Using the LOCOS process, we have fabricated the lateral type polysilicon field emission triodes with poly-Si/oxide/Si structure and investigated their current-voltage characteristics for three biasing modes of operation. The fabricated devices exhibit excellent electrical performances such as a relatively low turn-on anode voltage of 14 V at VGC = 0V, a stable and high emission current of 92${\mu}$A/triode over 90 hours, a small gate leakage current of 0.23 ${\mu}$A/triode and an outstanding transconductance of 57${\mu}$S/5triodes at VGC = 5V and VAC = 26V. these superior electrical operation is believed to be due to a large field enhancement effect, which is related to the sharp cathode tips produced by the LOCOS process as well as the high aspect ratio (height /radius ) of the cathode tip end.
The electrical properties of Porous polycrystalline silicon Nano-Structure (PNS) as a cold cathode were investigated as a function of anodizing condition, the thickness of Au film as a top electrode and the substrate temperature. Non-doped 2${\mu}m$-polycrystalline silicon was electrochemically anodized in HF: ethanol (=1:1) mixture as a function of the anodizing condition including a current density and anodizing time. After anodizing, the PNS was thermally oxidized for 1 hr at 900 $^{\circ}C$. Then, 20nm, 30nm, 45nm thickness of Au films as a top electrode were deposited by E-beam evaporator. Among the PNSs fabricated under the various kinds of anodizing conditions, the PNS anodized at a current density of 10mA/$cm^2$ for 20 sec has the lowest turn-on voltage and the highest emission current than those of others. Also, the electron emission properties were investigated as functions of measuring temperature and the different thickness of Au film as a top-electrode.
The prototype of the field emission display with carbon nanotube emitter is developed in this study. To improve the brightness and color gamut of the prototype, new phosphor material, $SrGa_2S_4:Eu$, is adopted instead of conventional CRT-green phosphor. By replacing the green phosphor, the prototype shows significant improvements in the brightness and color gamut. At the anode voltage of 7 kV and the anode current of $2{\sim}3\;{\mu}A/cm^2$ the brightness is higher than $600\;cd/m^2$. The luminous efficiency of the prototype is about 7.7 lm/Watt.
An, Seungman;Yim, Taekyung;Lee, Kyungsu;Kim, Jeongho;Kim, Eunkyeom;Park, Kyoungwan
Korean Journal of Metals and Materials
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v.49
no.4
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pp.342-347
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2011
We fabricated the silicon nanodots using the low pressure chemical vapor deposition technique to investigate their electron field emission characteristics. Atomic force microscope measurements performed for the silicon nanodot samples having various process parameters, such as, deposition time and deposition pressure, revealed that the silicon nanodots with an average size of 20 nm, height of 5 nm, and density of $1.3\;{\times}\;10^{11}\;cm^{-2}$ were easily formed. Electron field emission measurements were performed with the silicon nanodot layer as the cathode electrode. The current-voltage curves revealed that the threshold electric field was as low as $8.3\;V/{\mu}m$ and the field enhancement factor reached as large as 698, which is compatible with the silicon cathode tips fabricated by other techniques. These electron field emission results point to the possibility of using a silicon-based light source for display devices.
The carbon nanotube emitters for field emission displays were fabricated by screen printing techniques. The pastes for screen printing are composed of organic binders, carbon nanotubes, and some additive materials. Then the pastes were printed on Cr-coated/Ag-printed soda-lime glass substrates. From the I-V characteristics, the turn-on field of SWNT was lower than that of MWNT. The decrease in the mesh size of screen masks resulted in decreasing the turn-on field and increasing the electron emission current. When the carbon nanotubes were mixed with glass frit, glass frit appeared to contribute to the vertically aligning of carbon nanotubes on glass.
In order to improve electron field emission and its stability, tip surface of amorphous silicon field emitters have been coated with molybdenum layer with a thickness of 25 nm through the gate opening and annealed rapidly in inert ambient. Compared with amorphous silicon field emitters, Mo silicidized amorphous silicon field emitters exhibited lower turn on voltage about 9 V, 3.8 times higher maximum current, 3.1 times lower fluctuation range and less change of the emission current depending on the vacuum level.
Park, Heung-Woo;Park, Yun-Kwon;Lee, Duck-Jung;Kim, Chul-Ju;Park, Jung-Ho;Oh, Myung-Hwan;Ju, Byeong-Kwon
Journal of Sensor Science and Technology
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v.10
no.5
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pp.292-303
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2001
This work reports the tunneling effects of the lateral field emitters. Tunneling effect is applicable to the VMFS(vacuum magnetic field sensors). VMFS uses the fact that the trajectory of the emitted electrons are curved by the magnetic field due to Lorentz force. Polysilicon was used as field emitters and anode materials. Thickness of the emitter and the anode were $2\;{\mu}m$, respectively. PSG(phospho-silicate-glass) was used as a sacrificial layer and it was etched by HF at a releasing step. Cantilevers were doped with $POCl_3(10^{20}cm^{-3})$. $2{\mu}m$-thick cantilevers were fabricated onto PSG($2{\mu}m$-thick). Sublimation drying method was used at releasing step to avoid stiction. Then, device was vacuum sealed. Device was fixed to a sodalime-glass #1 with silver paste and it was wire bonded. Glass #1 has a predefined hole and a sputtered silicon-film at backside. The front-side of the device was sealed with sodalime-glass #2 using the glass frit. After getter insertion via the hole, backside of the glass #1 was bonded electrostatically with the sodalime-glass #3 at $10^{-6}\;torr$. After sealing, getter was activated. Sealing was successful to operate the tunneling device. The packaged VMFS showed very small reduced emission current compared with the chamber test prior to sealing. The emission currents were changed when the magnetic field was induced. The sensitivity of the device was about 3%/T at about 1 Tesla magnetic field.
In this study, a blue-emitting $Sr_2MgSi_2O_7:Eu^{2+}$ (SMS) phosphor for white light-emitting diodes is reported. Through transition of $4f{\rightarrow}5d$ in $Eu^{2+}$, SMS showed a strong blue emission under UV excitation. Additionally, the variation of emission wavelength of SMS is explained by crystal field effect and is supported by rietveld refinement.
An, Young-Je;Lee, Ji-Eon;Kim, Kye-Sung;Cheon, Ko-Eun;Karim, Md. Anwarul;Cho, Young-Rae
한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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2006.08a
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pp.1210-1213
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2006
The effect of surface treatment on CNT cathodes used in field emission displays was investigated. A liquid method using a polymer-based organic solution and a mechanical method were applied. The liquid method, using PVA(polyvinyl alcohol) showed high potential compared to the mechanical adhesive taping and rolling method used in the fabrication of CNT cathodes for large-sized field emission displays with high emission uniformity and a low cost.
Kim, Jung-Dae;Park, Mun-Yang;Kang, Jin-Yeong;Lee, Sang-Yong;Koo, Jin-Gun;Nam, Kee-Soo
ETRI Journal
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v.20
no.1
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pp.37-45
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1998
Reduced surface field lateral double-diffused MOS transistor for the driving circuits of plasma display panel and field emission display in the 120V region have been integrated for the first time into a low-voltage $1.2{\mu}m$ analog CMOS process using p-type bulk silicon. This method of integration provides an excellent way of achieving both high power and low voltage functions on the same chip; it reduces the number of mask layers double-diffused MOS transistor with a drift length of $6.0{\mu}m$ and a breakdown voltage greater than 150V was self-isolated to the low voltage CMOS ICs. The measured specific on-resistance of the lateral double-diffused MOS in $4.8m{\Omega}{\cdot}cm^2$ at a gate voltage of 5V.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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