The inductively coupled plasma(ICP) etching process was selected to fabricate RF Surface Acoustic Wave(SAW) filters and a Pt thin film was sputtered on a $LiTaO_3$ substrate applied to electrode materials to reduce the spurious response and improve the power durability. Steep sidewall pattern was achieved employing $C_4F_8/Ar/Cl_2$ gas chemistry. We investigated an etching mechanism and parameter dependence of the Pt thin film about $C_4F_8$ addition. Sidewall etch angle was about $80^{\circ}$ at the $C_4F_8$ 20% mixing ratio. Fabricated SAW filter is consists of some series and parallel arm SAW resonators which work as impedance elements and show capacitance characteristics at out of the passband. It can be modified for $800{\sim}900\;MHz$ RF filters. External matching circuits were unnecessary.
The $Sr_{0.7}Bi_{2.6}Ta_2O_9$(SBT) thin films are deposited on Pt-coated electrode($Pt/TiO_2/SiO_2/Si$) using a RF magnetron sputtering method. The ferroelectric properties of SBT capacitors with annealing time were studied. In the SEM images, Bi-layered perovskite phase was crystallized at 10min and grains largely grew with annealing tune. SBT thin films are transformed from initial amorphous phase to the fully formed layer-structured perovskite. During the annealing process at $750^{\circ}C$, we found that an fluorite-like stage is formed after 3min. In the XRD pattern, the SBT thin films after 3min annealing time had (105) orientation. The ferroelectric properties of SBT capacitor with annealing time represent a favorable properties at 60 min. The maximum remanent polarization and the coercive electric field with 60 min are $12.40C/cm^2$ and 30kV/cm, respectively. The leakage current density with 60min is $6.81{\times}10^{-10}A/cm^2$.
The gas-liquid counter-current flow limitation (CCFL) is closely related to efficient and safety operation of many equipment in industrial cycle. Air-water countercurrent flow experiments were performed in a tube with diameter of 25 mm to understand the triggering mechanism of CCFL. A parallel electrode probe was utilized to measure film thickness whereby the time domain and frequency domain characteristics of liquid film was obtained. The amplitude of the interface wave is small at low liquid flow rate while it becomes large at high liquid flow rate after being disturbed by the airflow. The spectral characteristic curve shows a peak-shaped distribution. The crest exists between 0 and 10 Hz and the amplitude decreases with the frequency increase. The analysis of visual observation and characteristic of film thickness indicate that two flooding mechanisms were identified at low and high liquid flow rate, respectively. At low liquid flow rate, the interfacial waves upward propagation is responsible for the formation of CCFL onset. While flooding at high liquid flow rate takes place as a direct consequence of the liquid bridging in tube due to the turbulent flow pattern. Moreover, it is believed that there is a transition region between the low and high liquid flow rate.
In general, SOFCs mainly use Ni-YSZ cermet, a mixture of Ni and YSZ, as an anode material, which is stable in a high-temperature reducing atmosphere. However, when SOFCs have operated at a high temperature for a long time, the structural change of Ni occurs and it results in the problem of reducing durability and efficiency. Accordingly, a development of a new anode material that can replace existing nickel and exhibits similar performance is in progress. In this study, SrTiO3, which is a perovskite-based mixed conductor and one of the candidate materials, was used. In order to increase the electrical conduction properties, Y0.08Sr0.92Fe0.3Ti0.7O3, doped with 0.08 mol of Y3+ in Sr-site and 0.03 mol of transition metal Fe3+ in Ti-site, was synthesized and its chemical diffusion coefficient and reaction constant were measured. Its electrical conductivity changes were also observed while changing the oxygen partial pressure at a constant temperature. The performance as a candidate electrode material was verified by predicting the defect area through the electrical conductivity pattern according to the oxygen partial pressure.
Laser-induced plasmonic sintering of metal nanoparticles (NPs) holds significant promise as a technology for producing flexible conducting electrodes. This method offers immediate, straightforward, and scalable manufacturing approaches, eliminating the need for expensive facilities and intricate processes. Nevertheless, the metal NPs come at a high cost due to the intricate synthesis procedures required to ensure long-term reliability in terms of chemical stability and the prevention of NP aggregation. Herein, we induced the self-generation of metal nanoparticles from Ag organometallic ink, and fabricated highly conductive electrodes on flexible substrates through laser-assisted plasmonic annealing. To demonstrate the practicality of the fabricated flexible electrode, it was configured in a mesh pattern, realizing multi-touchable flexible touch screen panel.
The purpose of this study was to observe in vitro chloride corrosion behavior from 5 kinds of amalgam (Caulk spheracal, Amalcap, Dispersalloy, Tytin, Sybralloy) as a function of time after tritruration by using potentiostat. After each amalgam alloy and Hg was triturated as the direction of the manufacturer by the mechanical amalgamator, the triturated mass was inserted the cyrindrical matal mold ($12{\times}10mm$) and was condensed by using routine manner. The specimen was removed from the mold and was stored at room temperature for 1 week, 1 month and 3 months, and standard surface preparation was routine carried out. The 0.9% saline solution was used as electrolyte in pH 6.8~7.0 at $30{\pm}0.5.^{\circ}C$. The open circuit potential was determined after 30 minutes' immersion of 1 week, 1 month and 3 month old specimens. The scan rate was 1 mV/sec and the surface area of amalgam exposed to the solution was $0.65\;Cm^2$ for each specimen. All potentials reported are with respect to a silver / silver chloride electrode (SSE). The following result was obtained. 1. All amalgam specimens became more noble corrosion potentials which represent the improved corrosion resistance as the time elapsed. 2. Three kinds of high copper amalgam always exhibited more noble potential than low copper amalgam at 1 week, 1 month and 3 months. 3. Two kinds of low copper amalgam had the similar polarization curve pattern with 3 current peaks at each time period and current densities associated with these peaks were decreased as aging especially in caulk spherical amalgam. 4. All kinds of high copper amalgam had the similar polarization curve pattern with absence of prominent current peak at each time period, but the polarization curve of D amalgam had one apparent current peak at 1 week.
광화학증착법 (PMOD; photochemical metal-organic deposition)을 이용하여 photoresist 및 etching 공정없이 pattern 된 TiOx resistive switching (RS) 소자를 제작 및 그 특성을 평가하였다. Ti(IV) 2-ethylhexanoate를 출발물질로 사용하였으며 UV 노출시간 10 min에 광화학반응이 완료됨을 FTIR 분석을 통하여 확인하였다. 200 ℃ 이하 저온공정에서 직접패턴 된 20 nm 두께의 비정질 TiOx 박막의 균일한 두께의 패턴형성을 Atomic Force Microscopy를 통하여 확인하였다. 별도의 상형성을 위한 후 열처리 공정 없이 4 ㎛ 선폭의 전극위에 형성된 20 nm 두께의 비정질 TiOx RS 소자는 4V 동작전압에서 on/off ratio 20의 forming-less RS 특성을 나타내었다. Electrochemical migration에 영향을 미치는 grain boundary가 없어 소자간 신뢰성 향상이 기대되며, flexible 기판 또는 저온공정이 요구되는 메모리 소자 공정에서 PMOD 공정이 응용될 수 있음을 보여준다. Selector를 이용하여 crossbar array 구조를 도입할 경우 매우 간단한 구조의 저비용 메모리 소자를 구현할 수 있을 것으로 기대 된다.
Ru black을 고분자 전해질 연료전지용 cathode 촉매로 사용했을 때 초기에는 연료전지 성능이 낮게 나타났으나, 일련의 실험을 거치는 동안 연료전지 성능이 점차 증가되는 것이 관찰되었다. 이는 Ru black의 전기화학적 환원으로 인한 것으로 판단되는대, Ru black 촉매에 외부에서 가해지는 전압과 그 전압을 가하는 시간을 변화시켜 본 결과 0.1V를 30분 이상 가하게 되면 Ru black의 성능 향상이 극대화 되었다. 성능 향상 원인을 확인해 보기 위해 수소 분위기 하에서 환원된 Ru black과 XRD patterns을 비교한 결과, Ru black 촉매가 전기화학적 환원처리를 통해 완전히 metallic Ru으로 전환되었다고 판단하기는 어려웠다. 또한 Ru black을 이용해 전기화학적 환원 처리 전후의 CO stripping voltammetry를 비교해 본 결과, Ru black 중에 일부는 metallic Ru으로 환원되었지만, 일부의 Ru이 반대편 전극으로 제거됨을 확인할 수 있었다. 이 과정 중에 제거된 Ru이 연료전지 성능에 나쁜 영향을 미칠 수 있을 것이라 생각된다. 따라서, 본 연구에서 제시된 Ru black의 전기화학적 처리 과정을 통해서 일부의 Ru은 반대쪽 전극으로 제거되고, 산화된 상태로 존재하는 일부의 Ru이 metallic Ru으로 변화됨으로서 연료전지 성능이 향상된 것으로 사료된다.
5, 10, 15, 20-tetraphenyl(porphyrinato)manganase(III) chloride(Mn(TPP)Cl)를 감응성 물질로 사용하는 염화이온 선택성 전극의 감응 메카니즘을 동일한 막 조성을 갖는 optode의 가시광선 스펙트럼 변화를 관찰하여 연구하였다. 고분자막 내에서 망간포르피린의 리간드인 염화이온은 물분자와 치환되며, 시료 용액의 할로겐족 음이온들은 고분자막으로 들어와 망간포르피린에 치환된 물분자 리간드를 다시 치환함으로써, 그리고 살리실산과 같은 지용성 음이온들은 포르피린 주변의 염화이온들과 이온 교환을 함으로써 감응전위를 발생하는 것으로 보인다. 또한 각 음이온들에 대한 선택성을 결정하는 중요한 요소는 망간포르피린-음이온 리간드의 결합상수와 음이온의 수화엔탈피의 균형에 의하여 결정되는 것임을 확인할 수 있었다.
Objectives : With recent improvements in neuroimaging and the development of third and fourth-generation radiosurgical dose-planning soft ware, came a renewed interest in using radiosurgery for the treatment of movement disorders. Radiosurgery involves no opening of the cranium and no incisions, eliminating both the risk of hemorrhage from passing an electrode to the depths of meningitis from operative infection. It is for these reasons stereotactic radiosurgical treatment of movement disorders has value in a small subgroup of patients. The authors report four cases of Parkinson's disease and one case of dystonia that were treated by Gamma knife. Methods : Radiosurgical nucleus ventralis intermedius thalamotomy using the gamma knife unit was performed to make lesion in two Parkinson's disease patients. A radiation dose of 120Gy was delivered to nucleus using a single 4-mm collimator plug pattern following classic anatomical landmarks. Patients were followed for a median of 10.5 months(range 9-12 months). An independent neurological evaluation of tremor, based on the change in the United Parkinson's Disease Rating Scale tremor score(UPDRS), was correlated with a subjective evaluation. Gamma knife ventrolateral(V.O.P) thalamotomy was performed in one case of dystonia. A central dose of 150Gy was delivered and the patient was followed for 18 months. Gamma knife globus pallidus interna pallidotomy was performed in two Parkinson's disease patients. A radiation dose of 130Gy(range 120-140Gy) was delivered. Patients were followed for a median of 13 months(range 9-14 months). Result : Ventrolateral thalamotomy in dystonia produced regained left hand usage in order to be able to use the telephone. Ventralis intermedius thalamotomy produced an excellent improvement of the tremor in one case, mild improvement of the tremor in the other case of Parkinson's disease. A globus pallidus internalis(GPi) pallidotomy produced improvement of rigidity and dyskinesia : one other showed no change. There were no neurological complications. Conclusion : Gamma Knife thalamotomy considered a safe and effective technique for the treatment of tremor in Parkinson's disease. Although the results from Longer follow-up is not available yet, the short-term results seem to be encouraging.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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