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In-Sb-Te 박막의 결정화 거동에 관한 투과전자현미경 연구 (A Transmission Electron Microscopy Study on the Crystallization Behavior of In-Sb-Te Thin Films)

  • 김청수;김은태;이정용;김용태
    • Applied Microscopy
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    • 제38권4호
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    • pp.279-284
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    • 2008
  • 상변화 메모리 재료로 사용 가능한 In-Sb-Te (IST) 박막을 RF 마그네트론 스퍼터링법을 사용하여 증착한 후 열처리를 통해 온도에 따른 결정화 거동 및 미세구조를 투과전자현미경(TEM)을 통해 분석하였다. IST 박막은 as-dep 상태에서 비정질상으로 존재하였으며, 열처리 온도에 따라 결정상인 InSb, $In_3SbTe_2$, InTe으로 상변화가 일어났다. 이러한 상변화는 기존의 삼원계 상태도와 다른 비평형 상태에서의 상변태가 이루어짐을 확인할 수 있다. 상변화 과정 중 박막의 두께가 무질서하게 배열되었던 비정질상에서 규칙적인 배열을 갖는 결정질상으로 변할수록 감소하는 경향을 확인하였다. 또한 각각의 결정립의 크기도 온도가 증가할수록 증가하는 것을 관찰하였다. 특히, $350^{\circ}C$ 열처리한 박막의 InSb 상은 비정질 상태에서 표면에너지가 가장 낮은 {111}면을 따라 facet을 이루며 결정화가 이루어졌다. 온도가 증가함에 따라 $In_3SbTe_2$로 상변화가 일어났는데, $400^{\circ}C$ 열처리한 시편의 경우 미소영역에서 마이크로 트윈들이 관찰되었다. 이 면결함은 {111}면을 따라 양쪽의 격자점들이 일치하는 정합 쌍정립계를 이루고 있었으며, $450^{\circ}C$에서 동일영역을 관찰해 본 결과 쌍정 결함들이 치유되어 {111} facet 면을 이루고 있는 것을 확인하였다. 또한 비교적 작은 영역에서 상분리가 일어난 InTe 상도 관찰하였다. InTe 상의 경우 포정반응 온도인 $555^{\circ}C$보다 낮은 온도에서 관찰되었는데, InTe의 (002)면과 $In_3SbTe_2$의 (111)면이 비슷한 면간거리를 가지고 있음을 확인하였다. 추가적으로 $500^{\circ}C$ 이상의 온도에서 이들의 결정학적 관계에 따른 상변화 과정에 연구가 수행되어야 할 것으로 생각된다.

메성 및 찰성보리 ${\beta}-Glucan$의 리올로지 특성 (Rheological Properties of ${\beta}-Glucan$ Isolated from Non-waxy and Waxy Barley)

  • 최희돈;박용곤;장은희;석호문;이철호
    • 한국식품과학회지
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    • 제32권3호
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    • pp.590-597
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    • 2000
  • ${\beta}-Glucan$의 점증제 및 겔화제로서의 이용성을 규명하기 위하여 메성 및 찰성보리 ${\beta}-glucan$ 용액의 리을로지 특성을 비교하였다. 메성 및 찰성보리 ${\beta}-glucan$ 용액 모두 의가소생 유체 특성을 나타내었으며, Power law mdel에 잘 적용되었다. Arrhenius 식에 의해 구한 층밀림 속도 $700s^{-1}$에서의 겉보기 점도의 활성화에 너지는 농도가 1%에서 4%로 .증가함에 따라 메성 ${\beta}-glucan$의 경우 20.01에서 16.78kj/mol로, 찰성 ${\beta}-glucan$의 경우 지수의 경우 27.18에서 17.82kj/mol로 감소하였으며, 지수함수식에 의해 구한 농도의존성 상수인 A는 온도가 $20^{circ}C$에서 $65^{circ}C$로 증가함에 따라 메성 ${\beta}-glucan$의 경우 $0.37%^{-1}$에서 $0.42%^{-1}$로, 찰성 ${\beta}-glucan$의 경우 $0.49%^{-1}$에서 $0.57%^{-1}$로 증가하였다. 찰성보리 ${\beta}-glucan$의 고유점도는 2.38dL/g으로 메성보리 ${\beta}-glucan$의 1.60dL/g보다 높게 나타났으며, 비점도와 환원농도의 관계에서 구한 critical coil overlap parameter($C^*[{\eta}]$)를 경계로 기울기가 달라져 $C[{\eta}] 영역에서는 메성 및 찰성보리 ${\beta}-glucan$ 간에 차이가 나지 않았지만 $C[{\eta}]>C^*[{\eta}]$ 영역에서는 각각 2.907과 3.757을 나타내었다. 동적점탄성 측청 결과 진동수 변환중 cross-over가 일어나고 이후의 진동수 영역에서는 저장탄성율이 손실탄성율보다 높은 값을 나타내었으며, 24시간 경과 후 겔을 형성하여 겔화제로서의 이용 가능성을 보여주었다.

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섬광의 적외선 특성 연구 (Infrared Characteristics of Some Flash Light Sources)

  • 임상연;박승만
    • 한국광학회지
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    • 제27권1호
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    • pp.18-24
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    • 2016
  • 섬광을 효율적으로 활용하고 그 효과를 예측하기 위해서는 섬광의 광 방출특성을 알아야 하는 것은 필수적이다. 본 논문에서는 섬광의 효과예측과 효율적 활용을 위한 섬광의 적외선 특성을 연구하였다. 세 종류의 섬광원에 대하여 중적외선과 원적외선영역에서 적외선 특성을 측정하고 이로부터 섬광의 복사휘도와 복사온도를 추출하여 섬광의 적외선 특성을 연구하였다. 세 종류의 섬광에 대해 중 원적외선 영역에서 적외선 스펙트럼 복사휘도를 추출한 결과는 섬광 A의 복사휘도가 상대적으로 제일 강하며 섬광 C, 섬광 B 순으로 분석되었다. 동일한 연소형 섬광인 섬광 A와 B의 복사휘도가 약 10배 이상 남을 알 수 있었으며, 이는 단지 화약량의 차이에 의해 나타나는 것이므로 화약량이 증가할수록 방출 적외선의 강도가 강해지는 것으로 해석된다. 또한 폭발형 섬광 C와 연소형 섬광 A, B를 비교해도 화약량에 따라 적외선 방출 강도가 달라지는 것을 알 수 있다. 두 적외선 영역에서 측정한 복사휘도로부터 복사온도를 추출하였다. 섬광 A의 복사온도는 3300 K, 섬광 B는 1120 K, 섬광 C는 1640 K로 추출되었다. 두 적외선 영역에서 측정한 적외선 복사휘도, 복사온도 그리고 섬광의 지속시간을 종합하여 볼 때, 연소형 섬광이 폭발형보다 더 많은 적외선 에너지를 방출하는 것으로 분석되며, 이는 적외선 관측장비에 미치는 영향은 폭발형보다는 연소형이 더 크게 됨을 의미한다. 이러한 측정된 자료를 바탕으로 분석을 통해 확보된 섬광의 스펙트럼 복사휘도와 복사온도는 섬광이 적외선 장비에 미치는 영향을 추정하는데 매우 중요한 역할을 할 수 있으며, 나아가 섬광효과의 M&S에 기반을 제공할 것으로 기대된다.

일부 비만 초등학생을 위한 건강영양캠프의 효과 평가 (Evaluation of Nutritional Health Camp in Obese Elementary Students)

  • 전예숙;이지은;이용숙;배윤정;김미현;이윤신;김애정;승정자;최미경
    • 한국식품영양학회지
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    • 제20권1호
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    • pp.79-87
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    • 2007
  • 본 연구에서는 어린이 비만의 예방 및 치료방법의 일환으로 비만 어린이를 대상으로 영양 및 건강을 위한 기본 개념습득과 이를 응용할 수 있는 능력 향상을 위한 교육 프로그램을 구성하고 영양지식, 영양태도 및 자아만족도를 교육 전후 비교하여 건강영양캠프의 효과를 평가하였으며, 그 결과를 요약하면 다음과 같다. 캠프 참가 대상자의 평균 연령은 11.5세이었으며, 평균 신장과 체중은 141.9 cm와 52.1 kg이었고, 신장과 체중으로 산출한 비만도는 40.7%이었다. 1일 에너지 섭취량은 남자 어린이 1,522.4 kcal, 여자 어린이 1,494.9 kcal로 남자 어린이가 여자 어린이보다 다소 높았으나 유의한 차이는 없었다. 단백질, 지방, 당질 섭취량은 남자 어린이가 각각 59.5 g, 39.6 g, 232.1 g이었으며, 여자 어린이는 각각 57.8 g, 40.3 g, 227.5 g이었다. 전체 참가 어린이의 평균 무기질 섭취량은 칼슘 392.7 mg, 인 793.2 mg, 철 9.9 mg, 아연 7.2 mg이었으며, 비타민 섭취량은 비타민 A 530.7 ${\mu}$g, 비타민 B$_{1}$ 0.9 mg, 비타민 B$_{2}$ 0.9 mg, 비타민 C 49.1 mg, 엽산 169.3 ${\mu}$g이었다. 성격 검사를 실시한 전체 어린이 중에서 확실한 성격 유형이 나온 어린이는 15명이었다. 그 중 내향성(I)의 그룹은 4명이었고, 11명은 외향성(E)그룹으로 나타나 전체적으로 활달하면서도 적극적인 어린이들로 구성되었다는 것을 알 수 있었다. 아직 뚜렷하게 성격 유형을 결정하지 못한 나머지 28명의 어린이들은 하나 혹은 둘 이상의 U 밴드(undetermined: 결정되지 않은)를 가지고 있었다. 캠프 전 영양지식은 70.0점이었고 캠프 이후 76.5점으로 증가하였으나 유의한 차이는 없었다. 영양태도는 캠프 전 28.3점에서 캠프 이후 31.2점으로 유의하게 증가하였으며(p<0.001), 자아만족도는 캠프 전 32.8점에서 캠프 이후 35.1점으로 증가하였으나 유의한 차이는 없었다. 이상의 연구 결과를 종합할 때 초등학교 비만 어린이의 경우 칼슘, 엽산, 비타민 C, 비타민 B$_{2}$의 영양소에서 평균 필요량보다 부족하게 섭취하고 있는 비율이 높게 나타났으며, 영양교육 전과 비교하여 볼 때 영양태도 점수가 교육 후 유의하게 증가하였고, 유의적이지는 않으나 영양지식과 자아만족도도 증가하였다. 또한 성격 유형 검사 결과 아직 뚜렷하게 성격 유형을 결정하지 못한 어린이들의 비율이 높게 나타나 이러한 성격 유형의 결정 여부 및 각 유형을 참조하여 식생활에서 올바른 식생활 관리 능력과 바람직한 영양태도 및 지식을 습득할 수 있도록 하는 영양교육의 필요성이 높은 것으로 사료된다.

몬순기후와 복잡지형의 특성을 갖는 광릉 산림유역의 물과 탄소순환에 대한 교차규모 연구로부터의 교훈 (Lessons from Cross-Scale Studies of Water and Carbon Cycles in the Gwangneung Forest Catchment in a Complex Landscape of Monsoon Korea)

  • 이동호;김준;김수진;문상기;이재석;임종환;손요환;강신규;김상현;김경하;우남칠;이부용;김승
    • 한국농림기상학회지
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    • 제9권2호
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    • pp.149-160
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    • 2007
  • 광릉 슈퍼사이트에서 대기와 식생간의 에너지와 물질교환 규명은 지형과 식생의 복잡성으로 인해 많은 기술적인 어려움에 직면하고 있다. 따라서 KoFlux 연구에서는 상호보완적인 다중 분야의 연구를 통해 이러한 어려움을 극복하기 위한 시도를 해 오고 있다. 본 논문에서는 현재 진행중인 KoFlux 연구의 예비결과 중 특히 광릉사이트에서의 물/탄소수지, 물과 탄소순환의 상호관련성 그리고 몬순기후하의 생태계에서 탄소순환에 미치는 수문학적 요인의 중요성에 대해 중점적으로 논의하고자 한다. 광릉낙엽활엽수림의 순생태생산량 (NEP)은 광범위한 생태학적 연구결과에 따르면 약 ${\sim}2.6\;t\;C/ha/y$로 예상된다. 이를 미기상 플럭스 관측 결과와 함께 고려할 때 광릉 산림은 탄소의 중요한 육상흡원으로서 기능함을 예상할 수 있다. 다양한 생태수문 관측에 의해 규명된 유역단위 물수지에 의하면 연단위 전체강수량의 약 30-40%가 증발산(ET)에 해당함을 나타내고 있다. 광릉산림의 대표적인 수종인 졸참과 서어나무의 잎에서 얻어진 탄소 안정동위원소 조성에 근거하여 계산된 식물 성장기간의 평균 물이용효율(WUE)은 약 ${\sim}12\;{\mu}mol\;CO_2/mmol\;H_2O$에 해당된다. 얻어진 증발산량과 물이용효율은 유역단위의 생태계 생산량을 산출하는데 이용될 수 있다. 나이테 성장량과 토양호흡량의 연단위 변화는 강수량과 강수의 패턴에 의해 크게 영향을 받음을 보이고, 이는 몬순기후에 영향을 받는 동아시아 지역 생태계에서 탄소 순환과정이 수문학적 조건과 밀접한 상관관계를 가짐을 지시한다. 연구지역의 공간적 특성을 정량화하기 위해 관측지의 구조 및 기능적 단위를 규명하기 위한 연구가 진행되고 있고 이를 통해 서로 다른 시공간 규모에서 진행되고 있는 연구의 결과물을 체계적으로 연결 통합하고 나아가 보다 광역적인 규모에서 대표적인 물/탄소 수지를 산출하기 위한 연구가 시도되고 있다.

채식 성인여성의 식사형태 및 비타민, 영양제 복용과 혈중 지질, 혈당, 혈압과의 관련성에 관한 비교연구 (The Study of the Diet Style and Relationships among Vitamin and Nutrient Supplement Intakes, Serum Lipid Levels, Blood Sugar and Blood Pressure of Adult Female)

  • 차복경;최원경
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제31권2호
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    • pp.306-314
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    • 2002
  • 조사대상자의 평균나이는 채식인 44.2세, 비채식인 40.5세, BMI는 각각 22.4, 21.0이었고, WHR은 0.8, 0.8였고, %BF는 28.7, 26.5였으며, 채식인의 평균채식기간은 13.1년이었다. 조사대상자중 비만인 사람의 식사 형태는 채식인은 볼륨형(58.8 %), 미식가형(20.6%), 다이어트형(8.8%), 패스트푸드형 (5.9%), 밸런스형(5.9%)의 순이었고 비채식인은 미식가형(33.3%), 볼륨형 (27.8%), 다이어트형 (16.7%), 패스트푸드형 (11.1%), 밸런스형(11.1%)의 순이었다. 채식인은 식사의 양이 많은 사람에게서 비채식인은 미식가형에서 비만이 많은 것으로 나타났다. 정상체중인 사람의 식사형태는 책식인은 볼륨형(45.1 %), 미식가형 (32.4%), 밸런스형 (16.2%), 다이어트형 (4.2%), 패스트푸드형 (2.1%)의 순으로 볼륨형과 미식가형이 약 78% 정도를 차지하였다. 비채식인은 볼률형(34.2%), 미식가형(26.1 %), 패스트푸드형 (22.6%), 밸런스형 (10.6%), 다이어트형 (6.5 %)의 순으로 의외로 볼륨형이 가장 많았다. 조사대상자의 평균 중성지방은 채식인 136.7 mg/dL, 비채식인 130.5 mg/dL 였고, total-cholesterol은 채식인 161.4 mg/dL, 비채식인 189.6 mg/dL, HDL-cholesterol은 채식인 48.2 mg/dL, 비채식인 50.8 mg/dL, LDL-cholesterol은 채식인 86.6 mg/dL, 비채식인 111.1 mg/dL, AI는 채식인 2.4, 비채식인 2.9, 혈당은 채식인 90.8 mg/dL, 비채식인 103.6 mg/dL, 수축기 혈압은 채식인 107.5 mmHg, 비채식인 119.3 mmHg, 이완기혈압은 채식인 72.4 mmHg, 비채식인 73.6 mmHg이었다. 조사대상자의 total-cholesterol, LDL-cholesterol, HDL-cholesterol, AI, 수축기혈압 및 혈당은 비채식인이 유의적으로(p<0.05) 높았으며, 심혈관질환 예견지수인 HDL-cholesterol/total-cholesterol 비는 채식인이 유의적으로(p<0.05) 높았다. 조사 대상자의 비타민 및 영양제 복용실태는 비타민을 복용한다고 한 사람은 채식인 53명(22.6%), 비채식인 71명 (29.0%), 영양제를 복용한다고 한 사람은 채식인 24명(10.2%), 비채식인 15명 (11.0%), 비타민이나 영양제를 먹지 않는다고 한 사람은 채식인 158명(67.2%), 비채식인 147명(60.0%)으로 두 군이 비슷한 비율이었다.

자생식물 혼합 추출물이 SD 흰쥐에서의 행동양상 및 항산화 체계에 미치는 영향 (Effect of Natural Plant Mixtures on Behavioral Profiles and Antioxidants Status in SD Rats)

  • 서보영;김민정;김현수;박해룡;이승철;박은주
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제40권9호
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    • pp.1208-1214
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    • 2011
  • 주간졸음증은 업무수행 능력을 감소시키고 사고의 위험을 증가시키는 것으로 보고되어 있으며, 특히 교통사고의 주요 원인이 된다. 카페인은 전 세계적으로 가장 널리 이용되는 커피, 녹차, 콜라 등의 음료에 함유되어 있는 물질로써 정신적 스트레스를 완화시키고, 자살충동 및 우울증의 감소 등 특정 효과가 있는 것으로 보고된바 있으며 졸음을 억제하기 위한 수단으로 주로 이용된다. 그러나 산소 소모의 증가, 체내 에너지 손실 및 대사율 증가뿐 아니라 비장의 DNA 합성 감소, 체내 지질 산화 등의 많은 부작용을 가진다. 따라서 본 연구에서는 국화, 민들레, 두릅, 냉이, 석창포, 과라나 등의 자생식물들을 이용하여 행동학적 분석을 통한 각성 효과뿐만 아니라 인체의 생리활성에 안전한 물질을 탐색하고자 하였다. Open field test의 결과, 단회 투여 시 대조군에 비해 카페인 투여군에서 활동적인 행동 양상을 나타내었으며 NP군에서 카페인 투여군과 같은 수준의 활동 정도를 나타내었다. 또한 3주간 NP의 투여는 카페인의 투여에 비해 증가한 활동성의 결과를 보였다. 총콜레스테롤과 중성지방, LDL-콜레스테롤 농도의 경우 각 군 간의 유의적 차이가 나타나지 않았으며 HDL-콜레스테롤 농도의 경우 대조군에 비해 카페인군과 NP군에서 유의적 차이는 없었으나 카페인 투여군에 비해 NP 투여군에서 유의적으로 높은 수준을 보였다. 혈중 지질과산화 농도는 대조군(5.6 mM)에 비해 카페인군(11.7 mM)에서 유의적으로 높은 농도를 나타낸데 반해 NP군(6.4 mM)은 대조군과 같은 수준을 나타내었다. 간세포의 DNA 손상정도에서는 대조군($18.4{\pm}2.1$)에 비해 카페인 투여군($23.8{\pm}3.1$) 에서 유의적으로 손상이 증가한데 반해 NP군($15.9{\pm}1.7$)은 대조군에 비해 유의적 차이를 보이지 않음으로써 NP의 장기 투여는 DNA 손상에 아무런 영향을 주지 않았다. 본 연구의 결과, 국화, 민들레, 두릅, 냉이, 석창포, 과라나 등의 자생식물 혼합추출물이 카페인과 비슷한 각성효과를 보이면서도 장기복용 시 안전한 것으로 나타나 각성효능이 있는 기능성식품으로서의 가능성이 충분하다고 사료된다.

측두골의 함기도와 중이강의 용적이 고막 임피던스에 미치는 영향에 관한 연구 (Experimental and clinical studies with impedance audiometry; the increase in air volume in the middle ear air system and the pneumatization of human temporal bones)

  • 민양기
    • 대한기관식도과학회:학술대회논문집
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    • 대한기관식도과학회 1977년도 제11차 학술대회연제 순서 및 초록
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    • pp.4.4-5
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    • 1977
  • 중이의 impedance는 고막, 이소골연쇄 및 중이강.유양동.함기봉와의 공기강에 의해 결정되는 바, 저자는 우선 신선한 개의 중이를 재료로 하여 중이강의 강기체적을 변동시킴으로써 중이강의 공기체적인자가 중이의 impedance를 어떻게 변동시키는가를 조사하였고, 다음으로 과거력과 현재상태에서 외이도, 고막 및 중이에 병변이 없는 환자에서 중이의 impedance를 측정하고 아울러 측두골의 X-녹상을 언어 측두골의 함기도에 따라 중이의 static compliance의 변동을 조사하여 이과학의 임상적인 면에서의 중이의 static compliance의 또 하나의 이용가치를 구명하여 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. 개의 중이는 control state에서 Type A의 tympanogram을 보였으며, 중이강의 공기체적의 변동에 의해 tympanogram curve의 채형은 변동하지 않았다. 2. 개의 중이에 있어서 중이의 static complance는 중이강의 공기체적의 변동에 의해 유의한 직선적인 증가를 보였으며, 중이강의 공기체적 1cc의 증가에 대해 $0.5{\pm}0.1$cc의 증가율을 보였다. 3. 측두골의 함기도가 양호해짐에 따른 중이의 static compliance의 증가경향과 개의 측두골표본에서의 실험적인 근거로부터 측두골의 함기도(x)와 중이의 static compliance (y)사이에 $y=0.19x+0.16{\pm}0.05$의 회귀방정식을 얻을 수 있었다. 따라서 중이강의 공기체적의 변동은 유의한 중이의 static compliance의 변동을 일으키며, electroacoustic impedance bridge (Madsen ZO 70, 220 Hz 의 probe tone을 사용)를 사용하였 중이의 static compliance를 측정함으로써 임상적으로 측두골의 X-선상을 촬영하지 아니하고도 간단히 측두골의 함기도를 알 수 있을 것으로 생각되어, impedance audiometry의 임상진단학적인 견지에서의 또 하나의 가치를 보고하는 바이다.

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공동(air cavity)의 존재 시 실험적 선량분포와 치료계획상의 선량분포 비교 (Comparison of Experimental and Radiation Therapy Planning (RTP) Dose Distributions on Air Cavity)

  • 김연래;서태석;고신관;이정우
    • 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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    • 제33권3호
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    • pp.261-268
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    • 2010
  • 고 에너지 광자선 치료 시 공동의 존재로 인한 실험적 선량분포와 치료계획상의 선량분포의 변화를 비교, 평가 하고자 하였으며, 선형가속기의 6 MV 광자선을 이용해서 폴리스틸렌 팬텀, 자체 제작한 아크릴 팬텀으로 공동을 만들고 표면에서 공동까지의 거리는 3 cm로 하고 선원-측정기간 거리는 100 cm로 고정하였고 공동의 크기는 가로 $\times$ 세로 $\times$ 높이로 정하였다. 공동의 넓이, 높이, 존재 유무, 그리고 조사면과 공동의 크기비율에 따른 깊이에 대한 선량변화를 평판형전리함과 미소전류계를 이용하여 측정하였다. 치료계획상의 선량분포는 불균질 보정을 하고 치료계획을 하여 비교하였다. 그 결과 공동의 넓이가 커짐에 따라 선량은 점차 감소하였다. 공동의 존재 시에, 공동후면 이후 깊이선량은 공동의 비존재시보다 크게 나타났다. 공동의 크기를 $5{\times}5{\times}3\;cm^3$로 고정했을 때 조사면이 $4{\times}4\;cm^2$, $5{\times}5\;cm^2$, $6{\times}6\;cm^2$일 경우에 rebuild-up이 일어났다. 그러나 조사면이 $10{\times}10\;cm^2$에서는 선량감소만이 나타났다. 또한 조사면을 $5{\times}5\;cm^2$로 고정했을 때, 공동의 넓이가 $4{\times}4\;cm^2$, $5{\times}5\;cm^2$일 경우에는 rebuild-up현상이 일어났지만, $2{\times}2\;cm^2$, $3{\times}3\;cm^2$일 경우에는 일어나지 않았다. 모든 경우에서 치료계획상의 선량분포에서 rebuild-up 현상이 나타나지 않았다. 따라서 공동이 위치한 곳에 종양이 존재할 때는 치료계획상의 선량분포에 차이가 있으므로 주의를 할 필요가 있다.

RTCVD에 의한 다결정 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막 증착 (Deposition of Poly-$Si_{1-x}Ge_x$ Thin Film by RTCVD)

  • 김재중;이승호;소명기
    • 한국재료학회지
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    • 제5권6호
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    • pp.690-698
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    • 1995
  • Oxidized Si wafer 위에 반응가스로 Si $H_4$과 Ge $H_4$을 사용하여 RTCVD(rapid thermal chemical vapor deposition)법으로 증착온도 450~5$50^{\circ}C$에서 다결정 S $i_{1-x}$G $e_{x}$ 박막을 증착하였다. 증착된 S $i_{1-x}$, G $e_{x}$ 박막은 증착온도와 Ge $H_4$Si $H_4$입력비 변화에 따른 Ge몰분율 변화와 증착속도에 대해 고찰하였으며, XRD와 AFM(atomic force microscopy)등을 이용하여 결정상과 표면거칠기 등을 조사하였다. 실험결과, 다결정 S $i_{1-x}$G $e_{x}$ 박막은 32~37 Kcal/mole의 활성화에너지 값을 가졌으며 증착속도는 증착온도와 입력비 중가에 따라 증가하였다. 또한 조성분석으로부터 입력비 감소와 증착온도 증가에 따라 Ge몰분율이 감소함을 알 수 있었다. 증착된 S $i_{1-x}$G $e_{x}$ 박막은 450, 475$^{\circ}C$에서 임력비가 0.05일때 비정질 형태로 존재하였으며 그 이외의 실험영역에서는 다결정 형태로 존재하였다. 기존의 다결정 Si 중착온도($600^{\circ}C$이상)와 비교하여 Ge $H_4$을 첨가함으로써 비교적 낮은온도(5$50^{\circ}C$이하) 영역에서 다결정 S $i_{1-x}$G $e_{x}$ 박막을 얻을 수 있었다. 또한 증착층의 표면거칠기를 측정한 결과, 증착온도와 입력비가 증가함에 따라 표면 거칠기( $R_{i}$ )가 증가함을 알 수 있었다.을 알 수 있었다.

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