FED는 잠재적인 평판패널기술에 따라 현재 탐구를 하였다. 특정하게, 최적화는 $Y_2O_3-Nb_2O_5$와 영향으로 효과적인 청색방출 형광체에 따라 형광체의 입자의 크기에 의해 발광이 모이는 정통한 것이었다. 여기는 254nm 이하이며, Bi는 $YNbO_4$ 형광체가 강하게 보였고, 청색 방출대는 비교적 폭이 좁았으며, 약 420-450 nm에 효과가 정점에 달하였다. 특정하게, 0.4 wt% Bi는 이트륨 형광체로서 도핑 이었으며 최대 방출강도를 보였고, $Y_2SiO_5:Ce$ 형광체가 훨씬 많음에 따라 거의 3배였다. 마지막으로 Ce는 $Y_2SiO_5$ 형광체로서 도핑이었으며 광대한 청색방출대와 강하게 나타내었다. 0.02-0.03 mol 농도로서 최대방출강도와 390-420 nm 이며 중심이었다.

• 한국도시환경학회지
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• 제18권4호
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• pp.503-509
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• 2018

본 연구에서는 양자전이 비행시간질량분석기(PTR-ToF-MS)를 이용하여 반도체 공정의 작업환경(PHOTO, FPD, OLED, WET 공정)에서 VOCs를 실시간으로 모니터링하였다. 작업환경에서 평균 VOCs 농도는 PHOTO 6.5 ppm, FPH 6.4 ppm, WET 2.0 ppm, OLED 1.3 ppm이었다. VOCs 중 methyl ethyl ketone이 2.8 ppm (69%), acetaldehyde가 0.5 ppm (13.2%)로 나타났다. 반도체 공정 특성에 따라 다양한 VOCs 가 작업환경에서 관측되었다. 관측된 VOCs 농도는 작업환경기준보다 낮지만, 이러한 VOCs를 지속적으로 모니터링하여 효과적으로 관리해 나갈 필요가 있다.

• 전기전자학회논문지
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• 제23권1호
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• pp.107-111
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• 2019

FPD(Flat Panel Display) WET(습식) 장비의 히터 사용은 필수로 사용된다. 히터 사용에 따른 단선과 과열로 인한 전기사고가 다발하여 안전적인 전기 계통도 및 인터락이 필요하다. 따라서 본 논문에서는 FPD WET장비에 들어가는 전기 계통도 및 인터락을 제안하였다. 레벨센서, 과열방지기, SSR heater sink와 같은 하드웨어 인터락을 넣었으며, 전기 계통도로써는 ELB-MC-SSR-EOCR-Heater로 구성되어 있다. 인터락 발생시 마그네틱 컨텍터(MC)가 오프되어 Heater의 전원을 차단하는 방식이다. 전기적 과전류 보호장치인 EOCR 과전류, 부족전류, 단선 체크를 하면서 히터에 이상 있을 시 MC를 차단하는 인터락이 구성되어 있다. 이러한 회로 구성 및 인터락은 WET 장비 뿐만 아니라 히터가 들어가는 어떠한 장비에도 유용할 것으로 보인다.

• 문화기술의 융합
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• 제7권1호
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• pp.662-667
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• 2021

진동 햅틱 피드백은 최신 터치 디스플레이의 주요한 기능으로, 화면의 인터페이스와 상호 작용할 때 사용자의 조작성 및 몰입감을 크게 향상시킨다. 본 연구에선 정전기력 기반의 메커니즘을 적용하여 강한 진동 출력을 생성할 수 있으면서도, 얇은 평판 타입으로 제작이 가능하여 중대형 디스플레이의 뒷면에 탑재하기에 적합한 진동 햅틱 액추에이터를 제안하고자 한다. 제안된 액추에이터는 방사형 판스프링에 매달려 전기적으로 접지된 Mass를 이격 되어 있는 상하의 전극에 의해 정전기력으로 상하로 교번하여 진동력을 증폭시킬 수 있는 구조로 개발되었다. 성능평가 결과, 개발된 액추에이터가 2개 내장된 Bar-Type 모듈에서 170 Hz에서 최대 3.3g의 우수한 진동 출력을 보여, 중대형 터치 디스플레이에서 햅틱 피드백 제공에 대한 가능성이 확인되었다.

• 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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• 제31권1호
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• pp.55-60
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• 2008

목적: 판독용 모니터의 성능을 평가하는데 있어 불필요한 시간 및 인력 등을 줄이고 판독의 최적화 유지와 모니터의 upgrade 시기, 그리고 교체 시기를 결정할 수 있는 시스템을 구축하는데 필요한 적절한 수준의, 일정기간의 성능평가 관리 주기 및 calibration 주기를 결정하고자 하였다. 대상 및 방법: 판독용 LCD 컬러 모니터(CCL350i, Totoku, Japan) 20대를 대상으로 2007년 3월부터 8월(첫 calibration 후 3, 4, 5, 6, 7, 8개월째)까지 매달 1회에 걸쳐 한 달 주기로 총 6회의 성능 평가를 하였다. 성능 평가에 사용된 측정 도구는 휘도계(DTP 94 39630, X-Rite Inc. U.S.A.)와 조도계(LX-101 Q031871, Lutron, U.S.A.) 그리고 모니터 성능관리 프로그램인 AAPM TG 18 protocol를 이용하였다. 성능평가 항목은 기하학적 왜곡(geometric distortion), 반사 테스트(reflection test), 휘도 반응 평가(luminance response evaluation), 휘도 균일도(luminance uniformity), 분해능(resolution), 노이즈(noise), 베이링 그레어(veiling glare), 색도(chromaticity) 등 8개 항목을 포함하였다. 결과: 기하학적 왜곡 평가와 반사 테스트, 휘도 균일도 테스트, 분해능, 노이즈 평가, 베이링 그레어 테스트, 색도 테스트 등은 AAPM TG 18에서 권고하는 기준치에 모두 부합되었다. 휘도반응평가 중 예측되는 최대 휘도와 관측되는 휘도의 편차 항목에서 4개월째부터 25%(4대)의 모니터가 8개월째까지 기준 편차를 벗어나기 시작하였으며, 8개월째에는 다른 모니터 7대에서도 편차를 보이기 시작하여 전체적으로 55%(11대)의 모니터에서 기준 편차를 벗어나고 있었다. 또한 대조도 반응의 편차 항목에서 4개월째부터 예측되는 최대 휘도와 관측되는 휘도의 편차의 기준치를 벗어나기 시작한 4대의 모니터 중 5%(1대)에서 4개월째부터 8개월째까지, 또다른 2대는 8개월째부터 편차를 보여 전체적으로 8개월째에는 15%(3대)의 모니터에서 기준 편차를 벗어났다. 결론: 성능평가의 주기는 calibration 후 4개월째부터 오차 범위를 벗어나는 결과와 모니터 수 그리고 성능 검사에 소요되는 인력 및 시간을 고려할 때 3개월에 한번씩 평가함이 효율적이라고 판단된다. 또한 calibration 주기는 8개월째부터 50% 이상에서 편차를 보인 결과 및 성능평가 주기를 고려할 때 calibration 후 6개월을 주기로 calibration을 다시 시행하여야 할 것으로 판단된다.

• 대한교통학회지
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• 제19권3호
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• pp.45-58
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• 2001

교통시스템 및 차량의 인간-기계 상호작용 및 인간공학적 평가에 널리 사용되는 운전자의 시각행위분석, 생체신호측정(심박수, 호흡수, 뇌파, 피부전기반사 등), 부가작업의 수행도분석, 반응시간 분석, 차량조작변수 분석(속도, 핸들조작, 가속페달조작) 등의 방법들과 함께 운전자 판단에 의한 주관적평가(Subjective Mental Workload Assessment)는 기존 시스템의 평가뿐만 아니라, ITS(Intelligent Transport Systems) 기반 인간-기계 시스템(항법장치, Head-UP Display, AHS Flat Panel Display, Changeable Message Sign, Cellular Phone, 등)의 인간-기계 상호작용 평가, 안전도 평가, 경쟁시스템 및 디자인 대안의 의사결정, 설계가이드라인 제작 등을 위한 하나의 표준화된 평가도구로 자리 잡고 있다. 이에 본 연구에서는 가장 많은 적용빈도와 효과 및 감도를 제시하는 주관적 평가방법인 NASA-TLX (National Aeronautics and Space Administration-Task Load Index), SWAT(Subjective Workload Assessment Technique), MCH(Modified Cooper-Harper) scale, RNASA-TLX(Revision of NASA-TLX)를 대상으로 항법 장치를 사용한 운전자 부하 비교평가 실험결과를 이용하여, 제시된 방법들의 감도 및 피 실험자의 주관적 판단을 통한 상호 비교분석을 실시하였으며, 결과로 위에 제시된 방법들의 사용가이드라인과 ITS 기반 인간-기계 시스템의 인간공학적 평가를 위한 주관적 평가방법의 비교평가결과를 제시하였다.