DC magnetron Sputtering 법으로 제작한 Ti$_{x}$ N 박막의 밀착력에 미치는 코팅조건의 영향
(Effects of coating Condition on Adhesive strength Ti$_{x}$ N Films Prepared by the DC Magetron Sputtering Method)
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- 한국표면공학회지
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- 제31권1호
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- pp.34-44
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- 1998