• Title/Summary/Keyword: Distance measurement

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비초점 정밀 계측 방식에 의한 새로운 광학 프로브를 이용한 반도체 웨이퍼의 삼차원 미소형상 측정 기술 (A New Method of Noncontact Measurement for 3D Microtopography in Semiconductor Wafer Implementing a New Optical Probe based on the Precision Defocus Measurement)

  • 박희재;안우정
    • 한국정밀공학회지
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    • 제17권1호
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    • pp.129-137
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    • 2000
  • In this paper, a new method of noncontact measurement has been developed for a 3 dimensional topography in semiconductor wafer, implementing a new optical probe based on the precision defocus measurement. The developed technique consists of the new optical probe, precision stages, and the measurement/control system. The basic principle of the technique is to use the reflected slit beam from the specimen surface, and to measure the deviation of the specimen surface. The defocusing distance can be measured by the reflected slit beam, where the defocused image is measured by the proposed optical probe, giving very high resolution. The distance measuring formula has been proposed for the developed probe, using the laws of geometric optics. The precision calibration technique has been applied, giving about 10 nanometer resolution and 72 nanometer of four sigma uncertainty. In order to quantitize the micro pattern in the specimen surface, some efficient analysis algorithms have been developed to analyse the 3D topography pattern and some parameters of the surface. The developed system has been successfully applied to measure the wafer surface, demonstrating the line scanning feature and excellent 3 dimensional measurement capability.

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개인 무선네트워크에서 CSS 방식과 RSSI 를 이용한 거리측정에 관한 연구 (A Study on Distance Measurement using CSS and RSSI in WPAN)

  • 권대길;조진웅;임승옥;이장연;이현석;원윤재
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
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    • 대한전자공학회 2008년도 하계종합학술대회
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    • pp.321-322
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    • 2008
  • CSS(Chirp Spread Spectrum) technology adopt SDS-TWR algorithms of TOA(Time of Arrival) using velocity of specific medium and ToF(Time of Flight) to measure a distance, but this method always has a regular error on distance regardless of a real distance, as a result, in far distance, it decrease a error on distance relatively, but in near distance, it increase a error on distance relatively. in this paper, we propose and test new method measuring a distance more precisely in near distance using CSS and RSSI

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한국인의 치례궁에 관한 연구 (A STUDY ON THE DENTAL ARCH OF KOREAN ADULTS)

  • 서정훈
    • 대한치과의사협회지
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    • 제13권4호
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    • pp.329-334
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    • 1975
  • In 190 dental casts of Korean adults, 78 males and 112 females, the author measured cuspal distances beween the lingual cusps of the samed named teeth. And following conclusions were obtained : 1. In maxillary dental arch, the smallest measurement was revealed in the interpremolar distance in both sexes. 2. In mandibular dental arch, the intercanine distance was the smallest, and then measurements were increased in molar region. 3. In both sexes the intermolar distance was smaller than the central incisor to first molar distance.

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관성측정장치를 이용한 보행거리 측정 시스템 개발 (Development of Gait Distance Measurement System Based on Inertial Measurement Units)

  • 이기혁;강신일;조재성;임도형;이종실;김인영
    • 재활복지공학회논문지
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    • 제9권2호
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    • pp.161-168
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    • 2015
  • 본 논문은 자체 개발한 관성측정장치의 가속도, 각속도, 지자기계 데이터를 이용하여 보행거리를 측정하는 시스템 개발에 관한 것이다. 관성센서들의 오프셋 및 이득 오차를 최소화하기 위하여 9축의 자유도를 갖는 지그를 제작하였으며, 이를 이용하여 캘리브레이션을 수행하였다. 보행거리의 정확한 측정을 위하여, 기울기 하강법을 이용하여 가속도계의 중력성분 제거 및 보행패턴 분석을 통한 드리프트 성분을 제거하였다. 최종적으로 보정된 가속도 데이터의 이중적분을 통하여 보행거리를 측정하였다. 시스템의 성능 평가를 위하여, 실내 직선 10m 직선 보행에 대하여 캘리브레이션 전, 후 오차 개선 비율를 비교하였으며, 간단한 보행에 대해 Vicon과의 비교 실험을 수행하였다. 직선 보행에 대해서는 x, y, z축 각각에 대하여 $31.4{\pm}14.38%$(mean${\pm}$S.D.), $78.64{\pm}10.84%$$69.71{\pm}26.25%$ 개선이 되었음을 확인하였으며, Vicon과의 비교 실험 결과 x, y, z축 각각에 대하여 0.1m, 0.16m, 0.12m의 오차를 얻을 수 있었다.

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비동기식 FDD에서 Two-way ToA를 통한 상대거리 측정에 관한 연구 (A Study on relative distance estimation for asynchronous FDD using Two-way ToA)

  • 송영환;박재수;신영준;윤창배
    • 한국전자통신학회논문지
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    • 제11권12호
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    • pp.1175-1186
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    • 2016
  • 무선 통신 환경에서 위치기반서비스를 이용하기 위해서는 상대거리 측정기술이 중요하다. 본 논문에서는 비동기식 주파수 다중 분할(: FDD) 방식을 사용하는 통신환경에서 위치측정을 위한 내 외부 인프라 사용이 불가할 때, 물리계층의 프레임 구조를 활용한 상대거리 측정을 위한 방안을 제시한다. 제안된 방식은 연속적인 거리측정이 가능하며, 실험을 통해 평균 10m 이하의 측정 정확도를 확인하였다.

객체의 순환적 위치속성을 고려한 최대근접질의의 처리방법 (The Processing Method of Nearest Neighbor Queries Considering a Circular Location Property of Object)

  • 선휘준
    • 한국공간정보시스템학회 논문지
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    • 제11권4호
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    • pp.85-88
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    • 2009
  • 멀티미디어 시스템에서 최대근접질의는 매우 빈번히 발생하며, 다른 유형의 공간질의에 비하여 처리비용이 많이 요구된다. 최대근접질의의 처리비용을 최적화하기 위해서는 색인에서 검색되는 노드의 수와 연산시간을 최소화할 수 있는 검색거리 측도가 필요하다. 또한 최대근접질의에 따른 검색 노드들을 정확히 선택하기 위해서는 객체들의 순환적 위치 속성을 고려해야 한다. 본 논문은 순환도메인을 갖는 검색공간에서 객체의 순환적 위치속성을 고려한 최대근접질의 처리방법을 제안하고 그 특성을 보인다. 제안한 방법은 최대근접질의의 처리비용을 최적화하기 위한 검색거리 측도인 순환최소거리와 순환최적거리를 사용한다.

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복부초음파를 이용한 상완혈(上脘穴)-췌장 수직거리 측정시스템의 재현성 반복성 평가실험-A Pilot Study- (Gage R&R Study on Abdominal Sonography for Measuring Distance from Sangwan (CV13) to Pancreas - A Pilot Study -)

  • 남동현
    • 대한한의진단학회지
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    • 제14권2호
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    • pp.75-84
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    • 2010
  • Objectives: The objective of the current study is to determine whether an ultrasound device system is adequate for measuring distance from Sangwan (CV13) to pancreas. Methods: We recruited 3 healthy young male subjects and 2 sonographers. The each sonographer measured vertical shortest distance from CV13 to pancreas with a ultrasound device three times in random order. Because the total variation could be divided into repeatability, reproducibility and subject-to-subject variation in Gage R&R method, we compared the sources of variation associated with the measurement system with an analysis of variance model. Results & Conclusions: Number of distinct categories is calculated on the basis of standard deviation of subject-to-subject divided by standard deviation of total Gage R&R. If the number of categories is five or more, the measurement system may be acceptable for the analysis of the process. The number of distinct categories of the ultrasound device system for measuring distance from CV13 to pancreas was 6.29. So we concluded that repeatability and reproducibility of the ultrasound device system for measuring distance from CV13 to pancreas was acceptable.

거리측정의 오차비율 오프셋을 적용한 보정알고리즘 연구 (A Study on the Compensation Algorithm based on Error Rate Offset of Distance Measurement)

  • 최창용;이동명
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제11권3호
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    • pp.914-919
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    • 2010
  • CSS(Chirp Spread Spectrum)기반에서 SDS-TWR(Symmetric Double Side-Two-Way Ranging)의 거리측정 정확도는 실험에 의하면 전파환경 간섭으로 인해 일부 레인징 구간에서 매우 큰 오차가 발생함을 확인하였다. 본 논문에서는 이러한 문제를 해결하기 위해 레인징 오차를 감소시킬 수 있는 측정거리의 오차비율 오프셋을 적용한 SDS-TWR의 보정 알고리즘($CA_d$)을 제안하였다. $CA_d$는 두 노드를 LOS(Line Of Sight)환경에서 1~25m까지 1m 간격으로 SDS-TWR으로 거리 값을 측정하여, 거리보정에 필요한 각 파라미터의 값을 계산한 후 이를 사용하여 거리값을 보정한다. 제안한 보정 알고리즘의 성능분석 결과, $CA_d$는 SDS-TWR에 비해 오차가 평균 95cm, 최대 오차가 526cm 감소하였고, 는 25m에서 약 60cm의 오차가 발생함을 확인하였다. 이러한 결과를 볼 때 제안한 $CA_d$는 LOS 환경에서 SDS-TWR에 비해 매우 정밀한 정확도를 가진 것으로 판단된다.

Capturing Distance Parameters Using a Laser Sensor in a Stereoscopic 3D Camera Rig System

  • Chung, Wan-Young;Ilham, Julian;Kim, Jong-Jin
    • 센서학회지
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    • 제22권6호
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    • pp.387-392
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    • 2013
  • Camera rigs for shooting 3D video are classified as manual, motorized, or fully automatic. Even in an automatic camera rig, the process of Stereoscopic 3D (S3D) video capture is very complex and time-consuming. One of the key time-consuming operations is capturing the distance parameters, which are near distance, far distance, and convergence distance. Traditionally these distances are measured by tape measure or triangular indirect measurement methods. These two methods consume a long time for every scene in shot. In our study, a compact laser distance sensing system with long range distance sensitivity is developed. The system is small enough to be installed on top of a camera and the measuring accuracy is within 2% even at a range of 50 m. The shooting time of an automatic camera rig equipped with the laser distance sensing system can be reduced significantly to less than a minute.