• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.1
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• pp.382-385
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• 2003

Chemical mechanical polishing(CMP) is an essential process in the production of copper-based chips. On this work, the stability of Hydrogen Peroxide($H_2O_2$) as oxidizer of Cu CMP slurry has been investigated. $H_2O_2$ is known as the most common oxidizer in Cu CMP slurry. Copper slowly dissolves in $H_2O_2$ solutions and the interaction of $H_2O_2$ with copper surface had been studied in the literature. Because hydrogen peroxide is a weak acid in aqueous solutions, a passivation-type slurry chemistry could be achieved only with pH buffered solution.[1] Moreover, $H_2O_2$ is so unstable that its stabilization is needed using as oxidizer. As adding KOH as pH buffering agent, stability of $H_2O_2$ decreased. However, stability went up with putting in small amount of BTA as film forming agent. There was no difference of $H_2O_2$ stability between KOH and TMAH at same pH. On the other hand, $H_2O_2$ dispersion of TMAH is lower than that of KOH. Furthermore, adding $H_2O_2$ in slurry in advance of bead milling lead to better stability than adding after bead milling. Generally, various solutions of phosphoric acids result in a higher stability. Using Alumina C as abrasive was good at stabilizing for $H_2O_2$; moreover, better stability was gotten by adding $H_3PO_4$.

• Journal of Chest Surgery
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• 제22권2호
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• pp.272-289
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• 1989

Benign lung tumors compose a heterogeneous group of solid growths that present variations in clinical features, depending on whether the origin is within the bronchus on lung parenchyma or from visceral pleura. Benign tumors of the lung are relatively uncommon, and series are to be found in the literature and the classification of benign tumors of the lung continues to be controversial because of disagreement concerning the origin and prognosis of many common lesions. We adopt Liebows original classification but excluded bronchial adenoma which no longer considered as benign tumor and added pulmonary A-V fistula and congenital cystic adenomatoid malformation. We analyzed 61 cases of benign tumors which were composed of 16 original Korean cases and 45 cases which were reported on journal of Thoracic & Cardiovascular Surgery. The results were. [1] Incidence; Of 61 cases, chondromatous hamartoma was 2 cases [41 %], congenital cystic adenomatoid malformation 10 cases [16.4 %], pulmonary A-V fistula 5 cases [8.1 %], sclerosing hemangioma 4 cases [6.5 %], teratoma, plasma cell granuloma & mesothelioma were 3 cases [4.9%], Castlemans disease 2 cases [3.3%], and mucous gland adenoma, paraganglioma, and leiomyoma 1 case [1.6 %]. [2] Age & Sex distribution; Male 30 cases and female 31 cases. Mean age was 31.4 years old. [3] Main symptom; was coughing, 32.8%, and no symptom, 24.6%. [4] Sixty eight percentage of chest film showed mass density, and 4 cases showed calcification, 2 cases had lobulation. [5] Size of mass was large and multiple mass was 2 cases. Endobronchial tumors were 9 cases, 14.9 %. [6] Three cases of endobronchial tumor were preoperatively diagnosed by bronchoscopy and 2 cases of pulmonary A-V fistula were diagnosed by pulmonary arteriography. [7] Seven cases, 11.5%, had associating diseases such as bronchogenic cyst, thymic cyst, Schwannoma, situs inversus, bronchiectasis and bronchogenic carcinoma. [8] Minor resection such as excision 8i: wedge resection were 15 cases, 26.2 %, and 6 cases, 75.4 %, of lobectomy were performed including 5 cases of pneumonectomy 5 cases had. [9] Postoperative complications; One case, 1.6 %, expired due to respiratory insufficiency. Two cases had re-operation due to bleeding and hemoptysis.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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• pp.117-117
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• 2008

In MIM capacitor, poly-Si bottom electrode is replaced with metal bottom electrode. Noble metals can be used as bottom electrodes of capacitors because they have high work function and remain conductive in highly oxidizing conditions. In addition, they are chemically very stable. Among novel metals, Ru (ruthenium) has been suggested as an alternative bottom electrode due to its excellent electrical performance, including a low leakage of current and compatibility to high dielectric constant materials. Chemical mechanical planarization (CMP) process has been suggested to planarize and isolate the bottom electrode. Even though there is a great need for development of Ru CMP slurry, few studies have been carried out due to noble properties of Ru against chemicals. In the organic chemistry literature, periodate ion ($IO_4^-$) is a well-known oxidant. It has been reported that sodium periodate ($NaIO_4$) can form $RuO_4$ from hydrated ruthenic oxide ($RuO_2{\cdot}nH_2O$). $NaIO_4$ exist as various species in an aqueous solution as a function of pH. Also, the removal mechanism of Ru depends on solution of pH. In this research, the static etch rate, passivation film thickness and wettability were measured as a function of slurry pH. The electrochemical analysis was investigated as a function of pH. To evaluate the effect of pH on polishing behavior, removal rate was investigated as a function of pH by using patterned and unpatterned wafers.

• 한국의학물리학회지:의학물리
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• 제13권3호
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• pp.135-138
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• 2002

치료대상 병소에 분할 방사선수술을 시술할 경우 회전중심(isocenter)은 정확하고 재현성 이 있어야 한다. 본 연구는 노발리스 방사선 수술장비와 정위 마스크 시스템을 사용한 분할방사선 수술에서 회전중심의 재현성을 측정하고 평가 하였다. 마스크는 열가소성 재질의 상용을 사용하였고 회전중심의 재현성을 측정하기 위해 고안된 머리 모양의 아크릴 팬텀에 맞도록 제작하였다. 팬텀의 내부에는 직경 5 mm의 아크릴봉을 수직으로 세우고 그 끝단을 회전중심으로 선택하였으며 예상되는 회전중심점에 pin hole을 낸 monochromic 필름을 설치하여 방사선 조사 후 회전중심의 재현성을 측정할 수 있도록 하였다. 측정 결과 회전중심은 공간오차가 평균 1 mm 이내이고 표준편차 또한 2 mm 이내여서 이미 보고된 타 문헌에서의 측정값과 비교해 볼 때 모든 측정값이 제시된 오차범위 내에 있었다. 결론적으로 분할방사선수술에 사용하는 정위 마스크 시스템은 매우 정확하고 재현성이 우수하였으며, 실제로 방사선 수술대상의 병소의 직경이 10 mm 정도 이상이라면 일반적인 한번의 고선량 방사선 수술에 정위 마스크 시스템의 사용이 가능할 것으로 사료된다.

• 융합정보논문지
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• 제7권4호
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• pp.121-127
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• 2017

1920년대를 다룬 피츠제럴드의 소설 "위대한 개츠비"를 루어먼은 2013년 영화로 재현하고 있다. 소설에서는 독자가 플롯을 통해 자신의 상상력으로 이야기의 흐름을 파악해야 하지만, 영화 는 소설의 요소에 시청각적인 효과를 융합시키고 있다. 데이지는 패션의 아이콘으로 그녀가 입고 있는 프라다, 샤넬, 그리고 티파니 같은 보석은 재즈 시대의 의상을 현대적인 감각으로 재현하여 관객들에게 볼거리를 제공하면서, 내용을 더욱 잘 이해할 수 있도록 도와주고 있다. 또한 영화에서 시사하고 있는 "재의 계곡", "초록 불빛", "이스트 에그", "웨스트에그"와 같은 그 지역이 주는 상징들은 좀 더 직접적이다. 컴퓨터 그래픽으로 만들어진 개츠비 대저택에서 주말마다 열리는 광란의 파티는 정신적인 혼란과 물질적인 풍요라는 시대적인 분위기를 잘 반영해 주고 있다. 여기에 배우들의 명연기가 소설의 주제를 잘 부각시켜줌으로서 영화로의 융합은 소설을 좀 더 대중적인 예술로 승화시키고 있다. 이러한 것들을 인터넷 자료를 통해 좀 더 체계적으로 살펴본다.

• 디지털융복합연구
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• 제19권3호
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• pp.295-302
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• 2021

본 논문은 고령사회를 맞이한 우리 사회가 안고 있는 노인의 문제에 주목하여 노년의 삶을 이해하고 노후준비와 죽음준비의 필요성을 인식하도록 하기 위한 것을 목적으로 한다. 영화 '죽여주는 여자'의 주인공 소영의 서사를 중심으로 작품 속 맥락에 따라 문학 치료 관점으로 리뷰 분석한다. 영화 속 작품 서사에는 빈곤, 질병, 치매, 외로움, 죽음의 두려움 등 노인들이 겪는 고통의 문제를 잘 보여준다. 초고령 시대를 맞이하여 국가적 차원의 소외된 노인에 대한 제도적 보완장치 마련과 사회적 관심과 안전망이 확보되어야 하며, 개인적으로는 노후설계를 통한 구체적인 노후준비가 필요하다. 나아가 노후준비 및 죽음을 준비하기 위한 노후준비 교육 프로그램과 죽음 교육 프로그램의 연구와 교육을 위한 지원이 지속적으로 이루어져야 할 것이다.

• 디지털융복합연구
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• 제19권3호
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• pp.279-285
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• 2021

이 글에서는 코로나19 대응 온라인 수업이 지식정보 교육 중심으로 이루어져 사회성 교육이 부족했음을 비판하고, 학생들의 공감 능력을 향상시킬 수 있는 수업 방법을 모색하였다. 이별과 성장이라는 소재와 스토리를 지닌 영화 <500일의 섬머>를 중심으로 교수학습과정을 설계하였는데, 공감의 단계를 감정인지, 감정이입, 감정교류의 3단계로 구분하고 이를 중심으로 수업 모형을 구안하였다. 특히 정서적 공감에서 행위적 공감으로 이행하는 과정을 의사소통교육의 요체로 보아, 감정이입 단계와 감정교류(1,2차) 단계 사이에 표현 단계를 두어 5단계로 수업을 구안하였다. 이러한 수업은 학습자가 작품서사에 공감하고 자기서사를 반추하게 될 때 가능하므로 문학치료학을 활용하였으며, 학생들의 반응진술을 수집하여 이러한 수업 과정이 공감능력 향상에 유의미함을 증명하였다. 이 글에서는 영화 <500일의 섬머>를 대상으로 수업을 구안하였으나, 이러한 교수학습모형은 현대의 다른 영화 텍스트에도 얼마든지 적용될 수 있을 것이다.

• 문화기술의 융합
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• 제8권4호
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• pp.289-296
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• 2022

이 연구의 목적은 S 대학교 교양필수과목 중 하나인 교양과 인성 수업에 나타난 학생들의 반응과 자기 이해를 살펴보는데 목적을 두었다. 연구 결과는 다음과 같다. 첫째, 이 수업에서 학생들의 긍정적인 변화에 미친 영향 정도는 5단계 리커트 척도를 사용하여 보통 이상의 높은 단계의 반응이 나타났다. 특히 연구자가 실시한 영화 토의 결과 만족도는 매우 높게 나타났다. 둘째, 그림 검사 분석 결과 스트레스와 자원 척도를 통한 대처 능력의 변화가 학생들에게 나타났으며, 학생들은 자신의 마음을 들여다봄으로써 자신을 이해할 수 있는 기회가 되었다. 본 연구는 문학과 예술, 그리고 영상 등을 통해 학생들의 인성을 함양하고 토의를 통해 책임감, 리더십, 협동심, 배려, 소통, 공감 등 세계 시민으로서의 자질을 함양할 수 있는 수업 예시를 제시하였다.

• 문화기술의 융합
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• 제10권3호
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• pp.723-730
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• 2024

본 연구는 자동 창작 영상에 관한 개념과 이해의 변화를 추적하기 위하여, 기존의 영상분야를 대표하는 사진과 영화의 창작 방식을 인공지능 기반의 영상 창작 방법과 '자동'이라는 측면에서 유비적으로 탐구하고, 새로운 자동영상창작에 관한 이해와 가능성을 논구 한다. 사진과 영화의 발명 시기에는, 회화를 비롯한 전통예술 장르와 비견하여, 이들에게 '자동 창작'이라는 영역을 설정한 바 있다. 최근 인공지능이 영상 제작에도 적용되면서 '자동 창작'에 관한 개념도 확장되어, 기존의 문학, 미술, 사진, 영화의 경계를 자유롭게 넘나드는 실험적 창작이 활발하다. 인공지능의 자동 창작은 머신 러닝과 딥 러닝과 같은 기술을 활용하여, 인공지능이 독립적으로 창작 과정을 수행하게 한다. 인공지능을 활용한 자동 창작은 효율성을 크게 향상시킬 수 있지만, 동시에 예술창작과정의 주관적인 판단의 문제에 직면하게 된다. 자동 창작으로 몰렸던 사진과 영화의 창작과정과 인공지능의 창작과정을 비교하면, 자동 창작 영상의 입면은 작가의 문제로 귀착될 수 있다. 그러나 다원적이 예술분야가 소통할 수 있는 기회로 작동된다면, 인공지능기반의 자동 창작 영상은 장르를 넘나드는 방법론이 될 수 있을 것이다.

• 만화애니메이션 연구
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• 통권39호
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• pp.59-83
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• 2015

라틴 아메리카에서 꽃피우고 발전한 마술적 사실주의는 이성주의와 합리주의에 입각한 과거의 인식틀을 벗어나 현실에 대한 새로운 시각을 열어주었다. 마술적 사실주의는 환상적인 요소를 이용한다는 점에서 다른 비현실적인 문학담론과 공통점을 가지고 있지만, 현실과 맺고 있는 관계에 집중하고 현실을 더 강렬하게 경험하게 한다는 점에서 초현실주의나 환상문학과 다르다. 마술적 사실주의는 라틴아메리카의 문학을 중심으로 나타난 특징으로 제한되고 연구되었던 초기의 한계를 넘어 포스트모더니즘의 기획 안으로 확장되고 있다. 최근 마술적 사실주의의 영향력은 문학이나 미술에서 뿐 아니라 영화와 애니메이션에서도 발견된다. 그러나 아직 국내에서 애니메이션에 대한 마술적 사실주의에 대한 연구된 바가 없다. 이와 같은 상황에서 국제 페스티벌을 통해 여러 차례 수상하고 호평을 받았던 국내 독립 애니메이션 <무림일검의 사생활>에 나타난 마술적 사실주의에 대한 연구는 시기적으로 늦은 감이 없지 않다. 본 논문은 국내 독립 애니메이션 <무림일검의 사생활>을 분석할 때 내러티브와 이미지의 두 가지 측면에서 접근하였다. 내러티브 전개 방법에 대하여 형식적인 면을 먼저 살펴보고 그에 따른 내용적인 면에 대하여 분석하였고, 이미지는 배경과 캐릭터를 각각 나누어 살펴보았다. 이 작품은 내러티브를 전개할 때 메타픽션적 화자를 통해 환상적 요소와 주인공의 심리에 대하여 내레이션을 이용함으로써 공감대를 넓히고 있다. 작품을 통해 전달하고 있는 이야기는 혜미와 진영영의 러브스토리이지만 마술적 사실주의의 특징은 관객으로 하여금 러브스토리에 머물러 현실을 잊어버리게 만들지 않는다. 진영영을 통해 한국 현실을 살아가는 88만원 세대의 삶의 고민에 동감하게 된다. 작품의 배경 이미지에 한국의 랜드마크를 그려 실재하는 공간을 재현함으로써 미메시스적 현실을 구축하고 있다. 또한 캐릭터 이미지는 한국에서 일상적이며 가장 흔한 기계인 자판기와 환생한 무림의 고수의 두 가지 상반된 특징을 가진 혼종적 캐릭터로 드러내고 있다. 이와 같이 <무림일검의 사생활>의 내용과 형식, 이미지에 한국적인 마술적 사실주의의 특징이 드러난다는 것을 알 수 있었다. 마술적 사실주의의 특징을 효과적으로 담고 있는 구체적 사례인 <무림일검의 사생활>을 분석함으로써 환상의 요소 및 교정된 미메시스를 극적 장치로 사용하는 방법을 모색하고 관객의 폭넓은 공감을 유도하기 위한 한국애니메이션에서의 마술적 사실주의 적용 가능성에 대하여 살펴보았다.