When femtosecond laser pulses are focused inside the bulk of transparent materials, the intensity in the focal volume becomes high enough to produce permanent structural modifications. This technique has been applied to fabricate three-dimensional photonic structures such as optical memory, waveguides, gratings, and couplers inside a wide variety of transparent materials. In this paper, we review the fabrication of optical elements in glasses with femtosecond laser pulses, including the fabrication of waveguides, couplers, Bragg gratings, zone plates, holographic memory, and micro holes.
Femtosecond laser machining has been applied for creating a sensor function in silica glass optical fibers. Femtosecond laser pulses make it possible to fabricate micro structures in processed regions of a very thin glass fiber line because femtosecond laser pulses can extremely minimize thermal effects. With the laser machining to optical fiber using a single shot of 210-fs laser at a wavelength of 800 nm, it was observed that a processed region surrounded a thin layer which seemed to be a hollow cavity monitored by scanning electron microscopy (SEM). This study aims at a theoretical investigation for the processed region by using a numerical analysis in order to embed sensing function to optical fibers. Numerical methods based finite element method (FEM) has been used for an optical waveguide modeling. This report suggests two types modeling and describes a comparative study on optical losses obtained by the experiment and the numerical analysis.
A comprehensive real-time spectral phase interferometry for direct electric field reconstruction (SPIDER) apparatus for characterizing femtosecond laser pulses is demonstrated. The SPIDER provides the temporal profiles of femtosecond laser pulses, reconstructed at the speed of 3.5 Hz, with parameters of the spectral phase such as group delay dispersion and third-order dispersion. The apparatus is applied successfully to optimize the spectral dispersion of a kHz femtosecond Ti:Sapphire laser by adjusting a grating compressor in real time.
Using tightly focused femtosecond laser pulses, we produce an optical waveguide and optical devices in transparent materials. This technique has the potential to generate not only channel waveguides, but also three-dimensional optical devices. In this paper, an optical splitter and U-grooves, which are used for fiber alignment, are simultaneously fabricated in a fused silica glass using near-IR femtosecond laser pulses. The fiber aligned optical splitter has a low insertion loss, less than 4㏈, including an intrinsic splitting loss of 3㏈ and excess loss due to the passive alignment of a single-mode fiber. Finally, we demonstrate the utility of the femtosecond laser writing technique by fabricating gratings at the surface and inside the silica glass.
We describe a novel method of scanning probe nanofabrication using a AFM(atomic force microscopy) tip with assistance of Femtosecond laser pulses to enhance fabrication capability. Illumination of the AFM tip with ultra-short light pulses induces a strong electric field between the tip and the metal surface, which allows removing metal atoms from the surface by means of field evaporation. Quantum simulation reveals that the field evaporation is triggered even en air when the induced electric field reaches the level of a few volts per angstrom, which is low enough to avoid unwanted thermal damages on most metal surfaces. For experimental validation, a Ti: sapphire Femtosecond pulse laser with 10 fs pulse duration at 800 nm center wavelength was used with a tip coated with gold to fabricate nanostructures on a thin film gold surface. Experimental results demonstrate that fine structures with critical dimensions less than ${\sim}10nm$ can be successfully made with precise control of the repetition rate of Femtosecond laser pulses.
This paper investigates applications of femtosecond lasers for the micromachining of transparent materials and fabrication of optical devices. We show commercial micromachining examples of transparent materials which have been fabricated for various applications. Near infrared femtosecond laser processing is an attractive method to fabricate three-dimensional optical waveguides into various transparent materials. Focused femtosecond laser pulses induce a permanent refractive-index change only near the focal point. We also demonstrate a Y coupler with the splitting ratio of 1:1 written by femtosecond laser pulses into a fused silica glass. The minimum propagation loss of 0.8 ㏈/㎝ awl the refractive-index change of 0.006-0.01 at the wavelength of 1550 ㎚ were achieved by optimization of the laser fluence.
For longer than picosecond pulses, bulk damage inside defect-free dielectrics involves the heating and multiplication of spurious electrons by the incident laser beam and transfer of this energy to the lattice. The situation is quite different for femtosecond pulses which are shorter than the time scale for electron energy transfer to the lattice. Damage caused by these pulses is produced with smaller statistical uncertainty and is controllable on a microscopic scale. These properties can be exploited to produce laser devices such as arrays of damage dots for all optical memories with high data storage density or arrays of parallel grooves to form transmission gratings. In this work, we observed characteristic of the femtosecond laser machining in BK7 and fused silica.
Using tightly focused femtosecond laser pulses, we produce an optical waveguide and devices in transparent materials. This technique has the potential to generate not only channel waveguides, but also three-dimensional optical devices. In this paper, an optical splitter and U-grooves, which are used for fiber alignment, are simultaneously fabricated in a fused silica glass using near-IR femtosecond laser pulses. The fiber- aligned optical splitter has a low insertion loss, less than 4 dB, including an intrinsic splitting loss of 3 dB and excess loss due to the passive alignment of a single-mode fiber. Finally, we present an output field pattern, demonstrating that the splitting ratio of the optical splitter becomes approximately 1:1.
Femtosecond laser is the latest generation pulsed laser delivering shortest pulses. Any solid materials can be machined by it. Femtosecond laser micromachining allows highest precision and minimal heat influence within the workpiece. But due to the complex physical phenomena between the laser beam and the workpiece materials, it is very difficult to determine the optimal process conditions in the femtosecond laser micromachining. In this study, a method to simulate the femtosecond laser micromachining process was proposed. And femtosecond laser micro patterning processes of chromium thin film are simulated by the proposed method using a commercial FE code, LS-Dyna. Simulation results were compared with those of experiments.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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