Development of a Noncontacting 6 DOF Micro-Postioner Driven by Magnetic Force-Design, Modeling and Control- (자기력을 이용한 비접촉 6자유도 미소위치결정 기구의 개발-설계, 모델링 및 제어-)
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- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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- v.20 no.4
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- pp.1164-1176
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- 1996