• 제목/요약/키워드: FTIR Spectroscopy

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SU-8 패시베이션을 이용한 솔루션 IZO-TFT의안정성 향상에 대한 연구 (Stability Enhancement of IZOthin Film Transistor Using SU-8 Passivation Layer)

  • 김상조;이문석
    • 전자공학회논문지
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    • 제52권7호
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    • pp.33-39
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    • 2015
  • 본 연구에서는 SU-8을 절연층으로 사용해 솔루션 공정을 바탕으로 하여 Indium Zinc Oxide(IZO) thin film transistor(TFT)의 안정성을 향상에 대해 연구하였다. 매우 점성이 강하며 negative lithography 용으로 사용되는 SU-8은 기계적, 화학적으로 높은 안정도를 가진다. 그리고 이 SU-8을 사용해 TFT층의 위에 스핀코팅을 사용해 절연막 층을 쌓고 photo lithography를 이용해 patterning을 하였다. SU-8층에 의한 positive bias stress(PBS)에 대한 전기적 특성 향상의 이유를 연구하기 위해 TFT에 X-ray photoelectron spectroscopy(XPS), Fourier transform infrared spectroscopy(FTIR) 분석을 시행하였다. SU-8을 절연층으로 한 TFT는 좋은 전기적 특성을 보였으며, 전류점멸비, 전자이동도, 문턱전압, subthreshold swing이 각각 $10^6$, $6.43cm^2/V{\cdot}s$, 7.1V, 0.88V/dec로 측정되었다. 그리고 3600초 동안 PBS를 가할 시 ${\Delta}V_{th}$는 3.6V로 측정되었다. 그러나 SU-8 층이 없는 경우 ${\Delta}V_{th}$는 7.7V 였다. XPS와 FTIR을 분석한 결과, SU-8 절연층이 TFT의 산소의 흡/탈착을 차단하는 특성에 의해 PBS에 강한 특성을 나타나게 함을 확인하였다.

FTIR과 XRD를 이용한 출토 동물뼈의 화학적 평가 적용 (The application of a chemical assessment of archaeological animal bone by Fourier transform infrared spectroscopy and x-ray diffraction)

  • 강소영;조은민;김수훈;김윤지;이정원
    • 분석과학
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    • 제27권6호
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    • pp.300-307
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    • 2014
  • 동물뼈의 속성작용 정도에 따른 화학적 평가 기준을 적용하기 위하여 고고유적지에서 출토된 3종의 동물뼈와 현대 동물뼈 1종을 대상으로 FTIR-ATR과 XRD 분석을 실시하였다. FTIR-ATR 분석을 통해 결정화지수(CI)와 탄산염과 인산염의 비(C/P), 탄산염과 탄산염의 비(C/C)를 비교한 결과 동물뼈의 보존 상태에 따라 CI와 C/P 값이 차이를 보였다. XRD 분석을 통해 결정화 정도를 비교한 결과 $30^{\circ}-35^{\circ}$ 범위에서 동물뼈의 보존 상태를 구분할 수 있었다. FTIR-ATR과 XRD 분석 결과, 몽골 대형포유류뼈의 보존 상태가 가장 양호하였고 나주 소뼈, 함안 소뼈의 순서로 보존 상태가 좋지 않았다. 이는 뼈 단면의 조직학 분석 결과와도 일치한다. 이를 통해 화학적 평가 기준은 우리나라에서 출토되는 동물뼈의 보존 상태를 파악하는데 적용이 가능할 것으로 판단된다.

FHD(Flame Hydrolysis Deposition)공정으로 제작된 SiO2 광도파막의 분광학적 분석 (Spectroscopical Analysis of SiO2 Optical Film Fabricated by FHD(Flame Hydrolysis Deposition))

  • 김윤제;신동욱
    • 한국세라믹학회지
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    • 제39권9호
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    • pp.896-901
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    • 2002
  • FHD(Flame Hydrolysis Deposition)공정은 화염 형성에 관여하는 장비의 조건들과 그에 따른 다양한 공정인자에 의하여 박막의 조성이 결정되며, 증착된 막을 치밀화하는 첨가물의 증발로 인해 열처리공정에서 조성이 변화되므로 공정인자로부터 최종적인 광도파막의 조성을 예측하는 것은 매우 어렵다. 본 연구에서는 FHD 공정에서 첨가가스의 유량을 제어하여 박막의 조성 및 광학적 특성을 예측할 수 있는 공정 분석의 기초자료를 제공하기 위하여 FTIR(Fourier Transformation Infrared Spectroscopy)측정과 ICP-AES(Inductively Coupled Plasma-Atomic Emission Spectrometry)측정을 통해 실리카 막의 조성분석에 대한 연구를 수행하였다. FTIR 흡수 스펙트럼을 통해 실리카 막에 존재하는 Si-O, B-O band를 측정하고 정성적 농도변화를 관찰 하였고, ICP-AES를 통해 Boron의 농도를 정량적으로 측정하였다. 이 두 결과로부터 FTIR을 이용한 정량적 조성분석의 기초자료인 B-O band의 흡광계수를 구하였다.

Activation energy for the loss of substitutional carbon in $Si_{0.984}C_{0.016}$ grown by solid phase epitaxy

  • Kim, Yong-Jeong;Kim, Tae-Joon;Park, Byungwoo;Song, Jong-Han
    • Journal of Korean Vacuum Science & Technology
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    • 제4권2호
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    • pp.50-54
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    • 2000
  • We studied the synthesis of S $i_{1-x}$ Cx (x=0.016) epitaxial layer using ion implantation and solid phase epitaxy (SPE). The activation energy Ea was obtained for the loss of substitutional carbon using fourier transform-infrared spectroscopy (FTIR) and high-resolution x-ray diffraction (HR-XRD). In FTIR analysis, the integrated peak intensity was used to quantify the loss of carbon atoms from substitutional to interstitial sites during annealing. The substitutional carbon contents in S $i_{0.984}$ $C_{0.016}$ were also measured using HR-XRD. By dynamic simulations of x-ray rocking curves, the fraction of substitutional carbon was obtained. The effects of annealing temperature and time were also studied by comparing vacuum furnace annealing with rapid thermal annealing (RTA))))))

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FTIR-ATR 의 ‘Multiple Peak Reference Method’를 이용한 이축연신 PEN film의 3차원 배향분석 (Application of MMultiple Peak Reference MethodM of FTIR-ATR spectroscopy for 3-dimensional orientation analysis of biaxially deformation PEN film)

  • 박기호;양영일;이한섭
    • 한국섬유공학회:학술대회논문집
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    • 한국섬유공학회 2003년도 가을 학술발표회 논문집
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    • pp.199-200
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    • 2003
  • PEN (Polyethylene 2,6-dicarboxyl naphthalate)은 PET와 화학적 구조가 유사한 polyester 이다. PEN은 PET 의 benzene ring 대신 naphthalene ring이 있는 구조로서 rigid 한 구조를 바탕으로 PET 보다 훨씬 우수한 기계적 물성과 기체 차단성 및 전기 절연성을 가지고 있기 때문에, 현재 PEN에 대해서는 많은 연구가 진행되었고, 상업용으로도 생산되고 있다. 현재까지 진행된 PEN에 대한 연구 중 X-ray를 이용한 배향 거동에 대한 연구보고는 많았으나, 아직까지 FTIR-ATR 을 통해서 시료의 Machine Direction (MD), Transverse Direction (TD), Normal Direction (ND)의 세 방향으로 필름의 3차원적 분자 배향의 거동에 대한 연구보고는 없다. (중략)

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신광원 카본의 전기적 특성 (Electrical Properties of Carbon film for Application of New Light Source)

  • 이상헌;최용성;박대희
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2005년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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    • pp.226-227
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    • 2005
  • The carbon film was deposited by the electrolysis of methanol solution. From investigations of the Raman spectroscopy and the FTIR spectroscopy, the carbon film deposited by the electrolysis was identified the hydrogenated carbon film with the porous structure. The carbon film deposited by electrolysis of methanol was identified as the hydrogenated carbon film with porous structure.

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신광원 적용을 위한 카본 박막의 특성 (Electrical Properties of Carbon film for Application of New Light Source)

  • 이상헌;최용성;박대희
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2005년도 추계학술대회 논문집 Vol.18
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    • pp.346-347
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    • 2005
  • The carbon film was deposited by the electrolysis of methanol solution. From investigations of the Raman spectroscopy and the FTIR spectroscopy, the carbon film deposited by the electrolysis was identified the hydrogenated carbon film with the porous structure. The carbon film deposited by electrolysis of methanol was identified as the hydrogenated carbon film with porous structure.

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카올리나이트 KGa-2 (표준 점토)의 인산염 흡착-탈착 특성 (Phosphate Adsorption-Desorption of Kaolinite KGa-2 (Source Clay))

  • 조현구;최재호;문동혁;김순오;도진영
    • 한국광물학회지
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    • 제21권2호
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    • pp.117-127
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    • 2008
  • 카올리나이트 KGa-2 (표준 점토)의 인산염 흡착-탈착 특성을 규명하기 위하여 벳치(batch) 흡착 실험을 실시하였으며, 흡착 상태를 알아보기 위하여 ATR-FTIR (Attenuated Total Reflectance-Fourier Transform Infrared) 분광분석을 실시하였다. 인의 함량은 UV-VIS-IR 분광분석 기를 사용하여 측정하였으며, 이 때 파장은 820 nm를 이용하였다. pH 4에서 pH 9 범위 내에서 카올리나이트 KGa-2의 인산염 흡착량은 pH가 증가하면 대체적으로 증가하는 경향을 나타내지만, 인산염 농도에 따라 매우 다른 형태를 보여준다. 카올리나이트 KGa-2의 인산염 흡착 특성은 랑미어 흡착등온선, 템킨 흡착등온선, 프로인드리히 흡착등온선 순으로 잘 부합하며, 랑미어 최대 흡착능은 $204.1{\sim}256.5\;mg/kg$, 평균간은 232.5 mg/kg으로서, 카올리나이트 KGa-1b에 비하여 높은 인산염 흡착능을 가진다. 카올리나이트에 흡착된 대부분의 인산염이 탈착되기보다, 광물 내에 고착되는 경향을 나타내지만 이에 대해서는 후속적인 실험이 필요한 것으로 판단된다. ATR${\sim}$FTIR 스펙트럼에서 카올리나이트에 의한 흡수피크의 위치가 인 피크와 거의 중첩되고, 카올리나이트에 의한 흡수 피크의 강도가 인 피크에 비하여 월등히 크기 때문에 카올리나이트에 흡착된 인에 의한 피크를 카올리나이트 자체에 의한 피크로부터 분리하는 것이 거의 불가능하였다.

콘크리트 취급사업장의 공기 중 석영 분석방법 비교 (Analysis of Quartz Concentrations by FTIR-DOF and FTIR-Transfer method in Concrete Manufacturing Industries)

  • 배혜정;정종현;피영규
    • 한국산업보건학회지
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    • 제23권2호
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    • pp.75-83
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    • 2013
  • Objectives: This study was conducted to estimate quartz concentrations in the airborne respirable dust from concrete manufacturing industries and to compare performance of two analytical methods, direct on filter(DOF) and the transfer methods in the Fourier Transform Infrared Spectroscopy(FTIR). Methods: Total 36 area samples were collected from 8 concrete manufacturing industries. Each respirable dust sample was collected by a 25 mm cassette attached to a 10 mm Dorr-Oliver nylon cyclone. The quartz content was estimated using the intensity of the absorption peak of quartz at $799cm^{-1}$ by FTIR. Results: By the comparison of quartz content in respirable dust between the two methods, the results of using DOF method were higher than that of transfer method. And the result of quartz concentrations in respirable dust estimated by DOF method were mostly higher than those by transfer method. Statistically significant difference of quartz concentrations in respirable dust were not found in shakeout, input, loading and transporting processes by two methods. But quartz concentrations in the molding process had the statistically significant difference between DOF and transfer method. Conclusions: The results of the study is suggested that, it be needed to correct the influence of the interferences in order to establish the DOF method when interfering minerals have an effect on quantitative analysis of quartz in respirable dust by the direct on filter method with FTIR.

실리카-커플링제-고무의 화학 결합 형성과 특성 분석 (Characterization and Formation of Chemical Bonds of Silica-Coupling Agent-Rubber)

  • 고은아;최성신
    • Elastomers and Composites
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    • 제49권3호
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    • pp.239-244
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    • 2014
  • 용매를 사용하지 않고 실리카와 실란커플링제의 반응을 투과 방식 휴리에 변환 적외선 분광법(FTIR)과 열중량 분석법(TGA)을 이용하여 조사하였다. 실란커플링제로 bis[3-(triethoxysilylpropyl) tetrasulfide] (TESPT)를 사용하였다. 미반응 TESPT를 제거한 후, FTIR로 화학 결합 형성을 분석하였고 TGA로 반응한 TESPT 함량을 결정하였다. 커플링제의 함량이 증가할수록 실리카에 결합한 커플링제의 양이 증가하였으나, 커플링제를 과량으로 첨가하면 커플링제 간의 축합반응에 의해 올리고머를 형성하였다. 실리카와 커플링제 그리고 고무의 결합을 확인하기 위하여 개질 실리카와 저분자량 액상 BR을 반응시켜 실리카-커플링제-BR 모델 복합체를 제조하여 화학 결합 형성을 조사하였다. 미반응 고무는 용매를 사용하여 제거하였고 FTIR과 TGA로 분석하였다. BR은 개질 실리카의 커플링제와 반응하여 화학 결합을 형성하였다. 실리카-커플링제-BR의 화학 결합 형성으로 인해 실리카 표면의 극성은 크게 낮아졌고 실리카 입자 크기는 커지는 효과를 보였다.