A Study on Energy Recovery Circuit in Sputtering Plasma Power supply for arc Discharge Prevention (스퍼터용 플라즈마 전원장치의 아크방지를 위한 에너지 회생회로에 대한 연구)
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- The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers P
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- v.61 no.3
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- pp.116-121
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- 2012