Ru/$RuO_2$ 금속/산화물 이중전극 위에 증착한 PZT 박막의 전기적 특성
(Electrical Properties of PZT Thin Films Deposited on the Ru/$RuO_2$ Metal/Oxide Hybrid Electrodes)
-
- 한국전기전자재료학회논문지
- /
- 제14권4호
- /
- pp.281-288
- /
- 2001