• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.10a
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• pp.1290-1294
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• 2004

Exposure System is used for printing a prescribed pattern on a printed board, a liquid crystal substrate or the like. In this paper we are trying to develop projection Optics Exposure System for manufacturing Color Filter of LCD Display. This paper explain the Projection Optics Design and Illumination Optics Design of Color Filter Exposure system.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2000.04a
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• pp.39.1-39
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• 2000

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 2005.07a
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• pp.57-60
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• 2005

We have recently developed new organic TFT technologies such as self-aligned self-assembly (SALSA) process and a high-resolution color active-matrix LCD panel. A new method to realize high-resolution printable organic TFT array to drive active-matrix flat-panel display will be discussed.

• Information Display
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• v.4 no.2
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• pp.15-18
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• 2003

차세대 디스플레이로 부각되는 FPD(Flat Panel Display)의 제작과정에서 수행되고 있는 기존의 배기 봉착 공정을 진공 인-라인 방식으로 대체함으로써 PDP나 FED의 생산성 및 효율성을 혁신적으로 높일 수가 있다. 매우 취약한 진공실장 기술 및 관련 장비를 개발함으로써 FPD 양산화에 절대적으로 필요한 패널의 생산성 및 수율, 수명을 높일 수 있다. 국내 첨단산업의 경우 생산 장비의 해외 의존도가 너무 높아 국가 기술경쟁력 약화의 한 원인이 되고 있으므로 FPD의 개발 초기단계에서부터 장비 제작업체와의 유기적 협력을 통해 필수적 생산 장비의 조기개발을 통해 장비 국산화를 이룰 수 있다. 본 고에서는 현재 21세기 차세대 신기술 산업으로 평가받고 있는 평판디스플레이의 진공 인-라인 실장 기술을 할 수 있는 경원대학교에서 자체 개발한 진공 인-라인 실장과 장비에 대해 기술하고자 한다.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2010.05a
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• pp.58.2-58.2
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• 2010

FPD (Flat Panel Display) 제조 공정에서 사용되는 패턴은 수 ${\mu}m$ 수준까지 감소하였으며, FPD의 크기는 급격하게 대형화 되여 현재 8세대(2200mm*2500mm)에 이르고 있다. 이에 따라, $1\;{\mu}m$ 이상의 크기를 갖는 오염입자에 의한 수율 저하를 극복하기 위한 세정효율의 향상 및 다량의 초순수 사용에 따른 폐수 발생으로 인한 환경오염, 또한 장비의 크기에 따른 공간 효용성 감소와 이에 따른 공정 비용의 증가 등의 어려움에 직면하고 있다. 따라서, 현장에서는 고효율, 저비용의 세정 공정 기술 개발에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이러한 문제점들을 해결 하고자 이류체 노즐 세정 장치와, 화학액 린스를 위한 초순수 Spray, 건조 공정에 해당하는 Air-knife, Halogen lamp로 구성된 소형화 된 고속 FPD(Flat Panel Display) 세정기에 대한 연구를 진행 하였다. 이류체 노즐은 초순수와 $N_2$ 가스를 내부에서 혼합하여 액적(Droplet)을 형성하여 고압으로 분사시키는 장치로서 화학액을 사용하지 않고 물리적인 방법으로 오염입자를 제거한다. Spray는 유기 오염입자 제거를 위한 오존수의 린스 공정을 위해 설치 하였다. 세정 후 표면에 남아있는 기판의 액막(water film)은 고압의 가스를 분사하는 Air-knife를 통해 제거하였으며, 고속 공정시 발생할 수 있는 Air-knife에서 제거하지 못한 잔류 액막을 Halogen lamp를 사용하여 효과적으로 제거함으로써, 물반점(water mark) 없는 건조 공정을 얻을 수 있었다. 실험에는 미세 입자의 정량적인 측정을 위하여 유리 기판 대신에 6인치 실리콘 웨이퍼(P-type (100))를 사용하였으며, > $\;1{\mu}m$ 실리카 입자를 스핀방식을 사용하여 정량적으로 균일하게 오염하였으며, 오염물의 개수 및 분포는 파티클 스캐너 (Surfscan 6200, KLA-Tancor, USA)를 사용하여 분포 및 개수를 정량적으로 측정 하였다. 이류체 노즐은 $N_2$ 가스의 압력과 초순수의 압력을 변화시켜 측정하여, 각각 0.20 MPa, 0.01 MPa에서 최적의 세정 결과를 얻을 수 있었으며, 건조 효율은 Air-Knife의 입사 각도와 건조면 간격, 할로겐 램프의 온도를 조절 하여 최적의 조건을 얻을 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2000.07a
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• pp.340-343
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• 2000

ITO(Indium Tin Oxide) films for transparent electrodes of FPD(Flat Panel Display) were patterned in atmosphere using laser. A pulse type(repetition rate of 10 Hz) Q-switched Nd:YAG laser which can generate the fundamental wavelength at 1064 nm or its harmonics(532, 266 nm) was used for Patterning of the ITO film. In case of using the second harmonic(532 nm) of Nd:YAG laser, the ITO film(thickness of 20 nm) was removed clearly with a laser fluence of 5.2 J/$\textrm{cm}^2$ and a beam scan speed of 200${\mu}{\textrm}{m}$/s. But the glass substrate was damaged when the laser fluence was over 5.2 J/$\textrm{cm}^2$. We discussed the etching mechanism of the ITO film using Nd:YAG laser with observation of the etching characteristics including a depths and widths of ITO films as a function of laser fluence using SEM(Scanning Electron Microscopy) and surface profiler($\alpha$-step 500).

• Information Display
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• v.3 no.6
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• pp.3-7
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• 2002

차세대 디스플레이로 부각되는 FPD(Flat Display Panel) 가운데 Digital TV 및 산업용 Display로 각광 받고 있는 PDP(Plasma Display Panel)는 최근 LCD, Projection Display 등의 비약적인 기술발전으로 인한 치열한 경쟁 속에서도 지속적인 기술발전을 거듭하고 있다. PDP는 자발광 Display로서 CRT에 버금가는 밝기, 선명성, 넓은 시야각, 색재현력 등의 장점을 가지고 있으며 소비전력, 발광효율, 감성화질 등의 향상에 노력을 경주하고 있다. 본 소고에서는 이러한 PDP의 고화질 기술동향에 대해 알아보겠다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.18 no.5
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• pp.247-252
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• 2008

A laser glass cutting system using a femto-second laser was evaluated for Flat Panel Display (FPD) glass. A theoretical analysis of the ablation threshold and depth is described using an explicit analytic form. Experiments for clean and deep grooves were performed using a 3W femto-second laser, and the relationships between the input energy and the scribing depth as well as the threshold energy are presented. Mechanical breaking after the scribing process was carried out and the results are compared with a theoretical method. It was found that a two-sided LCD panel glass can be cut clearly using the laser cutting method. The methodology was found to be very effective as a mass-production cutting system.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2006.05a
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• pp.249-250
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• 2006

Recently FPD(Flat Panel Display) is used in various field to display enormous information. So cutting technique of flat panel display is needed for producing variety display merchandises. In present, cutting methods of flat panel glass includes breaking process. But this process occurs many glass particles. This glass particles are directly related badness of merchandise and falling productivity. In this paper, to cut front substrate glass of LCD and to get optimized cutting condition are tried fur eliminating breaking process with developed glass cutting machine using a Piezoelectric ceramics actuator. It is known that the vibration of Piezoelectric Ceramic have effect in crack proceeding through the analysis of fracture section.

• The Journal of Information Systems
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• v.17 no.4
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• pp.301-319
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• 2008

The display market has been replaced by the FPD (Flat Panel Display) from the CRT (Cathode-Ray Tube) since the late 1990s. In the FPD production line, the most equipment has high price. Thus, when the equipment has multi-function, the repetitive process is arranged for the equipment. However, such disposition of equipment results in more complicated process flow owing to repetitive operations. This reduces the production capacity and increases lead-time in turn. In this paper, we develop an AutoMod simulation system that derives to information about the quantity, production lead-time, utilities of facilities, and occupation rates of racks. In this simulation system, we consider the situation where the equipment might be broken and suspended randomly. For the developed system, we first evaluate a production plan with current layout and then, propose a revised alternative plan. Using the same simulation scheme, we investigate comparing the production quantity and lead-time with the two plans. In addition, for a proposed alternative, we try to forecast the most adequate rule between the two job dispatching rules which are FOR (Fewest Operation Remaining) and FCFS (First Come First Serve) through simulation.