Cutting and planarization of diamond films have been performed using copper vapor laser under air at-mosphere. Diamond films of about 350${\mu}{\textrm}{m}$ and 800 ${\mu}{\textrm}{m}$ thick have been synthesized with DC plasma assisted chemical vapor deposition. The position of a specimen has been controlled by computer-driven stage. With copper vapor laser beam of 7W cutting depth increases rapidly and saturates with increasing scan number and decreasing scan speed. 8 repetitive scans at scan speed 0.5 mm/sec produce the maximum cutting depth without focus shifting Rod-shape copper vapor laser beam can be made and used effectively in planar-ization of rough diamond surface.
A longitudinal discharge heated copper vapor laser with internal diameter 28 mm and discharge length 1.3 m has been constructed and tested. At the discharging voltage 15.2 kV, pulse repetition rate 10 kHz, buffer gas pressure 40 mbar, and internal temperature of the laser plasma tube $1520^{\circ}C$, it delivers more than 30 W average laser outputs.
Laser lapping of diamond films is performed with focused beam of copper vapor laser. Both spherical and rod-shape laser beam are used. Diamond surface is scanned at various scan speeds(0,125, 0.5, 0.75 mm/sec) and baem shifts (5, 10, 20, 40, 100$\mu\textrm{m}$) At 0.125 mm/sec 10$\mu\textrm{m}$ scan condition the level difference of di-amond surface of about 700$\mu\textrm{m}$ over 20 mm is reduced to 200$\mu\textrm{m}$ In addition surface roughness is also im-proved from 3.53$\mu\textrm{m}$ to 2.47$\mu\textrm{m}$ at 5$\mu\textrm{m}$ beam shift. But at higher beam shift than 10$\mu\textrm{m}$ laser scan makes the surface rougher which is considered to be due to the non uniform spatial distribution of laser en-ergy. It is concluded that homogenized laser beam with high average power is needed for large area laser lapping of diamond films at appreciable rates.
Laser cutting of thick diamond films is studied using a low-power(10 W) copper vapor laser. Due to the existence of the saturation depth in laser cutting, thick diamond films are not easily cut by low-power lasers. In this study, we have adopted a low thermalconductivity underlayer of alumina and a heating stage (up to 500$^{\circ}C$ in air) to prevent the laser energy from consuming-out and, in turn, enhance the cutting efficiency. Aspect ratio increases twice fromm 3.5 to 7 when the alumina underlayer used. Adopting a heating stage also increases aspect ratio and more than 10 is obtained at higher temperatures than 400$^{\circ}C$. These results show that thick diamond films can be cut, with low-power lasers, simply by modifying the thermal property of underlayer.
레이저선속의 퍼짐각을 개선하기 위하여 공진기 내부에 선속분할기를 갖는 양영역 공초점 불안정공진기 구리증기레이저를 구성하였다. 기하광학적 배율 M=30인 공진기에서 0.15 mard의 최소 퍼짐각을 얻었고, M=60인 공진기를 사용하여 0.1 mard 의 값을 얻을 수 있었다. 퍼짐각 개선과 관련하여 상대적인 원거리 출력밀도가 최대 130배 증가된 레이저 출력을 얻을 수 있었으며, 자체잠김현상을 보이는 펄스 형태의 레이저 발진이 관측되었다.
방전가열형 구리증기레이저를 제작하였으며 그 동작특성을 조사하였다. 레이저관으로는 내경 25mm, 길이 106cm 인 고순도(99.8%) 알루미나관을 이용하였다. 방전전극은 molybdenum 튜브로 제작하였으며 전극간의 거리는 108cm 이었다. Ne 가스압력 40mbar, 충전전압 10kV, 반복률 5KHz, 레이저관 내부온도 $1500^{\circ}C$일 때 평균출력 10W를 얻었다.
A pulse power supply using IGBTs and MPC (magnetic pulse compression) circuit was developed for a metal vapor laser. The life time of the pulse power supply is expected to be much longer than that of a vacuum tube or thyratron type pulse power supply. A series-connected IGBT array generated a long pulse of its pulse width 2 ${\mu}\textrm{s}$ md then it was compressed to less than 100 ns by a three stage MPC circuit. This pulse power supply was applied to a laser plasma tube of 10 mm inner diameter and 0.5 m discharge length. and successfully operated.
This study presents the flow visualization results, velocity and turbulence intensity measurements made within an air filter cover and entry region of a mass air flow sensor (MAFS) which is used in an induction system of 3.8L engine. Flow structure in two air filter cover assemblies were examined. The first was a clear plastic replica of the production cover while the second was a modified clear plastic cover with a geometry configured to reduce fluctuations. High speed flow visualization and laser doppler velocimetry (LDV) systems were used to reveal and analyze the flow field characteristics encountered in the sensor design process under steady flow conditions. A 40-watt copper vapor laser was used as a light source. Its beam is focused down to a sheet of light approximately 1.5mm thick. The light scattered off the particles was recorded by a 16mm high speed rotating prism camera at 5000 frames per second. A comparison of the flow patterns and LDV measurements in the original and modified air filter covers is presented to illustrate the controlling effect of the cover design on the turbulence structure formation near the bypass and on the sensor output signal. In both axial and radial planes of the main passage it was found that the turbulence flow pattern is remarkably influenced by the air filter cover and main passage configuration.
증기상태의 원자 Au, Ba, Cu, Fe, Mn, Pb, Tl을 모기체로 하는 펄스형 기체방전레이저에 관하여 30ns의 rise time, 펄스반복율 5kHz 방전에 대한 최적동작조건 및 최대효율이 각각 계산되었다. 최적작동온도는 각 원자의 증기압이 대략 1 Torr가 되는 온도이며, 실험에서 보고된 온도범위와 좋은 일치를 보여 주었다. 효율을 최대로 하는 충전전압은 특히 효율이 낮은 Tl을 제외하고는 대락 4kV 정도의 값에서 얻어졌다. 각 레이저의 실질적인 한계효율로서 검토될 수 있는 최대효율은 보고된 실험값 보다 상당히 높은 값으로 계산되었다. 특히, Ba 레이저와 Mn 레이저의 효율은 각각 6.8%, 15%로서 구리증기레이저의 효율 8.5%와 비교할 만한 값이며 실험적으로 보다 높은 효율이 얻어질 수 있음을 예측할 수 있다. 반면에, Tl레이저는 대단히 낮은 효율 0.058%와 예외적인 동작조건을 보여주었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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