• 제목/요약/키워드: Film formation

검색결과 1,845건 처리시간 0.029초

PVD 방법에 의한 $TiN/TiSi_2$-bilayer 형성 (Formation of $TiN/TiSi_2$-bilayer by PVD method)

  • 최치규;강민성;김덕수;이광만;황찬용;서경수;이정용;김건호
    • 한국재료학회지
    • /
    • 제8권12호
    • /
    • pp.1182-1189
    • /
    • 1998
  • Si 기판을 실온과 $600^{\circ}C$로 유지하면서 동시 증착 방법으로 (Ti+2Si)를 증착한 후 $N_2$ 분위기에서 Ti를 증발시켜 TiN($300\AA$)/(Ti+2Si, $300\AA$)/Si(100) 구조의 시료를 제작한 다음 초고진공에서 in-situ로 열처리하여 양질의 $TiN/TiSi_2$-bilayer를 형성하였다 열처리 온도가 $700^{\circ}C$ 이상에서 (111) texture 구조를 가지면서 화학 양론적으로 $Ti_{0.5}N_{0.5}$인 박막과 C54-$TiSi_2$박막이 형성되었다. $TiN/C54-TiSi_2/Si$ (100)구조의 계면은 응집 현상이 없이 평활하였으며, $C54-TiSi_2$상은 에피택셜 성장되었다. $TiN/TiSi_2$-이중구조막의 면저항은 열처리 온도에 따라 감소하였으며, $700^{\circ}C$ 이상의 열처리 온도에서는 면저항 값이 $2.5\omega/\textrm{cm}^2$ 였다.

  • PDF

Cr-Si-Al-N 코팅의 상형성 및 표면 물성에 미치는 Si 함량의 영향 (Effect of Si Content on the Phase Formation Behavior and Surface Properties of the Cr-Si-Al-N Coatings)

  • 최선아;김형순;김성원;;김형태;오윤석
    • 한국표면공학회지
    • /
    • 제49권6호
    • /
    • pp.580-586
    • /
    • 2016
  • Cr-Si-Al-N coating with different Si content were deposited by hybrid physical vapor deposition (PVD) method consisting of unbalanced magnetron (UBM) sputtering and arc ion plating (AIP). The deposition temperature was $300^{\circ}C$, and the gas ratio of $Ar/N_2$ were 9:1. The CrSi alloy and aluminum targets used for arc ion plating and sputtering process, respectively. Si content of the CrSi alloy targets were varied with 1 at%, 5 at%, and 10 at%. The phase analysis, composition and microstructural analysis performed using x-ray diffraction (XRD) and field emission scanning electron microscopy (FESEM) including energy dispersive spectroscopy (EDS), respectively. All of the coatings grown with textured CrN phase (200) plane. The thickness of the Cr-Si-Al-N films were measured about $2{\mu}m$. The friction coefficient and removal rate of films were measured by a ball-on-disk test under 20N load. The friction coefficient of all samples were 0.6 ~ 0.8. Among all of the samples, the removal rate of CrSiAlN (10 at% Si) film shows the lowest values, $4.827{\times}10^{-12}mm^3/Nm$. As increasing of Si contents of the CrSiAlN coatings, the hardness and elastic modulus of CrSiAlN coatings were increased. The morphology and composition of wear track of the films was examined by scanning electron microscopy (SEM) and energy dispersive spectroscopy, respectively. The surface energy of the films were obtained by measuring of contact angle of water drop. Among all of the samples, the CrSiAlN (10 at% Si) films shows the highest value of the surface energy, 41 N/m.

이온 주입에 의한 PET막의 표면경도변화 및 광 투과도 변화 (Changes of the surface hardness and the light transmittance of PET film by ion implantations)

  • 박재원;이재형;이재상;장동욱;최병호;한준희
    • 한국진공학회지
    • /
    • 제10권2호
    • /
    • pp.241-246
    • /
    • 2001
  • 투명한 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephtalate : PET) 막에 100 keV 이하의 에너지 범위에서 단독 또는 두 이온을 주입하여 표면의 경도 및 광투과도의 변화를 측정하였다. Nano-indentation방법을 사용하여 표면의 경도를 측정한 결과, 표면에서 50 nm 깊이에서 최고 경도가 형성되었고 최고경도를 기준으로 질소 이온 단독으로 주입하였을 때 표면 경도는 약 3배 이상 향상됨과 동시에 광투과도는 550 nm(가시광선 영역) 이상의 파장에서 85% 이상, 300 nm 이하(자외선 영역)의 파장에서는 95% 이상의 빛을 차단하여 투명성 유지와 동시에 자외선 차단 효과가 있었다. 두 이온, 즉 He과 N, N와 C 이온들을 PET에 주입하였을 때 질소 단독으로 주입하였을 때보다도 표면의 경도는 훨씬 더 상승하였으며 N과 C 이온을 주입하였을 경우 가장 높았으며 약 5배 이상 더 상승하였다. 이 결과는 이온 주입에 의한 경도 향상은 일반적으로 고분자 재의 경우 교차결합(cross linking)이 기구로 고려되나 이중 이온 주입의 경우 교차결합 뿐만 아니라 주입이온간 또는 이온과 matrix 원소들간의 반응에 의한 경한 게재물 형성도 고려될 수 있음을 보여준다. N 및 C 이온을 주입하였을 경우 경도의 향상이 가장 컸는 이유는 교차결합 뿐만 아니라 주입이온간의 반응으로 매우 경한 C-N화합물의 형성에 기인된 것으로 고려된다.

  • PDF

고압맥동 평류자극이 가토 상처치유에 미치는 영향 (Effect of High Voltage Pulsed Galvanic Current on Wound Healing in Rabbits)

  • 김식현;박래준;권혁철
    • 한국전문물리치료학회지
    • /
    • 제3권3호
    • /
    • pp.67-81
    • /
    • 1996
  • This study was performed to assess the efficacy of high voltage pulsed galvanic current for the healing of wounds in rabbits. Skin wounds were created laterally on the flank of 12 domestic rabbits($3{\times}3cm$). The wounds of each group were treated with an intensity of 170 V at a frequency of 70 pulses per second, which was applied for 30 minutes a day for 10 days. The experimental groups were randomly assigned to either EXP I (n=3), EXP II(n=3), EXP III(n=3) or control(n=3). Each group was stimulated under the following conditions : 1) EXP I (Negative polarity), 2) EXP II (Change in polarity, negative electrode stimulation during the first 3 days and then positive electrode stimulation from 4 to 10 days), 3) EXP III(Positive polarity), 4) control(No stimulation). An active electrode was placed over the wound and a dispersive electrode on the buttock. The rate of wound closure was compared with the original wound size, evaluated by a tracing film in each measurement period. Finally, on the wound in each group, skin tissue was excised for histological evaluation after treatment for 10 days. The results obtained are as follows : 1) It was found that the control group did not show a complete remodeling of epitherial layer and had a chronic inflammatory response. Judging from the irregularity of intercellular space and the loose alignment of connective tissue, these findings show that wound healing was delayed. 2) EXP I showed a significant bactericidal effect, but a moderate response of vasodilation. The rate of wound closure was slower when compared with EXP II, III. 3) EXP II showed a complete remodeling of epitherial layer and a positive repair of connective tissue. Its rate of wound closure was best when compared with the others. 4) EXP III had a slower rate of wound closure than EXP II, but judging from the greater proliferation of collagen fibers and the dense alignment of connective tissue, this positive electrode was very effective in the formation of neo - connective tissue.

  • PDF

다결정 Ge1-xMnx 박막에서 Ge3Mn5 상의 형성과 특성 (Formation of Ferromagnetic Ge3Mn5 Phase in MBE-grown Polycrystalline Ge1-xMnx Thin Films)

  • 임형규;찬티난안;유상수;백귀종;임영언;김도진;김효진;김창수
    • 한국자기학회지
    • /
    • 제19권3호
    • /
    • pp.85-88
    • /
    • 2009
  • 다결정 $Ge_{1-x}Mn_x$ 박막의 자기적 상들에 관한 연구가 이루어졌다. Molecular beam epitaxy(MBE) 장비를 이용해 $400^{\circ}C$ 에서 $Ge_{1-x}Mn_x$ 박막을 성장시켰다. $Ge_{1-x}Mn_x$ 박막의 캐리어 유형은 P타입 이였고, 전기 비저항 값은 $4.0{\times}10^{-2}{\sim}1.5{\times}10^{-4}ohm-cm$이었다. 자기적인 특성과 미세구조의 분석에 기초하여 $Ge_{1-x}Mn_x/SiO_2$/Si(100) 박막에 310 K 이내의 큐리에온도를 지닌 강자성의 $Ge_3Mn_5$ 상이 형성되었음을 알 수 있었다. 게다가, $Ge_3Mn_5$ 상이 형성된 $Ge_{1-x}Mn_x$ 박막은 20 K, 9 T의 자기장에서 약 9%의 음의 자기저항을 보였다.

실험적 치은염에서 dextranase 함유 구강 세정액의 양치 효과 (The Effect of Dextranase-Containing Mouthwash in Human Experimental Gingivitis)

  • 손은주;김영준;김도만;정현주
    • Journal of Periodontal and Implant Science
    • /
    • 제31권2호
    • /
    • pp.401-420
    • /
    • 2001
  • A novel glucanhydrolase from a mutant of Lipomyces starkeyi(KSM 22)has been shown effective in hydrolysis of mutan, reduction of mutan formation by Streptococcus mutans and removal pre-formed sucrose-dependent adherent microbial film and Lipomyces starkeyi KSM 22 dextranase has been strongly bound to hydroxyapatitie. These in vitro properties of Lipomyces starkeyi KSM 22 dextranase are desirable for its application as a dental plaque control agent. This study was performed to determine oral hygiene benefits and safety of dextranase(Lipomyces starkeyi KSM 22 dextranase)-containing mouthwash in human experimental gingivitis. This 3-week clinical trial was placebo-controlled double-blind design evaluating 1U/ml dextranase mouthwash and 0.12% chlorhexidine mouthwash. A total 39 systemically healthy subjects, who had moderate levels of plaque and gingivitis were included. At baseline, 1, 2 and 3 weeks, subjects were scored for plaque(Silness and $L{\ddot{o}e$ plaque index and plaque severity index), gingivitis($L{\ddot{o}e$ and Silness gingival index), and at baseline and 3 weeks of experiment, subjects were scored for plaque(Turesky-Quingley-Hein's plaque index and plaque severity index), tooth stain(Area and severity index system by Lang et al). Additionally, oral mucosal examinations were performed and subjects questioned for adverse symptoms. Two weeks after pre-experiment examinations and a professional prophylaxis, the subjects provided with allocated mousewash and instructed to use 20-ml volumes for 30s twice dailywithout toothbrushing. All the groups showed significant increase in plaque accumulation since 1 week of experiment. During 3 weeks' period, the dextranase group showed the least increase in plaque accumulation of Silness and $L{\ddot{o}e$ plaque index, compared to the chlorhexidine and placebo groups, but chlorhexidine group showed the least increase inplaque accumulation of Turesky-Quingley-Hein's plaque index. As for gingival inflammation, all the groups showed significant increase during 3 weeks of experiment. The dextranase group also showed the least increase in gingival index score, compared to the chlorhexidine as well as the placebo groups. Whereas the tooth stain was increased significantly in the chlorhexidine group, compared to the baseline score and the placebo group since 3 weeks of mouthrinsing. It was significantly increased after 3 weeks in the dextranase group, still less severe than the chlorhexidine group. As for the oral side effect, the dextranase group showed less tongue accumulation, bad taste, compared to the chlorhexidine group. From these results, mouthrinsing with Lipomyces starkeyi KSM 22 dextranase was comparable to 0.12% chlorhexidine mouthwashin inhibition of plaque accumulation and gingival inflammation and local side effects were if anything less frequent and less intense than chlorhexidine, in human experimental gingivitis. All data had provided positive evidence for Lipomyces starkeyi KSM 22 dextranase as an antiplaque agent and suggested that further development of dextranase formulations for plaque control are warranted.

  • PDF

Ti-6Al-4V 합금의 알칼리 및 열처리가 인산칼슘 침착에 미치는 영향 (Effect of Alkali and Heat Treatments of Ti-6Al-4V Alloy on the Precipitation of Calcium Phosphate)

  • 박재한;임기정;김상목;김병옥;한경윤
    • Journal of Periodontal and Implant Science
    • /
    • 제30권1호
    • /
    • pp.187-203
    • /
    • 2000
  • The precipitation of calcium phosphate on implant surface has been known to accelerate osseointegration and to enhance osseous adaptation. The present study was performed to examine whether the precipitation of calcium phosphate on Ti-6Al-4V alloy could be affected by the immersion in NaOH solution and heat treatment. Ti-6Al-4V alloy plates of $15{\times}3.5{\times}1mm$ in dimension were polished sequentially from #240 to #2,000 emery paper and one surface of each specimen was additionally polished with $0.1{\mu}m$ alumina paste. Polished specimens were soaked in various concentrations of NaOH solution(0.1, 1.0, 3.0, 5.0, 7.0, 10.0 M) at $60^{\circ}C$ for 24 hours for alkali treatment, and 5.0 M NaOH treated specimens were heated for 1 hour at each temperature of 400, 500, 600, 700, $800^{\circ}C$. After the alkali and heat treatments, specimens were soaked in the Hank's solution with pH 7.4 at $36.5^{\circ}C$ for 30days.The surface ingredient change of Ti-6Al-4V alloy was evaluated by thin-film X-ray diffractometer(TF-XRD) and the surface microstructure was observed by scanning electron microscope(SEM), and the elements of surface were analyzed by X-ray photoelectron spectroscopy(XPS). The results were obtained as follows ; 1. The precipitation of calcium phosphate on Ti-6Al-4V alloy was accelerated by the immersion in NaOH solution and heat treatment. 2. In Alkali treatment for the precipitation of calcium phosphate on Ti-6Al-4V alloy, the optimal concentration of NaOH solution was 5.0 M. 3. In heat treatment after alkali treatment in 5.0 M NaOH solution, the crystal formation on alloy surface was enhanced by increasing temperature. In heat treated alloys at $600^{\circ}C$, latticed structure and prominences of calcium phosphate layer were most dense. On heat treated alloy surface at the higher temperature(${\geq}700^{\circ}C$), main crystal form was titanium oxide rather than apatite. The above results suggested that the precipitation of calcium phosphate on the surface of Ti-6Al-4V alloy could be induced by alkali treatment in 5.0 M-NaOH solution and by heat treatment at $600^{\circ}C$.

용매 어닐링에 의한 박막에서 Polystyrene-Poly(1,4-butadiene) 블록공중합체의 모폴로지 전이 (Morphological Transitions of Symmetric Polystyrene-block-Poly(1,4-butadiene) Copolymers in Thin Films upon Solvent-Annealing)

  • 이동은;김응건;이동현
    • 폴리머
    • /
    • 제36권4호
    • /
    • pp.542-548
    • /
    • 2012
  • 본 연구에서는 용매 증기 하에서 박막으로 제조된 polystyrene-poly(1,4-butadiene) 블록공중합체(PS-b-PBD)의 모폴로지 형성과 특성이 원자주사현미경(AFM)을 사용하여 연구되었다. 사이클로헥산으로만 용매 어닐링된 박막의 경우 폴리스티렌의 매트릭스 내부에 PBD가 미세상을 형성하는 perforated lamellae가 형성되었지만, n-헥산만으로 용매 어닐링 된 박막은 불규칙한 패턴만이 관측되었다. 그러나 사이클로헥산과 n-헥산의 혼합 용매를 사용하여 용매 어닐링할 경우 기질에 수직으로 배향된 라멜라가 관측되었다. 이러한 모폴로지 전이는 혼합 용매의 혼합비에 의해 조절되며 n-헥산의 양이 증가하면서 라멜라의 형성이 뚜렷이 관측되었다. 그러나 용매 어닐링에 사용된 혼합 용매 중 n-헥산의 주요 성분이 될 경우 n-헥산의 PBD로의 용매 친화력에 의해 모폴로지 형성이 오히려 지연되는 것을 확인하였다. 이러한 사이클로헥산과 n-헥산의 혼합비에 따른 모폴로지 전이는 블록공중합체에 대한 두 용매들의 친화력과 관련 있으며, 이를 이해하기 위해 이들의 용해도 상수 및 Flory 상호인력 인자들이 고려되었다. 또한 본 연구로부터 얻어진 두 가지 모폴로지를 이용하여 실리카 나노 패턴의 제조를 위한 템플레이트로 활용하였다.

다관능 우레탄 아크릴레이트 단량체의 합성과 분석, 및 폴리페닐렌에테르 기판소재용 경화성분으로의 적용 (Synthesis and Analysis of Multi-functional Urethane Acrylate Monomer, and its Application as Curing Agent for Poly(phenylene ether)-based Substrate Material)

  • 김동국;박성대;오진우;경진범
    • 폴리머
    • /
    • 제36권4호
    • /
    • pp.413-419
    • /
    • 2012
  • 폴리페닐렌에테르[PPE, poly(phenylene ether)] 수지의 경화성분으로서 다관능 우레탄 아크릴레이트 단량체를 합성하고, 이후 PPE와 혼합하여 유전체 기판을 제작하고 그 특성을 평가하였다. 단량체 합성 후 FTIR, NMR 분석을 통하여 우레탄 결합이 형성되었는지 확인하였다. 복합물 쉬트를 필름 코터로 성형한 후, 진공가 압적층하여 테스트 기판을 제작하고, 단량체의 종류 및 함량에 따른 유전율, 유전손실, peel 강도를 평가하였다. 2종의 하이드록시 아크릴레이트 중 페닐기를 가진 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate를 이용하여 합성된 단량체를 경화성분으로 사용한 경우 유전손실이 더 작았으며, 단량체의 함량이 줄어들면서 유전율과 손실이 감소하는 경향을 나타내었다. Peel 강도는 단량체의 종류에 따라서 특별한 경향성을 보이지 않았다. 실험결과 동박 접합 강도가 약 10 N이고, 1 GHz에서 유전율이 약 2.54, 유전손실이 0.0027로 작은 고주파 대역용 고분자 기판소재를 얻었다.

상압 플라즈마를 이용한 Polystyrene (PS)의 표면개절 (Surface Modification of Polystyrene (PS) by Atmospheric Pressure Plasma)

  • 이종수;신현석;석진우;장규완;백영환
    • 한국진공학회지
    • /
    • 제18권1호
    • /
    • pp.1-8
    • /
    • 2009
  • 고분자 Polystyrene (PS)의 표면에 친수성을 가지게 하기 위하여 RF power를 150 W에서 350 W로 처리 시간을 1회에서 4회로 처리하며, 압축된 공기와 산소 가스를 사용하여 상압 플라즈마로 개질하였다 압축된 공기로 처리한 시료의 접촉각은 $91^{\circ}$에서 $20^{\circ}$까지 접촉각이 낮아졌으며, 이 때 표면 에너지는 45.74에서 68.48 dyne/cm 증가하였다. 동일한 조건에서 산소 가스로 300 W의 RF Power로 4회 처리하였을 때 접촉각이 $91^{\circ}$에서 $17^{\circ}$로 변화하였으며, 표면에너지는 45.74에서 69.73 dyne/cm 증가하였다. 표면에너지의 증가는 dispersion force의 증가보다는 polar force의 증가에 의한 것으로 보인다. 상압 플라즈마로 처리된 시료의 접촉각 감소와 표면에너지의 증가는 X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)의 spectra 결과로부터 PS의 표면에 C-O, C=O 결합의 증가로 인한 친수성 작용기가 표면에 형성되었기 때문이라고 생각된다. 상압 플라즈마 처리 후 대기 중에 보관된 시료의 접촉각은 시간이 경과함에 따라 증가하지만 물 속에 보관된 시료의 경우는 상압 플라즈마 처리 후의 접촉각을 그대로 유지하였다. 상압 플라즈마를 이용하여 PS의 표면을 개질하고, 그 위에 $4,000\;{\AA}$$8,000\;{\AA}$의 구리 박막을 열증착법을 이용하여 증착하였다. 각 시료와 구리 박막의 계면과의 접착력은 테이프 테스트 (ASTM D3359)를 이용하여 처리된 PS 표면이 처리하지 않은 시편에 비하여 접착력이 향상되었음을 확인하였다.