For advanced TFT-LCD manufacturing processes, dry etching of thin-film layers(a-Si, $SiN_x$, SID & gate electrodes, ITO etc.) is increasingly preferred instead of conventional wet etching processes. To dry etch Al gate electrode which is advantageous for reducing propagation delay time of scan signals, high etch rate, slope angle control, and etch uniformity are required. For the Al gate electrode, some metals such as Ti and Nd are added in Al to prevent hillocks during post-annealing processes in addition to gaining low-resistivity($<10u{\Omega}{\cdot}cm$), high performance to heat tolerance and corrosion tolerance of Al thin films. In the case of AI-Nd alloy films, however, low etch rate and poor selectivity over photoresist are remained as a problem. In this study, to enhance the etch rates together with etch uniformity of AI-Nd alloys, magnetized inductively coupled plasma(MICP) have been used instead of conventional ICP and the effects of various magnets and processes conditions have been studied. MICP was consisted of fourteen pairs of permanent magnets arranged along the inside of chamber wall and also a Helmholtz type axial electromagnets was located outside the chamber. Gas combinations of $Cl_2,{\;}BCl_3$, and HBr were used with pressures between 5mTorr and 30mTorr, rf-bias voltages from -50Vto -200V, and inductive powers from 400W to 800W. In the case of $Cl_2/BCl_3$ plasma chemistry, the etch rate of AI-Nd films and etch selectivity over photoresist increased with $BCl_3$ rich etch chemistries for both with and without the magnets. The highest etch rate of $1,000{\AA}/min$, however, could be obtained with the magnets(both the multi-dipole magnets and the electromagnets). Under an optimized electromagnetic strength, etch uniformity of less than 5% also could be obtained under the above conditions.
액체산소 및 탄화수소를 사용하는 연소기의 고주파 연소불안정을 해석하기 위해 단순모델로서 Crocco의 $n-{\tau}$ 시간지연 연소모델을 적용하고, 음향과 커플된 연소기 내 유동에 대해 선형해석을 수행하였다. 변수분리를 통해 편미분 포텐셜함수 식을 원통좌표계 미분방정식으로 만들고, 연소기의 접선방향 공진모드에 대한 고유 값을 계산하였다. 분사면 및 노즐입구를 경계조건으로 적용하여 미분식의 해를 구했다. 시스템의 안정성 판정을 위해 전달함수를 주파수 해석 하였으며, 관심 영역 주파수인 1T 모드 주변 주파수에서 시스템 게인 및 위상각으로 안정성 여유를 평가하였다. 또한 1T 모드 안정성 향상을 위해 배플 길이 및 형상에 대한 영향을 평가하였다.
In this study, theoretical super screen vibration analysis has been carried out to predict the dynamic characteristics of interactive waste particles. In order to approach these problems, it is necessary to have a fundamental understanding the screening process and the process of both the remaining and the passed material on a screen with several interacting screen planes based on Soldinger(1999) was discussed. Here, the vibrating screen is composed of three assemblies such as screen, wastes guide, and supported screen as shown in Fig. 1. This model is regarded vibrator as the system of screen fixed tilt plates. Then materials(or particles) of different size is to be separated by using the eccentric vibrator and classifying tilt plates. As well moisturized construction wastes is more efficient to separate than moisture-less it. In processing separate mechanism, the more materials is light, the more staying time is long. Thus much lighter construction wastes(wood, Styrofoam, etc) and heavier materials are separated by staying time delay in a super screen. The design results, separation screen were able to know that small and larger particles are conspicuous difference each motion character according to trajectory particles, and small particles raise the probability in classifying tilt plates.
본 연구는 골프 기술 가운데 하나인 페이드샷에 대하여 3차원 영상분석을 시도하여 비교분석한 연구이다. 연구 대상은 남자 프로 골프선수 3명을 대상으로 하였으며 7번 아이언으로 국한하여 실험을 실시하였다. 이때 운동학적 주요 변인들을 산출하여 그 변인들에 대한 특성을 파악하고 지도자와 선수들에게 자료를 제공함으로써 효과적인 지도 방법 및 원리를 제공하는데 목적을 두었다. 그 결과 클럽헤드의 궤도는 아웃사이드에서 인사이드의 형태로 나타나 클럽헤드의 궤적이 이상적인 패이드 샷에 영향을 미치는 것으로 판단된다. 신체중심은 후방으로의 움직임이 나타날 때 실패의 가능성이 높은 것으로 나타나 전방으로의 중심이동이 성공요인에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 판단된다. 코킹은 임팩트 후 자연스럽게 팔로스로우를 하여 손목을 풀어 주었으며 움직임의 순서에서 어깨 동작이 먼저 이루어지고 허리가 따라가는 형태로 나타났다. 고관절 각속도는 지연히팅으로 인한 자연스러운 페이드샷이 이루어지는 형태와 일치되었으며 클럽헤드의 속도 또한 임팩트시 코킹이 풀리면서 빠른 것으로 나타났다.
본 논문에서는 안테나 배열을 사용하는 통신시스템을 위한 일반화된 벡터 채널 모델을 제안한다. 제안된 채널 모델에서는 실제적인 채널에서 발생할 수 있는 경로 감쇄, 전파 음영(shadowing)의 시간-공간적인 변화, 다중경로 페이딩, 도플러현상, 국지적인 산란체(scatterer)들의 공간적인 분포와 지배적인 원격 산란체들에 의한 지연 확산을 고려한다. 실제적인 채널 환경을 반영하기 위하여 이산 경로 모델을 사용하며, 각각의 이산 경로 신호는 독립적인 전파 음영과 페이딩, 도플러 영향을 받으며, 서로 다른 입사각을 가지고 안테나 배열에 수신된다. 제안된 모델을 바탕으로 수신되는 신호들에 대한 시간-공간적인 상관값에 대한 관계식을 유도하고, 공간 채널 시뮬레이터를 구성한다. 이론적인 상관값과 시뮬레이터를 통하여 얻은 결과를 비교함으로써 시뮬레이터의 유효성을 검증하고, 구성된 시뮬레이터를 사용하여 다양한 채널 환경하에서의 채널 특성의 변화를 분석한다.
Although continuous passenger injuries and physical damages are repeated due to the unexpected aviation turbulence encountered during operations, there is still exist the limitation for preventing recurrence of similar events because the lack of real-time information and delay in technological developments regarding various operating conditions and variable weather phenomena. The purpose of this study is to compare and analyze the meteorological data of the aviation turbulence occurred and actual flight data extracted from the Quick Access Recorder(QAR) to provide some precursors that the pilot can identify aviation turbulence early by referring thru the flight instrumentation indications. The case applied for this study was recent event, a scheduled flight from Incheon Airport, Korea to Narita Airport, Japan that suddenly encountered turbulence at an altitude of approximately 14,000 feet during approach. According to the Korea Meteorological Administration(KMA)'s Regional Data Assessment and Prediction System(RDAPS) data, it was observed that the strong amount of vorticity in the rear area of jet stream, which existed near Mount Fuji at that time. The QAR data analysis shows significant changes in the aircraft's parameters such as Pitch and Roll angle, Static Air Temperature(SAT), and wind speed and direction in tens of seconds to minutes before encounter the turbulence. If the accumulate reliability of the data in addition and verification of various parameters with continuous analysis of additional cases, it can be the precursors for the pilot's effective and pre-emptive action and conservative prevention measures against aviation turbulence to reduce subsequent passenger injuries in the aviation operations.
GNSS (global navigation satellite system)측정치 보정 후에 남아 있는 전리층 잔류 오차에 대해 시뮬레이션 기반의 영향분석(오차 및 서비스 영역 분석 등)을 수행하기 위해서는 위해서는 전리층 잔류 오차에 대한 통계적 모델링이 필수적으로 선행되어야 한다. 본 논문에서는 국내 GNSS 측정치 및 Klobuchar 모델을 활용하여 국내 정상상태 전리층 환경에서의 전리층 잔류 오차에 대한 보수적인 표준편차의 해석적 모델을 도출하였다. 다양한 전리층 활동 상태를 포함하기 위해 미(美) CAT I (category I) LAAS (local-area augmentation system) 전리층 통계치 산출일 중 ROTI (rate-of-tec index) 지수를 활용하여 전리층 활동이 비정상적인 날짜는 제외하고 GNSS 분석 데이터를 구성하였다. GNSS 데이터 처리를 통해 전리층 잔류 오차를 계산하고, 잔류 오차 거동의 특성을 근거하여 지역 시 및 위성 앙각에 따라 통계치를 산출하였다. 마지막으로 전리층 잔류 오차의 확률적 거동을 보수적으로 포함할 수 있는 표준편차값에 대한 해석적 모델을 감쇠 지수 접합을 통해 도출하였다.
부산수산대학실습선 '새바다'(GT: 2,275.7ton)에 관한 조종성능을 구명하기 위하여, 실선에 의한 Z 조종시험을 한 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. '새바다'호의 $10^{\circ}Z$시험에서의 선회성지수 K'값은 1.052, 추종성지수 T' 값은 0.815, $20^{\circ}Z$ 시험에서의 K'값은 0.925, T'값은 0.502, $30^{\circ}Z$ 시험에서의 K' 값은 0.877, T' 값은 0.441로서, 소타각사용시의 조종성능과 대타각사용시의 조종성을 비교하여 보면, 대타각을 사용할 때 보다 추종성을 좋아지나 선회성을 낮아진다는 것을 알 수 있다. 2. '새바다'호의 $10^{\circ}Z$ 시험에서의 선회성지수 K' 값과 추종성지수 T' 값은 어선의 표준식에 가까움으로 어선으로서 양호한 조종성능을 가지고 있다고 볼 수 있었다. 다만 길이와 크기에 비하여 K'값이 약간 적은 수치이며, $10^{\circ}Z,\; 20^{\circ}Z,\;20^{\circ}Z$ 시험에서의 회두각곡선의 overshoot angle이 약간 크므로 추종성은 좋으나 선회성은 낮은 편임을 알 수 있었다. 3. '새바다'호의 조종성능은 추종성에 비하여 선회성이 낮으므로 선회경도 크게 되며, 또한 대각도전타시에 비하여 선회성이 낮아지므로, 충돌이나 좌초를 회피하기 위하여 대각도전타를 할 경우에는 안전한게 접근거리를 크게 두어 한기전타하는 등 조선상주의를 요한다. 4. '새바다'호의 $10^{\circ}$시험에서의 1조작간항주거리하는 배 길이의 약 8.6배로서 일반선박의 조종성표준거리 $5\~11$배의 이내가 되므로 '새바다'호의 조종성능은 총합적으로 양호하다는 것을 알 수 있었다.
Objects : Because of the nonspecific nature of symptoms in tuberculous spondylitis, a delay in the diagnosis can result in progressive neurologic deficits. The authors evaluate the clinical and the radiological results of the 10 cases of surgically treated tuberculous spondylitis. Clinical materials & Methods : We retrospectively analyzed the medical records of 10 patients with tuberculous spondylitis who were treated between February 1996 and March 2000. Six patients were female, and four were male. Mean age was 43 years old, and mean follow-up period was 20.5 months. All patients were treated with 12 months of antituberculous medication postoperatively, and were followed by complete blood count, ESR, spine X-ray and MRI. Results : The lumbar spine was involved in 5 patients, the thoracic in 4, and the thoracolumbar in one. The infected vertebral bodies were 2.8 in average. The associated lesions were pulmonary tuberculosis in 3 cases, and renal tuberculosis in one. Five patients were treated by anterior debridement and fusion with bone graft using anterior instrumentation, 2 with anterior debridement and fusion with bone graft(Hong Kong procedure only), 1 with Hong Kong procedure with posterior spinal instrumentation, and 2 were managed with posterior debridement and posterior spinal instrumentation. All patients improved after operation, and the average kyphotic angle decreased postoperatively. Postoperatively, one patient had a fistula at the operative site. Conclusion : The debridement and minimal level fusion of motion segment with instrument fixation is one of surgical option for tuberculous spondyltis to preserve the spine motion segment as much as possible. Spine instability and kyphosis were prevented by anterior and posterior spinal instrumentation. But, large number of cases and longer period follow-up study in future will be needed to confirm the long term results.
본 논문에서는 버스안전을 위한 다중 HD 카메라 기반의 IP통신망 AVB(Audio Video Bridge) 이더넷 케이블을 연동한 FPGA(Xilinx Zynq702)로 멀티뷰어 플랫폼을 제안하였다. 이러한 AVB(IEEE802.1BA) 시스템은 차량용 네트워크에서 다중 HD 비디오와 오디오 디지털 신호의 실시간 전송이 가능하다. 제안한 멀티뷰어 플랫폼은 기존 이더넷 케이블 1Gbps전송과 2-선 100Mbps 스트림 전송방식을 통해 4개의 초광각 HD 카메라로 부터 H.264 비디오 신호를 다중화하기 위한 지연속도의 개선을 위해 FPGA로 설계하였다. 아울러, 차량용 HD 동영상 전송망에서 시간지연을 최소화하기 위한 AVB 플랫폼은 Zynq 702기반의 H.264 AVC 저지연 코덱의 설계 방안을 제안하였다. 이러한 H.264 AVC 코덱의 부호화/복호화 결과확인을 위해 JM 모델을 참조한 PSNR(Peak Signal-to-noise-ratio)을 분석하였다. 설계한 Zynq 702기반의 H.264 AVC CODEC은 다중 HD 카메라의 다중뷰어 동영상 손실 압축에서 화질 손실에 대한 PSNR은 이론 값과 유사한 HW 결과 값을 확인하였다. 이로서 제안한 AVB기반의 다중 HD 카메라 연동형 멀티뷰어 플랫폼은 H.264 AVC CODEC의 저지연 특성이 차량용 특성에 만족함으로서 버스안전을 위한 주변의 오디오와 비디오 영상감시가 가능할 것이다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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