Particle deposition on a semiconductor wafer larger than 100 mm was studied experimentally and numerically. Particularly the electrostatic effect on particle deposition velocity was investigated. The experimental apparatus consisted of a particle generation system, a particle deposition chamber and a wafer surface scanner. Experimental data of particle deposition velocity were obtained for a semiconductor wafer of 200 mm diameter with the applied voltage of 5,000 V and PSL particles of the sizes between 83 and 495 nm. The experimental data of particle deposition velocity were compared with the present numerical results and the existing experimental data for a 100 mm wafer by Ye et al. (1991) and Opiolka et al. (1994). The present numerical method took into consideration the particle transport mechanisms of convection, Brownian diffusion, gravitational settling and electrostatic attraction in an Eulerian frame of reference. Based on the comparison of the present experimental and numerical results with the existing experimental results the present experimental method for a 200 mm semiconductor wafer was found to be able to present reasonable data.
Bragg reflection of nonlinear waves is simulated by a 2D fully nonlinear numerical wave tank (NWT). The developed NWT was based on the Boundary Element Method (BEM) with potential theory and the mixed Eulerian-Lagrangian (MEL) time marching scheme with Runge-Kutta 4th-order time integration. A spatial variation of wave elevations and their Fourier amplitudes of each component are compared to investigate the effect of sea bottom ripples and their relative heights. The incident waves over an undulated sea bottom are partially reflected and changed to partial standing waves due to Bragg reflection. The present results are verified with linear calculations and experimental data. It is found that the 1st-order wave component is mainly affected by Bragg reflection and its spatial modulation is significant in front of the bottom ripples.
Heat transfer and flow characteristics in a pipe in which the rotating cutting tool for boring a underground pipe without digging were considered in this study. The amount of heat generation due to the friction between the rotating cutter and pipe wall, mixing (low of air and water injected to cool down are the two important factors to design the boring machine Computational fluid dynamics analysis using the Eulerian mixture model and the standard $\kappa-\varepsilon$ turbulence model was used to analyze the complex phenomena in a pipe during the process. Results show that pipe wall temperature decreased with increasing the cooling water inlet velocity. it is also shown that pipe wail temperature was lowered when the cutter rotation speed was increased until 600 rpm. There was no further cooling effect over 600 rpm.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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v.26
no.7
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pp.1426-1437
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2002
Using the Lagrangian explicit time-integration finite element code NET3D which can treat three-dimensional high-velocity impact problems, oblique penetration processes of long rod projectile with yaw against thin plate are simulated. Through the comparison of simulation result with experimental result and other code's computational result, the adaptability and accuracy of NET3D is evaluated under the complex situation in which yaw angle and oblique angle exist simultaneously. Main research contents to be handled in this paper include the followings. First, the accuracy and efficiency estimation of NET3D code result obtained from the oblique penetration simulations of long rod projectile with yaw against thin plate. Second, the effect of increasing impact velocity. Third, the effect of initial yaw for the spaced-plate target. Residual velocities, residual lengths, angular velocities, and final deformed configurations obtained from the NET3D computations are compared with the experimental results and other code's computational results such as Eulerian code MESA and Lagrangian code EPIC. As a result of comparisons, it has been found that NET3D code is superior to EPIC code and MESA code in the prediction capability of residual velocity and residual length of penetrator. The key features obtained from the experiment can be successfully reproduced through NET3D simulations. Throughout the study, the applicability and accuracy of NET3D as a metallic armor system design tool is verified.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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v.33
no.12
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pp.1366-1374
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2009
Anterior cruciate ligament(ACL) of human body experiences a large deformation. May during everyday when large deformation is repeated by various activities such as outdoor activity, ACL easily get damaged. In order to acknowledge the effect of the cyclic large deformation to ACL, the constitutive equations for ACL are derived from experiment data. The concept of the objective stress rate plays a important role wherever large deformation occurs. In order to obtain the objective stress rates the eigenprojection technique is used. A comparison is made for four different cases: Jaumann rate, Green-Naghdi rate, logarithmic rate and twirl tensor of Eulerian triad rate for an isotropic material subject to cyclic deformation, such as simple shear motion. Four different materials are studied to compare the behavior of the materials for ACL using different objective rates. Finally, more complicated model with fibers for soft tissues is used to calculate the behavior subjected to cyclic large deformation.
The present study describes a numerical analysis for simulation of the sloshing of flows with free-surface which contained in a rectangular tank The SOLA-VOF (Volume of fluid) method uses a fixed mesh for calculating the motion of flow and the free-surface. This Eulerian approach enables the VOF method to use only a small amount of computer memory for simulating sloshing problems with complicated free-surface contours. The VOF function, representing the volume fraction of a cell occupied by the fluid, is calculated for each cells, which gives the locating of the free-surface filling any some fraction of cells with fluid. Using SOLA-VOF method, the study describes visualization about simulation of the sloshing of flows and damping effect by baffle. Translation and pitching motion of the forms have been investigated The time-dependent changes of free-surface height are used for visualization subject to several conditions such as fluid height horizontal acceleration, sinusoidal motion, and viscosity. The free-surface heights were used for comparing wall-force, which is caused by sloshing of flows. Baffle was Installed to reduce the force on the wall by sloshing of flows. Damping effects was extensively expressed under the conditions such as baffle shape and position.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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v.18
no.4
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pp.920-932
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1994
The combustion phenomena of a reciprocating engine is one of the most important processes affecting performance and emissions. One effective way to improve the engine combustion is to control the motion of the charge inside a cylinder by means of optimum induction system design, because the flame speed is mainly determined by the turbulence at compression(TDC) process in S.I. engine. It is believed that the tumble and swirl motion generated during intake breaks down into small-scale turbulence in the compression stroke of the cycle. However, the exact nature of their relationship is not well known. This paper describes cycle resolved LDV measurement of turbulent flow inside the cylinder of a 4-valve engine under motoring(non-firing) conditions, and studies the effect of intake port configurations on the turbulence characteristics using following parameters ; Eulerian temporal autocorrelation coefficient, turbulence energy spectral density function, Taylor micro time scale, integral time scale, and integral length scale.
Compression ignition direct injection diesel engines employed a high pressure injection system have been developed as a measure to improve a fuel efficiency and reduce harmful emissions. In order to understand the effects of the pressure variation, many experimental works have been done, however there are many difficulties to get data in engine condition. This work gives numerical results for the high pressure effects on spray characteristics in wide or limited space with near walls. The gas phase is modelled by Eulerian continuum conservation equations of mass, momentum, energy and fuel vapour fraction. The liquid phase is modelled using the discrete droplet model approach in Lagrangian form and the drop behavior on a wall is calculated with a new droplet-wall interaction model based on the experiments observing individual drops. The droplet distributions, vapour fractions and gas flows are shown in various injection pressure cases. In free spray case which the injection spray has no wall impaction, the spray dispersion and vapour fraction increase and drop sizes decrease with increasing injection pressure. The same phenomena appears more clearly in wall impaction cases.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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v.15
no.5
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pp.1551-1562
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1991
최근까지 발표된 유한 요소법을 이용한 압연 해석 관련 주요 논문들을 정리해 보면 다음과 같다. Li와 Kobayashil는 강소성 유한 요소법(rigidplastic finite element method)을 여러가지 마찰조건에 대하여 해석하였다. 이때 압연롤은 강체 (rigid body)로 시편은 가공경화(workhardening)를 동반한 강소성체로 모델링하였다. Hwang과 Kobayashi는 강소성 유한 요소법을 이용한 평면 변형 압연에서 재료 손실을 최소화하는 예비 성형체(preform)의 설계에 대한 연구를 수행하였다. 이 경우에도 역시 압연롤은 강체로 시편은 가공 경화를 동반한 강소성체와 완전 소성체로 모델링 되었으나, 고착(sticking) 마찰 조건에 대해서만 해석을 수행하였다. Mori와 Osak- ada 그리고 Oda는 약간 압축성이 있는 재료의 평면 변형 압연에 대하여 연구하였다. 이때 압연롤은 강체로 시편은 가공 경화를 동반한 강소성체로 모델링 되었으며 경계 면에서는 Coulomb 마찰을 고려하였다. 이밖에도 오일러(Eulerian) 수식화를 이용한 Dawson과 Thompson, Berman의 해석 결과가 있으며, 또 폭 방향의 변형까지를 고려한 Li와 Kobayashi, Mori와 Osakada의 3차원 해석 결과가 있다.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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v.31
no.1
s.256
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pp.29-39
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2007
A second-moment closure is applied to the prediction of a homogeneous turbulent shear flow laden with mono-size particles. The closure is curried out based on a 'two-fluid' methodology in which both carrier and dispersed phases are considered in the Eulerian frame. To reduce the number of coupled differential equations to be solved, Reynolds stress transport equations and algebraic stress models are judiciously combined to obtain the Reynolds stress of carrier and dispersed phases in the mean momentum equation. That is, the Reynolds stress components for carrier and dispersed phases are solved by modelled transport equations, but the fluid-particle velocity covariance tensors are treated by the algebraic models. The present predictions for all the components of Reynolds stresses are compared to the DNS data. Reasonable agreements are observed in all the components, and the effects of the coupling of carrier and dispersed phases are properly captured in every aspects.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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