Piezoresistive type contact force sensor array is fabricated by (111) Silicon bulk micromachining for continuous blood pressure monitoring. Length and width of the unit sensor structure is $200{\mu}m$ and $190{\mu}m$, respectively. The gap between sensing elements is only $10{\mu}m$. To achieve wafer level packaging, the sensor structure is capped by PDMS soft cap using wafer molding and bonding process with $10{\mu}m$ alignment precision. The resistance change over contact force was measured to verify the feasibility of the proposed sensor scheme. The maximum measurement range and resolution is 900 mm Hg and 0.57 mm Hg, respectively.
Park, Ki-Hyun;Jung, Jae-Woo;Park, Boum-Young;Seo, Heon-Deok;Lee, Hyun-Seop;Jeong, Hae-Do
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.18
no.6
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pp.521-526
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2005
Within wafer non-uniformity(WIWNU) improves as the stiffness of pad decrease. We designed the pad groove to study of pad stiffness on WIWNU in Chemical mechanical polishing(CMP) and measured the pad stiffness according to groove width. The groove influences effective pad stiffness although original mechanical properties of pad are unchanged by grooving. Also, it affects the flow of slurry that has an effect on the lubrication regime and polishing results. An Increase of the apparent contact area of pad by groove width results in decrease of effective pad stiffness. WIWNU and profile of removal tate improved as effective pad stiffness decreased. Because grooving the pad reduce its effective stiffness and it makes slurry distribution to be uniform. Futhermore, it ensures that pad conforms to wafer-scale flatness variability. By grooving the top pad, it is possible to reduce its stiffness and hence reduce WIWNU and edge effect.
Kim, Jongmyeong;Lee, Jinyoung;Shin, Dongkyun;Park, Jongwoon
Journal of the Semiconductor & Display Technology
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v.19
no.1
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pp.73-78
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2020
There appears lateral capillary force in a hydrophilic flat needle employed for the fabrication of fine organic thin-film stripes, bringing in an increase of the stripe width. It also causes the stripe thickness to increase with increasing coating speed, which is hardly observed in a normal coating process. Through computational fluid dynamics (CFD) simulations, we demonstrate that the lateral capillary flow can be substantially suppressed by increasing the contact angle of the needle end. Based on the simulation results, we have coated the outer surface of the flat needle with a hydrophobic material (polytetrafluoroethylene (PTFE) with the water contact angle of 104°). Using such a hydrophobic needle, we can suppress the lateral capillary flow of an aqueous poly(3,4-ethylenedioxythiophene): poly(4-styrenesulfonate) (PEDOT:PSS) to a great extent, rendering the stripe narrow (63 ㎛ at 30 mm/s). Consequently, the stripe thickness is decreased as the coating speed increases. To demonstrate its applicability to solution-processable organic light-emitting diodes (OLEDs), we have also fabricated OLED with the fine PEDOT: PSS stripe and observed the strong light-emitting stripe with the width of about 68 ㎛.
Background : The Purposes of this study were to understand difference between free walking and obstacle over walking through the naked eye and motion analysis device, and to review merits of obstacle walking training as item of functional assessment in clinical situations. Methods : All participants were male and performed 3 types of walking methods: free walking, obstacle over walking with low block(height=10cm, width=8cm), and obstacle over walking with high block(height=20cm, width=8cm). All walking were performed 3 trials respectively. Results : In the naked eye, initial contact with toes occurred more than heel strike in obstacle over walking, and the flexion angle of hip and knee were increased in obstacle over walking. On interpretations though motion analysis device, cadence, gait speed and weight accept were significant statistically(p<.05). Cadence and gait speed were decreased, and weight accept duration was increased in obstacle over walking. Rotation among three pelvic motions was significant statistically(p<.05), flexion among three hip motions was significant statistically(p<.05) and flexion among three ankle motions was significant statistically(p<.05). Rotation and flexion among three ankle motions was significant statistically(p<.05). Conclusion : Both the naked eye and interpretations of the device presented many difference between free walking and obstacle over walking. In overcrossing obstacles, many participants appeared walking strategy by perform initial contact with toes. Knee flexion was most significant statistically(p<.05) in obstacle over walking with 20cm block.
This study has successfully demonstrated the direct fabrication of polymer resistors using ink-jet printing technology as an alternative patterning to traditional photolithography. The polymer resistors were fabricated just by two layer processes using a ink-jet printer (DMP-2800, Fujifilm Dimatix). First, resistive materials was patterned by a ink-jet printing with the desired width and length. Next, resistor fabrication was completed by printing metal contact pads on the both sides of the polymer resistor. We used poly (3,4-ethylene dioxythiophene) poly(styrenesulfonate)(PEDOT:PSS) for the resistor material and a nano-sized silver colloid for the metal contact pads. We characterized the electrical properties of PEDOT:PSS by measuring sheet resistance and specific resistance on a glass substrate. From analysis of the measured resistances, the electrical resistances of the polymer resistors linearly increased as a function of printed width and length of resistors. The accuracy of the fabricated polymer resistor showed about $0.6{\sim}2.5%$ error for the same dimensions.
Traffic risks in fairway and harbour area increase lately according to be a sharpe change of ship's size and speed. It becomes hot issue to design a fairway, which's width is important to lower traffic risk and ensure navigational safety. The current design making a fairway and width do not focus on maneuvering motion of a large ship, but traffic risks are clear on reflecting the design of fairway, specially on width. To contact with these problems, this research proposes how to determine fairway' width in consideration of traffic volume. it suggests several situations of marine traffic congestion as like narrow channel and harbour area. here uses 162 simulations in MTS Ver.1 developed. Acquired simulation's results, environmental stress dates, figure in a model that relates with required fairway' width and allowable traffic volume. In added, suggested model compares current design with an width.
Thermal transport from vertical heated surface to falling liquid film in a channel has been investigated experimentally. Air-flow is introduced into channel to make a counter flow against falling liquid film. This problem is of particular interest in the design of direct contact heat exchange system, such as cooling tower, evaporative cooling system, absorption cooling system, and distillation system. The effects of channel width and air flow rate on the heat transfer to falling liquid film are studied in detail. The results obtained indicate that heat transfer rate is gradually decreased with an increase in the channel width without air flow as well as with air flow in a channel. It is also found that heat transfer rate of air-flow is increased while heat transfer rate of falling liquid film is decreased with an increase in the air flow rate at a given channel width. However, total heat transfer rate form the heated surface is increased as the air flow rate is increased.
Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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v.21
no.5
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pp.773-777
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2012
Recently UV laser micromachining processes is widely introduced to meet the needs of advanced components of IT, BT and ET industries. Due to the characteristics of non-contact and high-speed laser processing, UV laser micromachining is applied to manufacture very thin substrate such as polymer, metals and composite. These minimum line width obtained by UV laser micromachining is generally determined from laser wavelength, optical lens and its numerical aperture. In this paper we will show the lens effect of water droplet on the surface of workpiece to reduce the line width when UV laser light is irradiated and focused through the water droplet. Because of the refraction effect generated by the semi-spherical or spherical shape of water droplet, we can find smaller line width. And water droplet could not only protect thermal deformation, but also carry away burr around micro dent. Firstly fundamental theory of minimum line width was derived from relationship between the geometry of water droplet and laser light trace, and then experimental and simulation results will be finally compared to verify the effectiveness of water droplet lens effect of UV laser micromachining process.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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v.32
no.5
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pp.335-341
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2008
Thermal transport from vertical heated surface to falling liquid film in a channel has been investigated experimentally. Air-flow is introduced into channel to make a counter flow against falling liquid film. This problem is of particular interest in the design of direct contact heat exchange system, such as cooling tower, evaporative cooling system, absorption cooling system, and distillation system. The effects of channel width and air flow rate on the heat transfer to falling liquid film are studied in detail. The results obtained indicate that heat transfer rate is gradually decreased with an increase in the channel width without air flow as well as with air flow in a channel. It is also found that heat transfer rate of air-flow is increased while heat transfer rate of falling liquid film is decreased with an increase in the air flow rate at a given channel width. However, total heat transfer rate from the heated surface is increased as the air flow rate is increased.
Purpose: The purpose of this study was to investigate the plantar pressure distribution between the affected and unaffected side in adult hemiplegia during gait with the use of a quad-cane. Methods: Thirty-four stroke patients from 34 to 83 years of age were enrolled in this study, and in random order, all patients were asked to walk at their most comfortable speed three times along a walkway with the use of quad-cane over a period of three days. Plantar pressure distribution was measured with regard to foot contact pattern and center of pressure (CoP) trajectories during the stance phase, progressing from heel-strike to toe-off. The F-scan system was used to compare the foot pressure of the affected and unaffected sides. Results: A significant reduction in the total contact area, the width of fore foot (FF) and hind foot (HF), and anterior/posterior (AP) CoP trajectory of the affected side was found. However, contact pressure of the hind foot on the affected side during walking increased when compared to that on the unaffected side. Conclusion: We demonstrated that plantar pressure distribution on the affected side of adult hemiplegia patients was generally poorer than that on the unaffected side when these patients walked with cane assistance. However, the use of a quad-cane was shown to increase contact pressure of the hind foot on the affected side because weight can be borne on the affected side during heel-strike with use of the cane.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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