• 제목/요약/키워드: Co film

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큰느타리버섯 배지 질소함량 및 온도조건별 선도연장효과 (The effect of nitrogen contents in media and cultivation temperature on freshness prolongation in Pleurotus eryngii)

  • 문지영;김정한;최종인;정구현;권희민;하태문
    • 한국버섯학회지
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    • 제18권4호
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    • pp.339-343
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    • 2020
  • 본 연구는 수출용 큰느타리버섯의 선도 유지 및 저장성 증대를 위한 배지 적합 질소함량과 생육온도 조건을 설정하고자 하였다. 배지 질소함량 1.5%, 1.8%, 2.1%, 2.4% 및 생육온도 15℃, 12℃, 9℃ 조건별로 자실체의 생육특성, 수확 후 냉장저장기간 동안의 가스농도, 자실체 품질변화를 조사하였다. 대 직경과 중량은 생육온도와 관계없이 질소함량이 높아질수록 증가하는 경향을 보였으며 병당 중량은 12℃, T-N 2.4% 조건에서 149.5 g으로 가장 높았다. 갓 색은 배지 질소함량과 관계없이 온도가 낮아질수록 색도(L)가 낮아져 갓 색이 진해졌다. 저장기간에 따른 봉지 내 가스농도 변화는 9℃, T-N 2.1% 조건에서 산도 농도가 가장 오래 유지되었다. 달관조사에 의한 자실체 품질평가에서 배지 질소함량에 따른 차이는 나타나지 않았고 저장기간 28일까지 이취, 변색, 부패 정도는 15℃와 9℃가 유사하게 나타났다.

Effect of Ethanol Fractionation of Lignin on the Physicochemical Properties of Lignin-Based Polyurethane Film

  • Sungwook WON;Junsik BANG;Sang-Woo PARK;Jungkyu KIM;Minjung JUNG;Seungoh JUNG;Heecheol YUN;Hwanmyeong YEO;In-Gyu CHOI;Hyo Won KWAK
    • Journal of the Korean Wood Science and Technology
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    • 제52권3호
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    • pp.221-233
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    • 2024
  • Lignin, a prominent constituent of woody biomass, is abundant in nature, cost-effective, and contains various functional groups, including hydroxyl groups. Owing to these characteristics, they have the potential to replace petroleum-based polyols in the polyurethane industry, offering a solution to environmental problems linked to resource depletion and CO2 emissions. However, the structural complexity and low reactivity of lignin present challenges for its direct application in polyurethane materials. In this study, Kraft lignin (KL), a representative technical lignin, was fractionated with ethanol, an eco-friendly solvent, and mixed with conventional polyols in varying proportions to produce polyurethane films. The results of ethanol fractionation showed that the polydispersity of ethanol-soluble lignin (ESL) decreased from 3.71 to 2.72 and the hydroxyl content of ESL increased from 4.20 mmol/g to 5.49 mmol/g. Consequently, the polyurethane prepared by adding ESL was superior to the KL-based film, exhibiting improved miscibility with petrochemical-based polyols and reactivity with isocyanate groups. Consequently, the films using ESL as the polyol exhibited reduced shrinkage and a more uniform structure. Optical microscope and scanning electron microscope observations confirmed that lignin aggregation was lower in polyurethane with ESL than in that with KL. When the hydrophobicity of the samples was measured using the water contact angle, the addition of ESL resulted in higher hydrophobicity. In addition, as the amount of ESL added increased, an increase of 7.4% in the residual char was observed, and a 4.04% increase in Tmax the thermal stability of the produced polyurethane was effectively improved.

표고버섯의 지면 톱밥균상재배에 의한 재배과정과 수확 (Cultivation Processes and Yield of Lentinula edodes on Surface Sawdust Bed)

  • 구창덕;이화용;이희수;박용우;김재수
    • 한국산림과학회지
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    • 제104권3호
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    • pp.434-442
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    • 2015
  • 본 연구는 표고버섯의 지면 톱밥균상재배 과정과 버섯수확량을 구명하였다. 이 톱밥 균상재배는 봉지를 사용하지 않고, 살균된 톱밥과 표고의 톱밥종균을 3:1로 섞어서 지면에 두께 약 10 cm의 균상을 만들어 재배하는 방법이다. 톱밥배지는, 함수율을 65%로 맞추고 $65^{\circ}C$에서 저온살균 후 종균을 접종하고 지면에 약 10 cm 두께의 균상으로 만들고 보습과 보온을 위하여 유공비닐로 덮어두었다. 이 배지는 배양 78일 후에, 함수율이 61~72%, pH는 5.6에서 3.9~4.6로 낮아졌다. 배양기간중 배지내 에르고스테롤 농도는 $0.33{\sim}0.59{\mu}g/g$로 변동이 있었다. 지면배지를 입상한 후 2주 만에 이산화탄소 농도는 약 8.06%까지 급격히 증가하였다. 7주차에는 배지표면이 갈변되기 시작하였고, 이산화탄소 농도는 11주차까지 6~7%를 유지하였다. 그 후 지면배지의 표면비닐을 제거한 12주차부터는 통기성이 증대하여 이산화탄소가 1.5% 이하로 급격히 감소하였다. 이 재배사내 온도는 $7.1{\sim}29^{\circ}C$, 습도는 27.3~100%였고, 톱밥배지내의 온도 변화범위는 $11.6{\sim}30^{\circ}C$였다. 이 지면 재배에서 표고수확은, 입상 약 120일 후인 7월 말경부터 시작되었고, 그 후 약 100일 동안, 즉 12월초까지 8주기에 걸쳐 관수관리하면서 이루어졌다. 이 재배에서 주기별 총 표고수확량은 1주기(7/29~8/4)에 352 kg, 2주기(8/17~8/22)에 288 kg, 3주기(9/3~9/7)에 320 kg, 4주기(9/19~9/24)에 800 kg, 5주기(10/3~10/8)에 1,296 kg, 6주기(10/17~10/22)에 1,853 kg, 7주기(11/4~11/9)에 1,476 kg, 마지막 8주기(11/23~12/7)에 990 kg이었다. 농장 전체는 약 33.0톤의 톱밥배지에서 약 7.4톤의 표고를 수확하여 지면 톱밥균상재배의 표고생산 효율은 약 22.4%였다.

세 수준의 자당이 첨가된 배지에서 유기물의 첨가 유무에 따른 Solanum tuberosum L.의 기내 광혼합영양생장 (Photomixotrophic Growth of Solanum tuberosum L. in vitro with Addition and Omission of Organic Materials at Thee Initial Sucrose Levels in the Medium)

  • 정병룡;양찬석;김경희;박영훈
    • 생물환경조절학회지
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    • 제13권1호
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    • pp.51-55
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    • 2004
  • 식물의 조직배양에서 가장 널리 이용되는 MS 배지 등의 무기성분은 종속영양에 적합하도록 조성되었다. 그러므로 이들 배지가 혼합영양이나 독립영양 배양에는 부적합 할 수 도 있다. 광혼합영양 미세증식에서 배지에 첨가되는 당의 수준은 낮추고 배양기의 광과 $CO_2$ 수준은 올리며, 광합성의 의한 탄소의 획득을 증진시키기 위해 열록소가 있는 절편체를 이용한다. Factorial 실험에서 유기물 (OM, $m^{-3}$ 배지당 각각 0.5g의 thiamine, nicotinic acid 및 pyridoxine과 100g ${\cdot}$ $m^{-3}$ myo-inositiol)의 첨가(+)와 생략(_) 및 세 가지 수준의 당(0, 15 및 30 kg ${\cdot}$ $m^{-3}$)이 감자 소식물체의 생장에 미치는 영향을 조사하였다. 단엽단절 절편체를 0.1${\times}$$10^{-4}m^{-3}$의 MS 아가(8 kg ${\cdot}$ $m^{-3}$) 배지(증기소독 전 pH 5.80)배지가 담긴 유리 시험관(100mm${\times}$25mm)에 치상하여 직경 6mm의 가스투과 필터(5.1 air exchanges ${\cdot}$$h^{-1}$)가 부착된 투명한 필름으로 봉하여 배양하였다. 배양체는 27일간 $23^{\circ}C$, 50% RH에서 16 h ${\cdot}$ $d^{-1}$의 명기 동안에 cool white 형광등으로 130${\mu}mol\;{\codt}\;m\;{\codt}\;s^{-1}$ PPFD의 광과 350-450${\mu}mol\;{\codt}\;mol^{-1}의CO_2$가 공급되는 배양실에서 배양되었다. 유기물이 공급된 처리(+OM)와 공급되지 않은 처리(-OM)에서 감자 소식물체의 생육은 유사하였으나 배지의 pH는 후자에서 0.2 더 낮았다. 배지에 첨가된 당의 수준이 증가할수록 건물중, % 건물율 및 경경은 증진된데 반해 신초와 뿌리의 건물중 비율, 엽면적, 건물중당 엽록소 함량 및 배지의 pH는 감소하였다. 유기물과 당 수준간의 상호작용도 신초길이와 배지 pH에서 관찰되었다. 이상의 결과로부터 광도와 $CO_2$농도를 높인 광혼압영양배양에서 감자 소식물체의 생장에는 배지에 첨가되는 당은 유익하지만 그 이외의 유기물은 첨가하지 않아도 악영향이 없다는 것은 나타낸다.

시설재배 토양과 작물 잎 중의 미량원소 함량 관계 (Relationships between Micronutrient Contents in Soils and Crops of Plastic Film House)

  • 정종배;김복진;유관식;이승호;신현진;황태경;최희열;이용우;이윤정;김종집
    • 한국환경농학회지
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    • 제25권3호
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    • pp.217-227
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    • 2006
  • 본 연구는 시설재배 고추, 오이, 토마토를 대상으로 토양 및 식물체 중 미량원소 함량을 조사하여 미량원소의 적정시비관리를 위한 자료로 활용하고자 수행하였다. 일반작물에 대한 평균적인 토양 중 적정 미량원소 함량기준과 비교하면, Fe, Mn, Zn의 함량은 조사된 대부분의 토양에서 과잉상태이었고 Cu 또한 고추 재배지를 제외하면 대부분 과잉 상태이었다. 고추 재배지에서 Cu 함량이 적정 수준이하인 토양 비율이 30%정도였다. B는 다른 미량원소에 비하여 과잉상태인 토양 비율이 상대적으로 낮았으나 고추 재배지의 경우에는 부족 토양 비율이 상대적으로 많았다. 작물 잎 중의 미량원소 함량은 원소별 또는 작물별로 매우 넓은 범위에 분포하였다. B, Fe, Mn은 대부분이 적정 함량 범위에 있었으나, Cu와 Zn은 적정 함량 이하인 경우가 많았다. 그러나 농가조사에서 미량원소의 가시적인 과잉 또는 결핍 증상은 발견되지 않았다. 토양 중의 가용성 미량원소 함량과 작물 잎 중의 미량원소 함량 사이에는 유의한 상관관계가 없었고, 작물별 또는 미량원소별로 토양중의 가용성 함량이 적정수준 이상임에도 불구하고 잎 중의 미량원소 함량이 매우 낮은 경우도 많았다. 이러한 결과는 조사된 농가별로 토양 특성이 다양하고 시비관리 및 수분관리 방법 등이 크게 다르기 때문일 것이다. 대부분 농가에서 토양 중의 미량원소 함량이 과잉임을 고려하면 뿌리를 통한 작물의 미량원소 흡수가 원활히 이루어질 수 있도록 미량원소의 흡수에 장애가 될 수 있는 다량 원소의 과다시비나 염류집적 문제의 해결을 포함한 시비 및 토양관리에 주의를 기울일 필요가 있을 것이다. 또한 토양검정과 작물체 분석 자료를 확보하여 작물생육에 기여하지 못하는 과잉의 미량원소 시비 관행의 문제점을 보다 철저히 검토해야 할 것으로 판단된다.방제가를 보였다. 초기 이병엽율이 약 16% 정도였을 때 공시약제를 처리한 결과 boscalid와 metrafenone 처리구는 각각 100% 및 97.5%의 방제가를 보였다. 그러나 triflumizole 및 fenarimol는 비교적 낮은 30.8% 및 51.6%의 방제가를 보였다. 공시약제를 흰가루병이 발생한 다음 처리한 후 이병엽을 염색하여 흰가루 병균의 균사생장과 포자형성 등을 관찰한 결과 균사가 용균되는 것을 볼 수 있었으며, 균사의 용균정도와 분생포자형성 억제 정도는 병 방제효과와 일치하는 경향을 보였다.을 의미한다. IV형은 가장 후기에 포획된 유체포유물이며, 광산 주변에 분포하는 석회암체 등의 변성퇴적암류로부터 $CO_{2}$ 성분과 다양한 성분의 유체가 공급되어 생성된 것으로 여겨진다. 정동이 발달하고 있지 않으며, 백운모를 함유하고 있는 대유페그마타이트는 변성작용에 의한 부분용융에 의해 형성된 멜트에서 결정화되었으며, 상당히 높은 압력의 환경에서 대유페그마타이트의 결정화작용 과정에서 용리한 유체의 성분이 전기석에 포획되어 있다. 이때 용리된 유체는 다양한 성분을 지니고 있었으며, 매우 낮은 공융온도와 다양한 딸결정은 포유물 내에 NaCl, KCl 이외에 적어도 $CaCl_{2},\;MgCl_{2}$와 같은 성분을 포함하고 있음을 지시한다. 유체의 용리는 적어도 $2.7{\sim}5.3$ kbar 이상의 압력과 $230{\sim}328^{\circ}C$ 이상의 온도에서 시작되었다.없었다. 결론적으로 일부 한방제와 생약제제는 육계에서 항생제를 대체하여 사용이 가능하며 특히 혈액의 성분에 유의한 영향을 미치는 것으로 사료된다. 실증연구가 필요할 것으로 사료된다.trip과 Sof-Lex

참깨의 개화.등숙에 관한 연구 IV. 적엽처리가 참깨의 등숙에 미치는 영향 (Studies on the Flowering and Maturity in Sesame (Sesamum indicum L.) IV. Effects of Foliage Clipping on the Seed Maturity)

  • 이정일;강철환;손응룡
    • 한국작물학회지
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    • 제30권2호
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    • pp.165-173
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    • 1985
  • 참깨의 초형에 따른 비닐피복과 작기 그리고 적엽시기와 적엽부의별 적엽이 참깨의 동화기관과 종실의 결실.등숙에 미치는 영향을 구명하여 후기등숙불량을 최소화하기 위한 기초자료로 이용코자 일련의 시험을 실시한 결과 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. 개화 후 25일 하위엽 적엽에 따른 천립중 변동은 분지형은 단경형보다, 비닐피복구는 무피복 보다, 맥후작은 단작 보다 천립중 감소가 컸다. 단경형 단작 하위적엽에서는 상위삭 천립중이 약간 증가하는 경향을 보였으나 맥후작과 분지형에서는 감소되었다. 2. 하위적엽에 의한 등숙립 비율변동은 분지형은 단경형 보다, 맥후작은 단경 보다 등숙립 비율의 감소가 컸으며 비닐피복 간에는 대차 없었다. 단경단작 25% 적엽에서 상위삭의 등숙립 비율은 무처리대비 약 6%의 증가를 보였으며 맥후작과 분지형에서는 감소되었다. 3. 개화 후 30 일.단경형.하위 25% 적엽에서 무처리에 비하여 약간의 등숙률 증가를 보였으나 분지형에서는 감소되었으며 상위적엽에 의하여 등숙률이 크게 떨어져 이 시기의 동화중심엽은 상위엽으로 추정되었고 단경형보다는 분지형의 하위엽이 등숙후기까지도 엽의 활력을 잘 유지하는 것으로 생각되었다. 개화 후 10 일 적엽구에서는 단경.분지형 공히 큰 폭으로 등숙립 비율이 떨어졌다. 4. 하위 50 % 적엽에서 상위엽의 엽록소 함량은 같은 위치의 무처리 엽에서 보다 39%가 더 증가되었으며 상위 50% 적엽에 의하여 하위엽의 엽록소 함량은 무처리 대비 66%가 증가되어 한 쪽엽 적엽에 의하여 반대에 위치한 엽의 엽록소 함량이 증가하는 보상작용이 인정되었다. 5 하위 50% 적엽에 의하여 광합성은 무처리에 비하여 58 %의 증가를 보였으나 상위 50 % 적엽에서는 Omg$CO_2$/d$m^2$/hr로서 잔존 하위엽에서 생성한 동화양분은 그 엽의 자체의 호흡에 의한 소모도 충족시키지 못하여 생식생장 후기 상위적엽에 의하여 광합성 작용은 치명적 손상을 받을 뿐만 아니라 잔존 하위엽의 광합성 기여도는 낮을 것으로 인정되었다. 6. 수확지수에서는 하위 25% 적엽에 의하여 무처리 대비 28%의 증가를 보인 반면 상위 50% 적엽에서는 무처리에 비하여 13% 감소되었다. 7. 하위 50% 적엽에서 잔존 엽면적은 같은 위치의 무처리엽 면적에 비하여 48 %가 증가되었으나 상위적엽에서는 5% 증가에 그쳐 적엽에 의하여 신생 상위엽의 엽면적 증대는 큰 반면에 노쇠한 하위엽의 엽면적 증대는 거의 없었다. 8. 적엽에 따른 수량차는 분지형이 단경형에서 보다, 맥후작이 단작에서 보다 무처리에 비하여 감수폭이 터 컸으며 비닐피복 간에는 큰 차이를 보이지 않았다. 9. 단경.단작 하위 25 % 적엽에서 비닐피복과 무피복 공히 수량이 무처리에 비하여 각각 5 %와 8 %가 증가하였으며 타 적엽구에서는 감수되었다. 10. 개화 후 10 일 적엽구에서는 무처리에 비하여 34 % 감수된 반면 개화 후 30 일 적엽구에서는 무처리 대비 24 % 감수에 그쳐 개화 후 10일 엽에서의 동화물질 생산 기여도가 개화 후 30 일 엽에서 보다 더 높았던 것으로 인정되었으며 개화 후 10 일에는 단경.분지형 공히 하위 50 % 적엽구에서 가장 많은 감수를 보여 이 시기의 광합성 활동 중심엽은 하위엽인 것으로 추정되었다.

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Multi Layer Thin Film Deposition Using Rotatable Hexagonal Gun by Sputtering for the Insulating Glass

  • Park, Se-Yeon;Lee, Jong-Ho;Choi, Bum-Ho;Han, Young-Ki;Lee, Kee-Soo
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.314-315
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    • 2012
  • 최근들어 반도체 및 디스플레이 소자의 구조가 복잡해짐에 따라 다층 박막 증착에 대한 중요성이 날로 증가하고 있다. 본 연구에서는 다층 박막을 효율적으로 증착하기 위해 회전이 가능한 육각건을 개발하였고, 이를 이용하여 에너지 절약형 단열 유리 증착 공정을 구현 하였다. 개발된 회전형 육각건은 기존 플래너형 스퍼터링 건의 확장형으로서 최대 6개의 물질을 하나의 챔버에서 증착이 가능하도록 구성되었다. 기존 공정의 경우 서로 다른 물질 증착을 위해서는 각각의 챔버가 필요한 반면, 회전형 육각건을 이용할 경우 하나의 챔버에서 공정을 진행할 수 있어 원가 절감이 가능하다. Fig. 1은 개발된 회전형 육각건의 모식도로서, 스퍼터링 타겟이 장착 가능한 건과, 회전부로 구성되어 있다. 이를 이용하여 투명전극-금속-투명전극-금속-절연체로 구성되어 있는 에너지 절약형 단열 유리용 다층 박막 증착 공정을 개발하였다. 이때 알루미늄이 도핑된 ZnO (AZO)는 RF 마그네트론 스퍼터로, 금속 박막은 DC 스퍼터, $SiO_2$ 및 SiN과 같은 절연 박막은 $O_2$$N_2$ 분위기에서 반응성 RF 스퍼터로 각각 증착하였다. Base pressure는 $10^{-7}$ torr였으며, 증착 시 공정 압력은 1~3 mTorr로 조정하였다. 증착 균일도 향상을 위해 20 rpm의 속도로 기판을 회전시켰다. Fig. 2(a)는 ZnO-Ag-ZnO 구조로 이루어진 다층 박막의 단면을 관찰한 투과전자 현미경 사진으로 각 층간의 계면이 뚜렷하게 나타남을 확인할 수 있으며, 각 층간의 intermixing 현상이 발생하지 않음을 확인 가능하다. 이를 보완하기 위해 Fig. 2(b)에서 보는 바와 같이 XPS를 이용하여 depth profile을 측정하였다. 각 층에서 서로 다른 물질이 발견되는 현상, 즉 교차 오염이 발생함에 따라 나타나는 intermixing 없이 거의 순수한 형태의 ZnO, Ag 박막 성분이 검출되었다. 이는 6개의 서로 다른 물질이 장착된 회전형 육각건을 이용하여 고 품질의 다층 박막 증착이 가능함을 제시하는 결과이다. 증착된 다층 박막의 균일도는 3.8%, 가시광선 영역에서 80% 이상의 투과도, 면저항 값은 3 ${\Omega}/{\Box}$ 이하를 보임으로서 에너지 절약형 단열 유리로서의 사양을 만족시키는 결과를 제시하였다.

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3DTV 엑티브 셔터 안경을 위한 저전력 이산-사건 SoC (Low-Power Discrete-Event SoC for 3DTV Active Shutter Glasses)

  • 박대진;곽승호;김창민;김탁곤
    • 대한전자공학회논문지SP
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    • 제48권6호
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    • pp.18-26
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    • 2011
  • 엑티브 셔터 안경 기반 3DTV와 페시브 편광 필터 안경 방식 3DTV의 화질 비교는 최근에 이슈로 대두되고 있다. 엑티브 셔터 안경 방식 기술이 Full-HD 3D영상 구현이 가능함에도 불구하고 스테레오 영상에 대한 동기 신호의 전송, 수신, 및 재구성 과정 중에 내부/외부 잡음 환경에 영향을 받아 3D안경에 탑재된 동기화 프로세서 칩의 오동작으로 영상 플리커가 자주 발생한다. 이러한 문제를 극복하기 위해 동기 신호에 실리는 잡음의 제거 및 오차 보정을 추가적으로 수행하는 과정이 필요하며 이로 인해 추가로 소모되는 전력이 증가하고 있다. 본 논문에서는 3DTV 엑티브 셔터 안경을 위한 동기 신호 처리 프로세서를 구현하는 저 전력 이산 사건 (Discrete-Event) 기반 SoC (DE-SoC)칩을 제안한다. 이를 위해 이벤트 적재기와 소수점 타이머 하드웨어를 구현한다. 제안한 기법을 통해 실시간으로 수신되는 동기 수신 회로 구동을 최대한 지연시킴으로써 전력을 소모하는 하드웨어를 부분을 최소화 하며 소수점 타이머를 이용하여 동기 신호 수신 부를 완전히 정지시킨 상태에서도 일정 시간 동기를 유지하는 특성을 이용하여 무선 동기 수신부의 전력소모를 줄이고 외부 잡음의 영향을 완벽하게 차단할 수 있다. 제안한 기법을 위해 약 15,000개의 로직 게이트와 1Kbytes SRAM 버퍼를 추가로 사용한다. 그럼에도 불구하고 전력 소모는 기존대비 약 20%이하로 떨어질 뿐만 아니라 TV로부터 오는 동기 신호 없이도 2시간동안 1%정도의 동기 오차를 보여준다.

ICP를 이용한 MTJ stack 위의 Ta 박막의 식각 특성 연구 (Dry etch of Ta thin film on MTJ stack in inductively coupled plasma)

  • 김동표;우종창;김창일
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.29-29
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    • 2009
  • 현재 고집적 비휘발성 메모리 소자로는 MRAM (Magnetic Random Access Memory)과 PRAM (Phase Magnetic Random Access Memory)이 활발하게 미국과 일본, 한국 등에서 다양한 연구가 진행되어 오고 있다. 이 중에서 MRAM은 DRAM과 비슷한 10 ns의 빠른 읽기/쓰기 속도와 비휘발성 특성을 가지고 있으며, 전하를 저장할 커패시터가 필요 없고, 두 개의 자성충에 약 10 mA 정도의 전류를 가하면 그때 발생하는 약 10 Oe의 자장을 개개의 비트를 write하고, read 시에는 각 비트의 자기저항을 측정함으로써 데이터를 저장하고 읽을 있으므로, 고집적화가 가능성하다 [1]. 현재 우수한 박막 재료가 개발 되었으나, 고집적 MRAM 소자의 양산에는 해결 하여야 하는 문제점이 있다. 특히 다층 박막으로 구성되어 있으므로 식각 공정의 개발이 필수적이다. 지금까지 MRAM 재료의 식각은 주로 Ion milling, ICP, ECR등의 플라즈마 장치를 되었고, 식각 가스로는 할로겐 기체와 금속카보닐 형성을 위한 Co/$NH_3$$Ch_3OH$ 기체가 이용되고 있다. 그러나 할로겐 계열의 기체를 사용할 경우, 식각 부산물들의 높은 끓는점 때문에 식각 부산물이 박막의 표면에서 열적 탈착에 의하여 제거되지 않기 때문에 높은 에너지를 가지는 이온의 도움에 의한 식각이 필요하다. 또한 Cl 계열의 기체를 사용할 경우, 식각 공정 후, 시료가 대기에 노출되면 대기 중의 수분과 식각 부산물이 결합하여 부식 현상이 발생하게 된다. 그러므로 이를 방지하기 위한 추가 공정이 요구된다. 최근에는 부식 현상이 없고, MTJ 상부에 사용되는 Ta 또는 Ti Hard mask와의 높은 선택비를 가지는 $CH_3OH$ 또는 CO/$NH_3$가 사용되고 있다. 하부 박막에 따른 식각 특성에 연구와 다층의 박막의 식각 공정에 발생에 관한 발표는 거의 없다. MRAM을 양산에 적용하기 위하여서는 Main etch 공정에서 빠른 식각 공정이 필요하고, Over etch 공정에서 하부박막에 대한 높은 선택비가 요구된다. 그러므로 본 논문에서는 식각 변수에 따른 플라즈마 측정과 표면 반응을 비교하여 각 공정의 식각 메커니즘을 규명하고, Main Etch 공정에서는 $Cl_2$/Ar 또는 $BCl_3$/Ar 가스를 이용하여 식각 실험을 수행하고, Over etch 공정에는 낮은 Ta 박막 식각 속도를 가지는 $Ch_4/O_2$/Ar 또는 $Ch_3OH$/Ar 가스를 이용하고자 한다. 플라즈마 내의 식각종과 Ta 박막과의 반응을 XPS와 AES를 이용하여 분석하고, 식각 공정 변수에 따른 식각 속도, 식각 선택비와 식각 프로파일 변화를 SEM을 이용하여 관찰한다.

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비정질 루테늄 산화물을 사용한 수계 Supercapacitor의 전기화학적 특성 (Electrochemical Characteristics of Supercapacitor Based on Amorphous Ruthenium Oxide In Aqueous Acidic Medium)

  • 최상진;도칠훈;문성인;윤문수;육경창;김상길
    • 전기화학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.21-26
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    • 2002
  • 비정질 루테늄 산화물을 사용한 수퍼캐패시터를 개발하였다. 삼염화루테늄 수화물$(RuCl_3{\cdot}xH_2O)$로부터 제조한 비정질의 이산화루테늄 수화물$(RuO_2{\cdot}nH_2O)$을 사용하여 수퍼캐패시터 전극을 제조하였다. 집전체로는 티타늄 및 STS 304박막에 비해 보다 넓은 전위창을 가지는 탄탈륨 박막을 사용하였다. 제조한 전극과 4.8M 황산 전해액을 사용하여 수퍼캐패시터를 제조하였다. 전극의 비정전용량은 순환전위전류분석에서 미분 최대 값으로 산화 및 환원 과정 각각 710 및 $645\;F/g-RuO_2{\cdot}nH_2O$이었으며, 평균값은 $521\;F/g-RuO_2{\cdot}nH_2O$으로 나타났다. 수퍼캐패시터를 포화카로멜기준전극에 대하여 0.5 V로 protonation level을 조정하고, 충방전 시험한 바, $151\;F/g-RuO_2{\cdot}nH_2O$의 비정전용량을 나타내었다.