$Al_2O_3/SiO_2$ , $HfO_2/SiO_2$ 적층 감지막의 두께 최적화를 통한 Electrolyte Insulator Semiconductor 소자의 pH 감지감도특성 비교
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- Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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- 2012.02a
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- pp.448-448
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- 2012