Thermal Stability of epitaxial $CoSi_2$ layer on (100) Si substrate from cobalt-carbon film deposited by MOCVD
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1999년도 춘계학술발표강연 및 눈문개요집
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- pp.15-15
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- 1999