• 제목/요약/키워드: Final annealing

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Aerosol Deposition에 의한 Embedded Capacitor의 제조 및 특성 평가 (Product and Properties of Embedded Capacitor by Aerosol Deposition)

  • 유효선;조현민;박세훈;이규복;김형준
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.313-313
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    • 2008
  • Aerosol Deposition(AD) method is based on the impact consolidation phenomenon of ceramic fine particles at room temperature. AD is promising technology for the room temperature deposition of the dielectrics thin films with high quality. Embedding of passive components such as capacitors into printed circuit board is becoming an important strategy for electronics miniaturization and device reliability, manufacturing cost reduction. So, passive integration using aerosol deposition. In this study, we examine the effects of the characteristics of raw powder on the thickness, roughness, electrical properties of $BaTiO_3$ thin films. Thin films were deposited on the copper foil and copper plate. Electrical and material properties was investigated as a change of annealing temperature. We final aim the effects of before and after of laminated on the electrical properties and suit of embedded capacitor.

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The Effect of Re-nitridation on Plasma-Enhanced Chemical-Vapor Deposited $SiO_2/Thermally-Nitrided\;SiO_2$ Stacks on N-type 4H SiC

  • 청콴유;방욱;김남균;나훈주
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.1
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    • pp.48-51
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    • 2004
  • In this paper the importance of re-nitridation on a plasma-enhanced chemical-vapor deposited(PECVD) $SiO_2$ stacked on a thermally grown thin-nitrided $SiO_2$ on n-type 4H SiC have been investigated. Without the final re-nitridation process, the leakage current of metaloxidesemiconductor(MOS) was extremely large. It is believed that water and carbon, contamination from the low-thermal budget PECVD process, are the main factors that destroyed the high quality thin-buffer nitrided oxide. After re-nitridation annealing, the quality of the stacked gate oxide was improved. The reasons of this improvement are presented.

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Bayesian Nonlinear Blind Channel Equalizer based on Gaussian Weighted MFCM

  • Han, Soo-Whan;Park, Sung-Dae;Lee, Jong-Keuk
    • 한국멀티미디어학회논문지
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    • 제11권12호
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    • pp.1625-1634
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    • 2008
  • In this study, a modified Fuzzy C-Means algorithm with Gaussian weights (MFCM_GW) is presented for the problem of nonlinear blind channel equalization. The proposed algorithm searches for the optimal channel output states of a nonlinear channel based on received symbols. In contrast to conventional Euclidean distance in Fuzzy C-Means (FCM), the use of the Bayesian likelihood fitness function and the Gaussian weighted partition matrix is exploited in this method. In the search procedure, all possible sets of desired channel states are constructed by considering the combinations of estimated channel output states. The set of desired states characterized by the maxima] value of the Bayesian fitness is selected and updated by using the Gaussian weights. After this procedure, the Bayesian equalizer with the final desired states is implemented to reconstruct transmitted symbols. The performance of the proposed method is compared with those of a simplex genetic algorithm (GA), a hybrid genetic algorithm (GA merged with simulated annealing (SA):GASA), and a previously developed version of MFCM. In particular, a relative]y high accuracy and a fast search speed have been observed.

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Mg/Al/STS 3층 클래드재의 기계적 특성에 미치는 계면반응층의 영향 (Effect of Interfacial Reaction Layer on Mechanical Properties of 3-plyMg/Al/STS Clad-metal)

  • 김인규;송준영;이영선;홍순익
    • 대한금속재료학회지
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    • 제49권8호
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    • pp.664-670
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    • 2011
  • 3-ply Mg/Al/STS clad-metal was fabricated by the roll bonding process. An interfacial reaction layer was formed at the Mg/Al interface at and above $300^{\circ}C$ whereas no interfacial reaction layer was observed up to $400^{\circ}C$. The effect of the interfacial reaction layer on the mechanical and fracture properties in clad metals after heat treatments were investigated The chemical compositions were analyzed at the Mg/Al interface by an Energy dispersive X-ray analysis (EDX). A tension test was performed to examine the interfacial cracking properties. The Mg layer fractured first, causing a sudden drop of the stress and Al/STS layer continued to deform until the final fracture. Periodic cracks and crack propagation was observed at the reaction layer between Mg and Al.

크로스 압연에 의한 Al-Mg-Si-Cu 합금 판재의 소성변형비의 향상 (Improvement of R-value in Al-Mg-Si-Cu Alloy Sheets by Cross Rolling)

  • 이광진;전재열;우기도
    • 대한금속재료학회지
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    • 제49권6호
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    • pp.488-492
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    • 2011
  • Heat-treatable Al-Mg-Si-Cu alloy sheets, which are expected to have a growing demand, were fabricated by Cross rolling to improve their formability. The mechanical properties and texture of the sheets after the final annealing process were investigated by a tensile test, EBSD and XRD analysis. The grain size of the cross-rolled sheets was remarkably decreased compared to conventional rolled sheets, and the R-value of the cross-rolled sheets was notably increased by about one and a half times that of the conventional rolled sheet. Cube{001}<100> and cubic system orientations were strongly developed in conventional rolled sheets. However, randomized textures were formed in the cross-rolled sheets without specific texture. It is thought that much shear deformation was induced during the cross rolling. The results show that the cross rolling method is effective for improving the R-value of aluminum alloys sheets and their grain refinement. As a result, it is considered that cross rolling is effective for improving formability.

쇄미로부터 알칼리침지법과 효소소화법을 이용한 쌀전분의 생산 및 특성 (Production and characterization of rice starch from broken rice using alkaline steeping and enzymatic digestion methods)

  • 김이재;임송이;김현석
    • 한국식품과학회지
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    • 제53권6호
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    • pp.731-738
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    • 2021
  • 쌀전분 생산 원료로서 쇄미의 활용 가능성을 조사하기 위해 예산, 김포, 평택 지역의 미곡종합처리장들에서 얻은 대쇄미를 알칼리침지법과 효소소화법을 이용하여 쌀전분을 제조하고, 이들의 물리화학적 특성을 조사하였다. 쇄미의 조단백질 함량은 김포>평택>예산의 순서로 증가하였지만, 국내 주요 11품종 쌀의 조단백질 함량 범위를 초과하거나 미달하였다. 쇄미가루의 총 전분함량은 지역별 차이는 크지 않았으며, 정미의 총 전분 함량 범위내에 있어 쌀전분 생산 원료로 사용할 수 있다. 지역별 쇄미가루로부터 알칼리침지법과 효소소화법에 따라 제조된 쇄미전분의 조단백질 함량은 1% 내외로 상업적 생전분으로 활용이 가능 수준이었다. 아밀로스 함량은 지역별로 소폭 차이가 존재하였지만, 제조방법에 따른 유의적 차이는 관찰되지 않았다. 쇄미전분들의 형태학적 특성은 일반적인 쌀전분과 다르지 않았으며, 제조방법에 따른 구조적 변형은 관찰되지 않았다. X선 회절패턴은 모든 쇄미전분들에서 전형적인 A형 결정 배열을 나타내었으며, 제조방법에 따른 결정구조의 변형은 관찰되지 않았지만 상대결정도에 있어 차이가 존재하였다. 호화특성에 있어 알칼리침지법보다 효소소화법에 의한 쇄미전분들이 높은 호화개시온도 및 호화최고 온도와 좁은 호화온도범위를 나타내었다. 관찰된 상대결정도와 호화온도의 차이는 annealing이 효소소화법에 따른 쇄미전분에서 발생하였다는 것을 가리킨다. 팽윤력과 용해도는 알칼리침지법보다 효소소화법에 따른 쇄미전분에서 일반적으로 낮은 수준을 나타내었다. 페이스팅 점도 특성에 있어 알칼리침지법보다 효소소화법에 의한 쇄미전분은 페이스팅 점도의 발달이 지연되었으며, 높은 최고점도와 최저점도를, 낮은 붕괴점도, 최종점도와 치반점도를 나타내었다. 이와 같은 팽윤력, 용해도 및 페이스팅 점도의 차이는 효소소화법에 의한 쇄미전분들의 annealing 때문이다. 전체적인 결과를 종합하면, 쇄미는 쌀전분의 원료로 사용할 수 있으며, 효소소화법은 알칼리침지법에 따른 쌀전분의 팽윤력, 용해도, 호화특성 및 페이스팅 점도 특성과는 다른 쌀전분을 제조할 수 있을 것이다. 게다가 쌀전분의 높은 가격이 비싼 원료쌀과 높은 생산비용 때문임을 고려할 때, 쌀전분 원료로 쇄미의 사용에 따른 쌀전분 생산원가의 절감은 판매가격을 낮춰 쌀전분의 식품 및 비식품 산업적 활용도를 높일 수 있을 것이다.

참외와 멜론의 유전적 다양성에 대한 RAPD 분석 (RAPD Analysis for Genetic Diversity of Melon Species)

  • 모숙연;임성희;고관달;안종문;김두환
    • 원예과학기술지
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    • 제16권1호
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    • pp.21-24
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    • 1998
  • 참외와 멜론의 다양성 분석을 위하여 RAPD 분석 최적조건과 군집분석하였다. 참외와 멜론계통의 DNA 추출은 0.5% SDS 방법이 가장 순수하고 많은 DNA를 얻을 수 있었으며 DNA 증폭시 최적 반응조건은 총 volum $15{\mu}L$ 중 DNA 10ng, Primer 270nM, dNTP $200{\mu}M$, dynazyme 0.3unit. 10x buffer $1.5{\mu}l$이였으며 나머지는 3차 증류수로 보충된다. PCR기기의 최적 setting은 DNA denaturation $94^{\circ}C$ 30초, primer annealing $39^{\circ}C$ 30초, DNA extension $72^{\circ}C$ 30초이며 최적 증폭 횟수는 40 cycle 이었다. 사용된 12개의 primer 만들어진 총 123개의 band 중 신뢰도가 높은 25개(20%)의 polymorphic band를 선발하여 이용하였으며 평균 polymorphic band 수는 2.1개로 나타났고, 그룹내 polymorphic band 수가 그룹간보다 적어 그룹내의 유전적변이가 적음을 보여주었다. 군집분석 결과 크게 참외와 멜론그룹으로 나뉘었고 멜론그룹은 다시 net melon 과 no-net melon으로 나뉘었으며 이러한 결과는 기존의 표현형질에 의한 분류와 일치하였다. 재래종 참외와 멜론 그룹은 8개의 marker에 의해 구분되었고 net melon 그룹과 no-net melon 그룹은 4개의 marker에 의해 구분되었다.

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졸-겔법에 의한 c-축 배향성을 가진 고투과율 ZnO 박막의 제조 (Sol-gel Derived-highly Transparent c-axis Oriented ZnO Thin Films)

  • 이영환;정주현;전영선;황규석
    • 한국안광학회지
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    • 제13권1호
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    • pp.71-76
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    • 2008
  • 목적: 저온에서 열처리에 의해 소다-라임-실리카 유리 위에 강한 UV방사 나노결정 ZnO박막을 단순하고 효율적 방법으로 개선하고자 한다. 방법: 소다-라임-실리카 유리 위에 코팅되고 전열처리 및 300$^{\circ}C$의 후열처리를 행하여 제조된 나노 결정질 ZnO 박막의 결정 구조적, 표면 형상적 및 광학적 특성을 X-선 회절 분석, 전계방사 주사형 전자 현미경, 원자간력 현미경, ultra violet - visible - near infrared spectrophotometer 및 photoluminescence를 이용하여 분석하였다. 결과: 가시광 영역에서 높은 투과율과 자외부에서 뚜렷한 흡수밴드를 갖는 c-축으로 고배향된 ZnO 박막을 300$^{\circ}C$의 후열처리를 통하여 얻을 수 있었다. 비교적 뚜렷한 near band edge 발광을 보이는 photoluminescence 스펙트럼이 나타났으며, 결함에 의한 완만한 녹색 발광은 거의 관찰되지 않았다. 결론: 앞으로 본 연구는 300$^{\circ}C$ 이하의 저온에서 저렴하고 쉽게 ZnO을 기초로한 광전기 소자에 적용될 것이다.

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1, 3-Propanediol 을 이용해 제작된 PZT(30/70) 후막의 전기적 및 강유전 특성에 관한 연구 (A Study on the Electric and Ferroelectric Properties of PZT(30/70) Thick Film Prepared by Using 1,3-Propanediol)

  • 송금석;장동훈;강성준;윤영섭
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제40권9호
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    • pp.631-637
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    • 2003
  • Pt/TiO/sub x/SiO₂/Si 기판 위에 1,3-propanediol 을 이용해 sol-gel 법으로 제작한 PZT(30/70) 후막의 구조적 및 전기적, 강유전 특성에 대하여 조사하였다. 열처리 공정은 열 응력 (thermal stress) 를 줄이기 위해 RTA를 사용하였고, 최종적으로 650℃의 로(furnace)에서 어닐링하였다. SEM 분석 결과 1회 코팅에 330nm 의 두께를 얻었으며, 3회 코팅으로 약 1 μm 정도의 두께를 얻었다. C-D 측정결과, 1 kHz에서 비유전률과 유전손실은 각각 886 과 0.03 이었다. C-V 곡선은 좌우 대칭인 나비모양을 나타내었다. 누설전류밀도는 200kV/cm 에서 1.23×10/sup -5/A/cm²이었으며, 이력곡선으로부터 구한 잔류분극 (P/sub r/) 과 항전계(E/sub c/) 는 각각 33.8μC/cm²과 56.9kV/cm 이었다. 결론적으로 본 연구에서 제작된 PZT(30/70) 후막은 우수한 강유전 및 전기적 특성을 보였다.

지르코늄 나프테네이트를 이용한 나노결정질 ZrO2 박막의 제조와 칼슘 포스페이트 형성 능력의 평가 (Preparation of Nanocrystalline ZrO2 Film by Using a Zirconium Naphthenate and Evaluation of Calcium Phosphate Forming Ability)

  • 오정선;안준형;윤연흠;강보안;김상복;황규석;심연아
    • 한국세라믹학회지
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    • 제39권9호
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    • pp.884-889
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    • 2002
  • 나노 결정질 $ZrO_2$ 박막을 제조하여 박막의 표면에서 인산칼슘을 유도하는 능력을 편가하기 위하여, 지르코늄 나프테네이트를 출발물질로 사용하고 화학적 용액법을 이용하여, $ZrO_2/Si$ 구조를 제작하였다. 코팅용액을 (100)Si 기판 위에 스핀코팅한 후, 500$^{\circ}C$에서 10분간 전열처리와 800$^{\circ}C$에서 30분간 최종열처리를 행하였고, 모든 열처리는 공기분위기에서 실시하였다. X-ray diffraction analysis를 이용하여 열처리된 박막의 결정화도를 조사하였고, 표면의 미세구조와 표면 거칠기를 field emission-scanning electron microscope와 atomic force microscope를 이용하여 관찰하였다. 열처리 후의 박막은 표면에 미세한 $ZrO_2$ 나노 결정이 생성되어 있었으며, 박막의 계면은 매우 균질 하였다. 유사생채용액에 1일 및 5일간 침적된 샘플의 표면위에 형성된 인산칼슘을 energy dispersive X-ray spectrometer를 이용하여 관찰하였고, fourier transform infrared spectroscopy를 이용하여 인산칼슘에 카본이 치환되어 있음을 확인하였다.