Mask manufacturing is a high COC and COO process in developing of semiconductor devices because of mask production tool with high resolution. Direct writing has been thought to be the one of the patterning method to cope with development or small-lot production of the device. This study consists two categories. One is the additional process of the direct and maskless patterning generation using SLA for easy and convenient application and the other is a removal process using wet-etching process. In this study, cured status of epoxy pattern is most important parameter because of the beer-lambert law according to the diffusion of UV light. In order to improve the contact force between patterns and substrate, prime process was performed and to remove the semi-cured resin which makes a bad effects to the pattern, spin cleaning process using TPM was also performed. At a removal process, contact force between photo-curable resin as an etching mask and Si wafer is important parameter.
본 연구에서는 초소수성 실리카 에어로겔을 이용하여 단열 성능을 갖는 투명 필름용 유/무기 복합 코팅물질을 제조하였다. 바인더 물질로 사용된 자외선 경화형 우레탄 아크릴레이트 수지와 에어로겔과의 상용성을 위해 계면활성제(Brij 56)를 이용하여 에어로겔의 표면을 개질하였다. 개질된 에어로겔을 고분자 수지와 복합화한 코팅 용액을 폴리카보네이트 기지재에 코팅한 후 자외선경화를 통해 코팅필름을 제조하였다. 에어로겔이 10 vol% 함량으로 첨가되었을 때, 코팅필름의 단열성능은 측정된 열전도도 기준으로 순수 기지재 대비 28% 정도로 향상되었다. 또한, 코팅필름의 광투과율은 에어로겔이 50 vol%로 과량 첨가된 경우에도 80% 이상 높은 수준을 유지하였으며, 우수한 접착성(5B) 및 연필 경도(4H)를 보여주었다.
Micro features on the surface are well-known to have significant effects on optical or mechanical properties such as the optical interference, reflectance at the surface, contact angle, interfacial friction, etc. These surface micro features are increasingly employed to enhance the functionality of the applications in various application areas such as optical components for LCD or solar panel. Diverse surface features have been proposed and some of them are showing excellent efficiency or functionality, especially in optical applications. Most applications employing the micro features need manufacturing process for mass production and the injection molding and roll-to-roll forming, which are typical processes for mass production adopting polymeric materials, may be also preferred for micro patterned plastic product. Since the functionality or efficiency of the surface structures generally depends on the shape and the size of the structure itself or the array of the structures on the surface, it would be very important to replicate the features very precisely as being designed during the molding the micro pattern applications. In this paper, a series of research activities is introduced for roll-to-roll forming of micro patterned film including filling of patterns with UV curable resin, demolding of surface structures from the roll tool, control of surface energy and cure shrinkage of resin and dispose time and intensity of the UV light for curing of UV curable resin.
Purpose: This study is to compare and analyze the shrinkage of the specimen after UV irradiation of UV cured resin at 5, 15, and 30 minutes. Methods: A cylindrical UV cured specimen was produced using a stainless steel mold. UV cured resin specimens were prepared in three groups: 5 minutes cured (5M), 15 minutes cured (15M), and 30 minutes cured (30M). The measurement was made in total 3rd. The measurement was made in total 3rd. The primary measurement was made after 24 hours using a digital measuring instrument. The 2nd and 3rd measurements were deposited in a constant temperature water bath and the shrinkage was measured. The measured data was calculated by referring to the ASTM C326 linear measurement calculation method. T-test and One-way ANOVA were performed to test the significance between groups. The post-test was conducted with Tukey (α=0.05). Results: When the inner diameter and the outer diameter of the three groups not placed in the water bath were compared and analyzed, the contraction was the smallest at 6.8% in the 5M group, and the contraction was the largest at 7.3% in the 30M group. In the outer diameter, the contraction of the 5M group was the smallest at 3.5%, and the contraction of the 30M group was the largest at 4.5%. Shrinkage decreased in all three groups immersed in a water bath for 3-7 days. Conclusion: In the UV cured resin specimen, the shrinkage increased as the amount of UV irradiation increased.
Purpose: This study aimed to analyze the shrinkage and expansion strain of ultraviolet (UV)-cured resin according to the wavelength of the light source and compare the shrinkage and expansion. Methods: We prepared the mold with according to the ISO 4049 specimen. The size of the circle in the mold was prepared with a height of 6.02 mm and a diameter of 4 mm. UV-curable resin for three-dimensional (3D) printing was injected into the circular mold. The control group was irradiated with a wavelength of 400~405 nm using UV-curing equipment (400 group), and the experimental group was irradiated with a wavelength of 460~465 nm (460 group). Both groups were produced ten specimens. The produced specimen was first measured with a digital micrometer. After the first measurement, the specimen was immersed in a constant temperature water bath for 15 days, after which the second measurement was performed, and the third measurement was taken after 30 days. The measured values were analyzed using the independent sample t-test (α=0.05). Results: In the non-immersion water tank, the contraction was 0.9% in the 400 group and 1.3% in the 460 group. In the constant temperature bath, the expansion was high at -0.4% in the 400 group for 15 days, and the smallest expansion was -0.03% for the 400 group for 30 days. There were significant differences between the two groups (p<0.05). Conclusion: The 400 group had a lower UV resin specimen strain than the 460 group. Therefore, it is recommended to use the wavelength required by the UV-curing resin.
Recently, microstructures fabricated using microstereolithography technology have been used in the biological, medical and mechanical fields. Microstereolithography can fabricate real 3D microstructures with fine features, although there is presently a limited number of materials available for use in the process. Deformation of the fine features on a fabricated microstructure remains a critical issue for successful part fabrication, and part deformation can occur during rinsing or during fabrication as a result of fluid flow forces that occur during movement of mechanical parts of the system. Deformation can result in failure to fabricate a particular feature by breaking the feature completely, spatial deflection of the feature, or attaching the feature to neighboring microstructures. To improve mechanical strength of fabricated microstructures, a clay nanocomposite can be used. In particular, a high-aspect ratio microstructure can be fabricated without distortion using photocurable liquid resin containing a clay nanocomposite. In this paper, a clay nanocomposite was blended with a photocurable liquid resin to solve the deformation problem that occurs during fabrication and rinsing. An optimal mixture ratio of a clay nanocomposite was found through tensile testing and the minimal allowable distance between microstructures was found through fabrication experimentation. Finally, using these results, high-aspect ratio microstructures were fabricated using a clay nanocomposite resin without distortion.
In this paper, we developed a 3D printing system using a photo-curing resin in order to reduce the surface roughness of a sculpture produced with the 3D printer. Using the pattern of the resulting variable thickness, that gave rise to a stepped shape, and the area error of the photo-curable sculpture, a study was carried out for the process to reduce the surface roughness. At a given value of stage velocity (40~70 mm/s) and output air pneumatic pressure (20~60 kPa), the minimum pattern thickness of the pattern was achieved $65{\mu}m$ and the maximum pattern thickness of up to $175{\mu}m$. To increases the pattern resolution to about $40{\mu}m$, the process conditions should be optimized. 3D surface Nano profiler was used to find the surface roughness of the sculpture that was measured to be minimum $4.7{\mu}m$ and maximum $8.7{\mu}m$. The maximum surface roughness was reduced about $1.2{\mu}m$ for the maximum thickness of the pattern. In addition, a FDM was used to fabricate the same sculpture and its surface roughness measurements were also taken for comparison with the one fabricated using photo-curing. Same process conditions were used for both fabrication setups in order to perform the comparison efficiently. The surface roughness of the photo-curable sculpture is $5.5{\mu}m$ lower than the sculpture fabricated using FDM. A certain circuit patterns was formed on the laminated surface of the photo-curable sculpture while there was no stable pattern on the laminated surface of the FDM based sculpture the other hand.
In this study, we proposed an effective and simple way to directly generate wrinkle patterns on a curved surface. A curved surface was prepared using a 3D printer and an UV (Ultraviolet)-lighting system was utilized to weakly polymerize the UV-curable thin resin layer coated on the surface, resulting in a gradient of material properties in the layer thickness. Subsequently, a thermal curing process was conducted to generate microscale wrinkles by compressive forces that were generated during complete curing. Wrinkle shapes from 5, 15, 25 sec of UV-light exposure were compared. With increasing UV-exposure, the line-width of wrinkles became thicker due to much higher strength of skin zone. The results indicated that the proposed fabrication process could be utilized for surface modification in diverse research fields.
A 3D structure production method for microstereolithography is a useful way that produces complex structures with flexible processes and low cost. Several UV curable resins were blended and the optimal resin for micro-lens fabricate was selected through viscosity, workability and transmission tests. It consists of 1, 6 - Hexanediol diacrylate with 15 Apha and Isobornyl acrylate for reducing some shrinkage. When fabricating a micro-lens array on large surface, some distortion of shape occurred because of the surface tension between cured part. To overcome this problem, the optimal processing conditions were derived from considering amount of the resin and surface tension. Large surface Micro-lens array, which are a type of elliptical convex and consist of 18,000 micro-lens in the range of 2cm*2cm were fabricated. The focal length to the X-axis and Y-axis were calculated. To verify the performance, measure an energy distribution of transmitted light from the Large surface Micro-lens array.
Projection stereolithography is an additive manufacturing method that uses beam projection to cure the photo-reactive resin used. The light source of a cross-section layer-form illuminates photo-curable resin for building a three-dimensional (3D) model. This method has high accuracy and a fast molding speed because the processing unit is a face instead of a dot. This study describes a Scalable Projection Stereolithography 3D Printing System for improving the accuracy of the stereolithography. In a conventional projection 3D printer, when printing a small sized model, many pixels are not used in the projection or curing. The proposed system solves this problem through an optical adjustment, and keeps using the original image as possible as filling the whole projection area. The experimental verification shows that the proposed system can maintain the highest level of precision regardless of the output size.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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