• 제목/요약/키워드: Electrical apparatus

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직접가열방식을 이용한 반도체 제조용 히팅장치 (A heating apparatus for semiconductor manufacturing using direct heating method)

  • 정순원;권오준;구경완
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2008년도 제39회 하계학술대회
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    • pp.2218-2219
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    • 2008
  • 본 연구는 반도체 기판 히팅 장치의 새로운 구조에 관한 것으로 기판의 바닥면에 밀착된 가열 플레이트층의 직접가열 구조에 따른 빠른 열 응답성 및 열손실 최소화를 이룰 수 있다. 또한 가열 플레이트층에 내장된 히팅 수단인 시즈히터의 접촉면적을 늘려 가열 유효면적 증가와 같은 효과를 갖는다. 이를 위해 감광막이 코팅된 기판과, 상기 기판의 바닥면에 밀착되는 가열 플레이트층, 절연 및 열손실을 최소화하기 위해 상기 가열 플레이트층의 바닥면에 밀착되는 운모층, 상기 운모층의 하부에 밀착되어 바닥 플레이트층으로 이루어지되, 상기 가열 플레이트 층은 바닥면 전체에 걸쳐 연속되는 홈부를 형성하고, 상기 홈부로는 기판을 가열하기 위한 시즈히터가 삽입되어 구성된다. 새로운 기판 히팅 구조를 사용하여 시간 경과에 따른 가열 플레이트의 온도 변화를 확인 한 결과, 간접가열방식인 기존 방식에 비해 약 40 %의 전력 절감효과가 있는 것으로 확인 되었다.

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WEB 기반 변전설비 원격 감시/진단 시스템 개발 (Development of WEB Based Remote Monitoring and Diagnostic System for Electric Power Transmission Apparatus)

  • 최영준;양항준;최용범;김성식;김정배
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2002년도 추계학술대회 논문집 전력기술부문
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    • pp.183-185
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    • 2002
  • 본 논문에서는 안정적인 변전소의 운영을 위해 최근 개발된 WEB 기반의 초고압 변전설비 원격감시 및 진단 시스템을 소개한다 WEB 기반의 초고압 변전설비 원격 감시 및 진단 시스템은 154kV급 이상의 초고압 변전소에 설치되어 있는 주변압기(MTR)와 가스절연개폐기(GIS)에 대한 감시 및 진단 데이터를 취득하는 Local System과 이러한 데이터를 전송 받아 감시 및 진단 기능과 WEB 서비스를 수행하는 Main Control Center로 구분된다. 실적용 사례로 최근 산업체의 몇 개 공장을 대상으로 시범 적응한 154kV급 변전소의 WEB 기반 감시 및 진단 시스템을 소개한다. 나아가 변전기기를 제어하기 위한 시스템과의 연계 방법에 대해 언급하고 있다.

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GIS내 이물진단을 위한 AE센서 적용기술 (Development of application technology to diagnose particles with the acoustic emission sensors in GIS)

  • 김광화;최재구;김민규;선종호;김익수;윤진열
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.1742-1744
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    • 2002
  • This paper described the outputs of acoustic sensors due to the vibration of particles in the mock up GIS. We used the two type of acoustic sensors which had 150kHz resonant frequency and 60kHz resonant frequency respectively. In the experiment of the mock up GIS, we paid attention to the relationship between outputs of sensors and particles and we found that the ratios of outputs related with the lengths of particles. We developed the apparatus including the above diagnosis algorithm for GIS.

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전압변동 및 순간정전에 따른 무전극 형광등 시스템의 광속변화에 대한 연구 (The research for the luminous flux variation of electrodeless fluorescent lamp system as a voltage drop and short interruption)

  • 신상욱;김현숙;이세현;황명근
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2002년도 추계학술대회 논문집 전기기기 및 에너지변환시스템부문
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    • pp.207-210
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    • 2002
  • In this paper, We have measured the luminous flux variation of electrodeless fluorescent lamp system reducing a power source to 70% and applying a short interruption caused by the power failure. So we can understood that the protective device for apparatus of power sources is important thing to control electrodeless fluorescent lamp system.

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온도변화에 따른 저항값을 고려한 전력기기의 열해석 (Thermal Analysis of Power Apparatus Considering Resistance on Temperature Variation)

  • 김승욱;한성진;김중경
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2002년도 춘계학술대회 논문집 전기기기 및 에너지변환시스템부문
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    • pp.52-54
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    • 2002
  • 최근 초고압 전력기기에 대한 많은 연구가 활발히 진행되고 있음에도 불구하고 통전용량에 크게 영향을 미치는 열해석에 대한 연구가 많이 부족한 실정이다. 본 논문에서는 초고압전력기기인 GIS(Gas Insulated Switchgear)의 모선에 대한 열해석을 다루었다. 해석방법은 유한요소법을 이용하여 온도상승을 예측하였다. 유한요소법은 3각형 등의 임의의 형상을 요소로서 채용할 수 있으므로 3상 모선과 같이 복잡한 형상도 표현할 수 있다. 열전달계수는 형상, 유동조건, 유체의 종류를 고려한 상관식을 이용하여 해석적으로 정확히 계산하였다. 열해석에 있어 자계해석을 통한 도체 및 탱크의 손실값 산정이 선행되어야 하는데, 이 손실값이 온도상승의 원인이 되므로 정확히 계산하여야 한다. 손실의 원인이 되는 도체 및 탱크의 저항은 온도가 상승함에 따라 비선형으로 변화하는데, 이것을 고려하여 반복적으로 계산함으로서 해석의 정확성을 높이고자 하였다. 실제 모델에 대한 온도상승 실험치와 본 논문에서 제시한 방법으로 해석한 계산치와의 비교를 통해 타당성을 입증하였다.

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와전류(eddy-current)방법에 의한 비접촉 전기비저항 측정기술 개발 (The measurement for contactless eddy-current conductivity on Si wafer)

  • 박진습;유권상;류제천;유광민
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1999년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C
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    • pp.991-993
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    • 1999
  • The method of measurement for contactless eddy-current conductivity using magnetic dipole field theory was suggested by M.C Chen[1], which calculate the eddy-current caused by exciting coil with Faraday's induction law. In this work, we have developed the apparatus for contactless measurement of conductivity or resistivity with the dipole field theory. The resistivity can be measured from several to a dozen $m{\Omega}{\cdot}cm$ range within maximum 30% error. At the high resistivity range above $100{\Omega}{\cdot}cm$, the standard deviation of measurement was very large as the induced voltage of sensing coil is small so it was difficult to measure the value precisely.

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IMPROVEMENT OF DISTRIBUTION OF COERCIVITY IN CO-CR FILMS DEPOSSSITED BY FACING TARGETS SPUTTERING

  • Takayama, Seiryu;Nakagawa, Shigeki;Kim, Kyung-Hwan;Naoe, Masahiko
    • 한국표면공학회지
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    • 제29권6호
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    • pp.644-647
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    • 1996
  • The distribution of coercivity in the thickness direction were investigated by using Kerr hysteresis loop tracer for the Co-Cr films deposited by Facing Targets Sputtering apparatus. It was found that the difference between the coercivities of surface layer and initial growth layer H$_c$$\bot$(S)-H$_c$$\bot$(I) correlated strongly with $\Delta$H$_o$, shich represents the degree of distribution of coercivity. Furthermore, the Cr content was varied in order to improve the coercivity of imitial growth layer H$_c$$\bot$(I) and distribution of coercivity. H$_c$$\bot$(I) took a maximum value of 750 Oe and the distribution of coercivity became sharper at the Cr content of 25at. %.

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저온 플라즈마 장치를 이용한 디젤기관의 유해배출물질 저감에 관한 실험적 연구 (An Experimental Study on the Reduction of Diesel Emission Using Low Temperature Plasma Apparatus)

  • 김홍석;원준희;정태용
    • 한국자동차공학회논문집
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    • 제8권5호
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    • pp.12-19
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    • 2000
  • The increasing use of vehicles is causing air-pollution problems. Diesel vehicles are preferred to gasoline vehicles, because the diesel vehicles are superior to gasoline vehicles in terms of fuel consumption, durability, power and efficiency. But the emission reduction technologies for diesel vehicle are not developed well like those for gasoline vehicles. Moreover, the NOx and smoke emitted from diesel vehicle are recognized as a main source of the air-pollution in the urban areas. The emission reduction devices have been installed for each of the emission gas components. Using plasma(i.e. electrical energy)only, the emission gas was found to be reduced. The present paper investigate the effects of a low temperature plasma device in engine performance as well as in emission reduction with the change of the applied voltage and the loading rate of the engine.

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전류형 PWM 인버터에 의한 고조파 저감에 관한 연구 (A Study on the Reduction of harmonics by Current type PWM - Inverter)

  • 이계호;장영학;양승학;정영극
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1987년도 정기총회 및 창립40주년기념 학술대회 학회본부
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    • pp.359-361
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    • 1987
  • It is known that the reactive component of AC power in the Power system gives no energy to outside and causes enlargement of power apparatus, voltage fluctuation and unstability of power system. The power conversion system and control system which are composed of power semiconductor devices such as Thyrisor, transistor, GTO and so on have been appeared as new sources of Harmonics. So the reduction of harmonics in power semiconductor system is one of impending problems on the point of energy conservation and improvement of power factor. This paper treates the fundamental review of the harmonics reduction by Current type PWM-Inverter. This Inverter-detects not only the fundamental wave but also that of all harmonics created in the power semiconductor system and is scheduled to control by sampled value.

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광 센서를 이용한 교육용 시스템 개발과 제어 (Development of Education System Using Photo sensor and Control)

  • 박성욱;이득기;서영택
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2001년도 학술대회 논문집 전문대학교육위원
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    • pp.30-32
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    • 2001
  • Thomson's jumping ring was first exhibited by Elihu Thomson in 1887 and modified to include the floating variation by John A. Fleming in 1890. This vivid demonstration of electromagnetic induction is still used in physics classrooms to illustrate Faraday's and Lenz's laws and is the basis for linear actuators for sorvo-mechanical purpose as well as induction heating and rail guns. The jumping ring apparatus of the type described in this study is used to demonstrate and educate the effects of electromagnetic induction. To verify control algorithm, a sensor system and a data control/measurement system is required. The sensor system consist of photo-interrupted and encode circuit which is designed to take voltage according to the position of ring.

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