• 제목/요약/키워드: Chun-Kwang

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PCBs 함유 고상폐기물의 분석방법 고찰 (Analytical method of PCBs-containing solid wastes)

  • 박진수;강영렬;송기봉;전태완;전진원;신선경;정광용
    • 분석과학
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    • 제22권6호
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    • pp.471-479
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    • 2009
  • 본 연구에서는 PCBs 함유 고상폐기물의 효율적 관리를 위해 현행 폐기물 공정시험방법의 용출 시험방법을 고상폐기물 종류별 표면채취법, 부재시험방법, 세정시험방법 등의 함량시험방법과 비교검토하여 PCBs 함유 고상폐기물의 시험방법(안) 및 기준(안)을 마련하였다. 우리나라의 표면채취법에 의한 비함침성 고상폐기물의 규제기준은 미국 및 일본과 같은 수준으로 각 국의 액상폐기물인 절연유 기준과 표면채취법에 의한 처리기준의 수치적 관계를 이용하여 산출하는 것이 타당한 것으로 판단되어진다. 이에 PCBs 함유 고상폐기물 중 규소강판 등 표면채취가 가능한 평면형 비함침성 부재는 표면채취법으로 시료를 채취하여 함량분석법으로 분석하는 경우, 비함침성 고상폐기물의 규제기준(안)을 $0.4 {\mu}g/100cm^2$으로 설정하였다. 또한, 표면채취가 어려운 시료를 일정한 크기로 잘라 부재를 채취한 후 함량분석법으로 분석하는 경우에는 규제기준을 0.04 mg/kg을 제안하였다.

가뭄 시 평림댐과 수양제 연계 운영 평가 (Evaluation of the linked operation of Pyeongrim Dam and Suyangje (dam) during period of drought)

  • 박진용;이석준;김선기;최세광;전근일;김민환
    • 한국수자원학회논문집
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    • 제57권4호
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    • pp.301-310
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    • 2024
  • 강수의 공간적·시간적 불균형이 물관리를 어렵게 하고 있다. 기후변화로 인해 강수의 불균형이 심화되고, 가뭄과 홍수가 빈번하게 발생하고 있다. 또한 가뭄과 홍수의 강도가 심화되어 기존의 물관리 시스템을 어렵게 만들고 있다. 2022년 6월부터 2023년 6월까지 영섬유역의 주요 수자원시설 저수율이 대부분 30% 이하였으며 유역 내 가장 용수 의존도가 높은 주암댐의 경우에 역대 최저 저수율인 20.3%까지 하락하였고 평림댐은 2023년 5월 4일 최저 저수율 27.3%를 기록하였다. 평림댐은 2022년 봄부터 강수량 부족으로 2022년 6월 19일 가뭄 관심 단계가 발령되었고 연이어 7월 2일 가뭄 주의 단계, 8월 21일 가뭄 심각 단계에 진입하였다. 수양제와 연계 운영이 가능한 평림댐은 관리기관이 다르다. 그럼에도 불구하고 가뭄 상황에서 유기적 연계 운영을 통해 평림댐에서 저수위에 도달하지 않고 3개군 급수인구 63,000명에게 안정적으로 용수를 공급할 수 있었다. 한정된 수자원 활용을 극대화할 수 있도록 유역간, 수원간 물이동을 원활하게 이동 가능 방안을 검토하여 수요자 중심의 물공급 시스템을 갖추어 기후변화로 인한 물부족 상황에 대비해야 한다.

탈모 환자에서 동규자(冬葵子) 추출물을 함유하는 두피 앰플의 탈모 증상 완화 기능성 및 안전성을 평가하기 위한 임상적 연구 (A Clinical Study to Evaluate the Efficacy and Safety of Hair Ampoules Containing Malva Verticillata Seed Extract in Subject with Alopecia)

  • 송영채;박빛으로;김태준;김용민;이상준;안수현;이춘몽;이광식;이정노;김희택
    • 한방안이비인후피부과학회지
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    • 제37권2호
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    • pp.37-57
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    • 2024
  • Objectives : The purpose of this study is to evaluate the efficacy and safety of hair Ampoules with Malva Verticillata Seed Extract in alopecia patients. Methods : This 24-week clinical study enrolled 70 patients with Alopecia. A series of clinical examinations, subjects were evaluated at 0, 8, 16 and 24-week, counting of the number of hairs on the crown, and subject survey after using the Ampoules. Results : The clinical evaluation showed a significantly difference (p<0.05) after 24 weeks of product use compared to the baseline in the change in hair count in the treatment group compared to the control group within and between groups. It showed greater improvement in the treatment group than in the control group in hair count, hair thickness, and hair loss symptoms in the top of the head and forehead. No severe adverse events were observed during the clinical trial. Counclusions : This suggests that this hair ampoules containing Malva Verticillata Seed Extract could help prevent hair loss in alopecia patients without inducing side effects.

질소 시비조건에 따른 벼 품종의 미질과 식미특성 반응 (Varietal Response to Grain Quality and Palatability of Cooked Rice Influenced by Different Nitrogen Applications)

  • 김정일;최해춘;김광호;안종국;박노봉;박동수;김춘송;이지윤;김제규
    • 한국작물학회지
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    • 제54권1호
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    • pp.13-23
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    • 2009
  • 질소수비 및 실비 시용량을 증시하여 미립내 단백질함량을 증가시킴으로써 이에 따른 식미저하와 쌀의 구조적 특성의 품종별 반응을 정밀하게 분석 검토하였으며, 그 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 현미 단백질함량은 질소 수비 실비의 증량에 따라 표준구(N6) 대비 $35{\sim}47%$까지 증가하였으며 식미가 낮은 품종일수록 증가 정도가 컸고, 동일한 질소 15kg/10a 수준으로 1,2차 수비가 충분히 준 조건에서도 1차 추비에 비해 실비를 준 경우 유메히까리와 레이호우는 현미 단백질함량이 유의하게 증가하였다. 2. 아밀로스함량은 질소 수비 실비의 증시에 따라 대체로 단백질함량과 반대로 변화정도는 품종간 차이보다 미미하지만 감소하는 경향을 나타내었다. 3. 식미 관능총평은 히노히까리 > 유메히까리 > 레이호우 순으로 높았는데 N 12 kg/10a 이상에서 질소 수비 실비 증시에 따라 유의하게 감소하는 경향을 보였으며 식미가 낮은 품종일수록 저하 정도가 컸고, 모든 식미관능 특성이 아밀로스함량보다 단백질함량 변화에 따라 크게 좌우되었으며 식미가 양호한 품종보다 식미가 낮은 품종에서 단백질함량 변화의 영향이 컸다. 4. 미립의 층위별 분포를 보아 외층에서 내층으로 갈수록 단백질함량은 현저히 감소하였고 아밀로스함량은 증가하였다. 식미가 양호한 품종이 낮은 품종에 비해 단백질함량의 분포가 겨층에서 높은 반면 백미층에서 크게 낮았으며 특히 아밀로스함량의 백미 외층 분포비율이 낮았다.

명대의가(明代醫家)들의 두통(頭痛)에 대한 인식변화에 관한 연구 (The Historical Study of Headache in Chinese Ming Dynasty)

  • 전덕봉;맹웅재;김남일
    • 한국의사학회지
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    • 제24권1호
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    • pp.43-56
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    • 2011
  • Everyone once in a life experience headaches as symptoms are very common. According to a study in a country of more than a week and as many as those who have experienced a headache amounts to 69.4%. In addition, the high reported prevalence of migraine in 30s for 80% of all migraine sufferers daily life interfere with work or was affected. In Western medicine, the cause of headaches is traction or deformation of pain induced tissue like scalp, subcutaneous tissue, muscle, fascia, extracranial arteriovenous, nerves, periosteum. But it turns out there are not cause why pain induced tissue is being tracted or deformated. Therefore, most of the western-therapy is mainly conducted with regimen for a temporary symptom reduction. Therefore, I examined how it has been developed in Chinese Ming Dynasty, the perception of headache, change in disease stage and an etiological cause. Oriental medicine in the treatment of headache is a more fundamental way to have an excellent treatment. The recognition of head in "素問($s{\grave{u}}$ $w{\grave{e}}n$)" and "靈樞($l{\acute{i}}ng$ $sh{\bar{u}}$)" began to appear in 'Soul-神($sh{\acute{e}}n$) dwelling place' and 'where to gather all the Yang-'諸陽之會($zh{\bar{u}}$ $y{\acute{a}}ng$ $zh{\bar{i}}$ $hu{\grave{i}}$)'. Also, head was recognized as '六腑($li{\grave{u}}f{\check{u}}$) 淸陽之氣($q{\bar{i}}ng$ $y{\acute{a}}ng$ $zh{\bar{i}}$ $q{\grave{i}}$) and 五臟($w{\check{u}}$ $z{\grave{a}}ng$) 精血($j{\bar{i}}ng$ $xu{\grave{e}}$) gathering place'. More specific structures such as the brain is considered a sea of marrow(髓海-$su{\check{i}}$ $h{\check{a}}i$) in "內經($n{\grave{e}}i$ $j{\bar{i}}ng$)" and came to recognized place where a stroke occurs. Accompanying development of the recognition about head, there had been changed about the perception of headache and the recognition of the cause and mechanism of headache. And the recognition of headache began to be completed in Ming Dynasty through Jin, Yuan Dynasty. Chinese Ming Dynasty, specially 樓英($l{\acute{o}}u$ $y{\bar{i}}ng$), in "醫學綱目($y{\bar{i}}xu{\acute{e}}$ $g{\bar{a}}ngm{\grave{u}}$)", first enumerated prescription in detail by separating postpartum headache. and proposed treatment of headache especially due to postpartum sepsis(敗血-$b{\grave{a}}i$ $xu{\grave{e}}$). 許浚($x{\check{u}}$ $j{\grave{u}}n$) accepted a variety of views without impartial opinion in explaining one kind of headache in "東醫寶鑑($d{\bar{o}}ng-y{\bar{i}}$ $b{\check{a}}oji{\grave{a}}n)$" 張景岳($zh{\bar{a}}ng$ $j{\check{i}}ng$ $yu{\grave{e}}$), in "景岳全書($j{\check{i}}ng$ $yu{\grave{e}}$ $qu{\acute{a}}nsh{\bar{u}}$)", established his own unique classification system-新舊表裏($x{\bar{i}}nji{\grave{u}}$ $bi{\check{a}}ol{\check{i}}$)-, and offered a clear way even in treatment. Acupuncture treatment of headache in the choice of meridian has been developed as a single acupuncture point. Using the classification of headache to come for future generation as a way of locating acupoints were developed. Chinese Ming Dynasty, there are special treatments like 導引按蹻法($d{\check{a}}o$ y ${\check{i}}n$ ${\grave{a}}n$ $ji{\check{a}}o$ $f{\check{a}}$), 搐鼻法($ch{\grave{u}}$ $b{\acute{i}}$ $f{\check{a}})$, 吐法($t{\check{u}}$ $f{\check{a}}$), 外貼法($w{\grave{a}}i$ $ti{\bar{e}}$ $f{\check{a}}$), 熨法($y{\grave{u}}n$ $f{\check{a}}$), 點眼法($di{\check{a}}n$ $y{\check{a}}n$ $f{\check{a}}$), 熏蒸法($x{\bar{u}}nzh{\bar{e}}ng$ $f{\check{a}}$), 香氣療法($xi{\bar{a}}ngq{\grave{i}}$ $li{\acute{a}}of{\check{a}}$). Most of this therapy in the treatment of headache, it is not used here, but if you use a good fit for today's environment can make a difference.

Ganoderma lucium IY009 유래 단백다당류의 분자량 차이에 따른 면역증강활성 (Immunomodulatory Activities by Difference in Molecular Size of the Proteoglycan Extracted from Ganoderma lucidum IY009)

  • 이준우;백성진;방광웅;김용석;김광수;전억한
    • 한국균학회지
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    • 제29권1호
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    • pp.15-21
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    • 2001
  • 본 연구는 Ganoderma lucidum IY009 유래 단백다당류의 분자량 차이에 따른 면역증강활성을 조사하였다. 이것의 분자량은 12kD와 2,000kD의 분자량 분포를 지닌 단백다당류이며, 이 둘 중 어느 분획이 주 약리활성을 나타내는지 규명하기 위해, ultrafiltration 및 column chromatography를 실시하여 고분자 및 저분자 분획으로 분획화를 실시하여 이들에 대한 약리활성을 조사하였다. 항보체 활성화 정도는 항암 활성이 높았던 GMPG-CH 분획에서 가장 높은 393%의 활성능을 보였으며. 고분자 분획이 저분자 분획보다 높은 항보체 활성을 나타내어 단백다당류의 항보체 활성은 항암 활성과 어떠한 관계가 있는 것으로 추정된다. 대식세포에 미치는 영향을 알아보기 위하여 Raw 264.7 세포에 고분자 및 저분자 분획을 첨가하고 nitric oxide 생성 능을 측정한 결과, ${\beta}$-결합 당의 함량이 높은 고분자 분획이 대식세포에 대한 NO 생성능이 높게 나타나는 것을 알 수 있었으며, 대식세포의 활성화 인자인 $IFN-{\gamma}$의 병용 첨가시에는 $IFN-{\gamma}$ 단독 첨가시 보다 약 $5{\sim}26{\mu}M$의 nitric oxide 생성을 증가시키는 것을 알 수 있었다. 종양세포의 괴사 및 NK 세포의 활성화에 관여하는 것으로 알려진 $TNF-{\alpha}$의 생성을 알아본 결과, 고분자 분획인 GMPG-UH와 GMPG-CH는 각각 $3,068.0{\rho}g/ml$$2,975.3 {\rho}g/ml$였고, 저분자에서는 GMPG-UL과 GMPG-CL은 각각 $1,400{\rho}g/ml$를 생성하는 것으로 조사되었다.m}0.25\;Oe$로 전형적인 연자성 재료의 범위로 나타났다. 초투자율, 손실계수, 및 큐리온도는 각각 $2,948{\sim}2,997,\;171{\sim}208,\;191{\sim}202^{\circ}C$로 나타나 Ni-Zn ferrite에서 측정되는 값들과 대동소이했다. 물리적인 특성값(고유저항, 자기유도, 초투자율, 손실계수, 큐리온도 등)으로 미루어보아 각종 microwave 통신기기 core 및 고 투자율 deflection yoke core 등으로 사용이 가능하다.의 쐐기를 사용할 때 MU값이 크다. 결론: 수집된 광자선 빔 데이터를 분석하여 빔데이터의 정확성과 치료계획용 시스템의 계산 정확성을 대략적으로 점검 할 수 있는 기준 값을 제시하였다.동결이 요구되며 본 연구에서 이용된 OPS 동결 방법이 폭넓게 활용될 것으로 사료된다.며 이 때가 최상의 교배 적기로 사료되며, 혈장 progesterone농도가 4.0 ng/ml 이상으로 증가한 날(Bay 0)을 기준으로 하였을 때부터 CI는 혈장 estradiol-$17{\beta}$ peak 후 1일째인 최고치를 나타내었고, CI peak 후 1일째인 Day 0에 혈장 progesterone 농도가 최초로 4.0 ng/ml 이상으로 증가하여 CI가 90% 이상으로 지속된 시기가 최상의 교배 적기임이 확인되었다. 따라서 혈장 progesterone농도 측정으로 정확한 배란 시기 및 교배 적기를 판정할 수 있으나, 시설비가 저렴하고 검사 방법이 간단한 질 세포 검사가 Shih-tzu 견에서 발정 주기, 교배 적기 및 배란 시기의 판정에 응용될 수 있음을 시사하는 결과라고 사료된다.골계가 높은 경향을 보였다. 3) Fe의 함량은 백봉오골계와 연산오골계 모두 다리살이 가슴살보다 더 높았으며, 다리살 중의 Fe 함량을 비교해 보았을 때 백봉오골계가 3.9

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감염성 승모판 심내막염의 중단기 수술 성적 (Early and Mid-term Results of Operation for Infective Endocarditis on Mitral Valve)

  • 안병희;전준경;유웅;류상완;최용선;김병표;홍성범;범민선;나국주;박종춘;김상형
    • Journal of Chest Surgery
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    • 제37권1호
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    • pp.27-34
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    • 2004
  • 배경: 감염성 심내막염은 다른 심장질환에 비해 유병률과 사망률이 높고, 대부분의 임상연구가 대동맥판에 발생한 심내막염에 편중되어 있어, 승모판 심내막염에 대한 보고는 상대적으로 드문데 이에 대한 임상양상 및 수술 결과를 분석하여 보고하고자 한다. 대상 및 방법: 1995년 6월부터 2003년 5월까지 전남대학교병원에서 감염성 승모판 심내막염으로 단일 술자에 의해서 외과적 치료를 받았던 23 예을 대상으로 하였다. 2예는 인공판막 심내막염이었고 나머지 21예는 자가판막 심내막염이었다. 환자의 평균 연령은 44.8$\pm$15.7 (11∼66)세였고 연령분포에는 큰 차이가 없었다. 17예에서는 혈역학적 불안정이나 거대 우종으로 응급수술을 시행하였다. 수술 전 12예에서 울혈성 심부전, 4예에서 신부전, 2예에서 비장 및 신장경색, 2예에서 일시적 뇌손상, 1예에서 뇌농양 소견을 보였다. NYHA 기능 분류상 Grade II가 7예, Grade III가 9예, Grade IV가 6예이었다. 술 전 심초음파상 승모판 역류우세가 19예, 협착우세가 4예이었으며, 우종은 20예(86.9%)에서 관찰되었다. 혈액배양 검사상 10예(43.4%)에서 원인균이 동종되었는데 Streptococcus viridans 5예, methicillin sensitive Staphylococcus aureus 2예, 그리고 Corynebacterium, Haemophillis, Gernella 각각 1예씩 이었다. 수술 적응증은 ACC/AHA 지침에 근거하였으며, 평균 외래 추적관찰기간은 27.6$\pm$23.3 (1∼97)개월이었다. 결과: 13예에서 승모판치환술을 시행하였는데 9예에서 기계판막을 사용하였고 4예에서 조직판막을 사용하였다. 10예에서 다양한 수기의 승모판성형술을 시행하였다. 동반수기로는 6예에서 대동맥판 치환술, 2예에서 삼첨판 성형술, 1예에서 변형된 미로수술, 1예에서 심실중격결손 낙합술을 시행하였다. 술 후 합병증으로는 출혈에 의한 재수술 2예, 종격동염 1예, 저심박출증 1예, 페렴 1예가 있었다. 술 후 30일 이내의 조기사망이나 병원 내 사망 및 판막 연관성 합병증은 없었다. 1예의 환자가 수술 3개월 후 다시 판막성형술을 받았고, 술 전 우종 전색에 의한 뇌경색을 보인 1예의 환자가 술 후 31개월에 뇌출혈로 사망하여 만기 전 체판막 연관성 사망률은 4.3%, 판막연관성 합병증은 8.6%였다. 1, 3, 5년 valve-related event free rate는 90.8%, 79.5%, 79.5%이었고 1, 3, 5년 생존율은 100%, 88.8%, 88.8% 이었다. 결론: 승모판 심내막염의 외과적 치료 시에는 감염된 조직의 완전 절제가 중요하며, 감염된 조직을 완전히 제거하면 대체물이나 수술 기법상의 차이가 결과에 미치는 영향은 크지 않을 것으로 판단되고, 술 전에 감염이나 우종 전색에 의한 뇌손상이 의심되는 환자에서는 술 후 추적관찰 중에도 뇌혈관 손상 가능성에 대해 주의 깊게 관찰하여야 할 것으로 생각된다.

하수처리수 관개후 벼재배 시험구에서 지표미생물 거동 분석 (Analysis of Indicator Microorganism Concentration in the Rice Cultural Plot after Reclaimed Water Irrigation)

  • 정광욱;전지홍;함종화;윤춘경
    • 생태와환경
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    • 제37권1호통권106호
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    • pp.112-121
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    • 2004
  • 이 연구에서는 하수처리수를 농업용수로써 재이용시 발생할 수 있는 위생문제를 검토하기 위해 하천수, biofilter 유출수, 그리고 UV소독수를 관개한 벼재배 실험포트에서 지표미생물의 밀도변화를 조사하였다. 우리나라 하수처리장 유출수 수질기준을 살펴보면, USEPA에서 정하고 있는 농업용수 재이용 수질기준 항목인 $BOD_5$와 SS의 수질기준은 만족시키지만, 대장균의 경우추가적인 처리가 필요한 것으로 나타났다. 벼 식재 직후인 5월과 6월의 경우 관개 후 24시간 동안의 평균밀도가 $10^2{\sim}10^4$의 범위에서 관개용수의 밀도와 상관없이 지표미생물의 밀도변화는 크게 나타나지 않았다. 이 시기에는 기비와 추비로 인해 미생물의 성장에 필요한 영양물질, 교란된 저질의 높은 미생물 밀도 등에 영향을 받고 논의 벼 생육생태가 덜 성숙되었기 때문으로 판단된다. 그러나 7월과 8월은 처리구별로 밀도차이가 컸고 24시간 동안 변화폭도 컸으며, 관개용수 미생물밀도에 영향도 일부 나타났다. 실험기간동안 지표미생물의 밀도를 관개용수별로 분산 분석한 결과, UV소독 후 관개한 경우가 하천수와 biofilter 유출수를 사용한 경우보다 낮은 밀도를 나타내었다. 실제 논농사가 이루어지고 있던 양평군의 하천관개 논과 여주군의 지하수관개 논의시료분석에서 지표미생물 밀도는 FC, E. coli밀도가 TC밀도보다 크게 낮았으며, 시기별로 밀도의 차이가 있으나, TC, FC, 그리고 E. coli의 평균밀도가 약 4,000, 400,300 MPN/100mL범위를 나타내었다. TC의 밀도는 본 실험포트 실험과 유사한 범위이었으며, FC와 E. coli는 실험포트에서 초기 경운시 사용된 biofilter 유출수의 영향으로 실제 논보다 높은 값이었다. 이앙기 때에는 특별히 논 표면수와 신체접촉이 많은 점을 고려할 때 하수처리수만을 관개하여 이앙준비를 하는 것보다 하수처리수를 보조관개용수로 사용하는 것이 보다 안전할 것으로 판단된다. 하수처리수를 농업용수로 재이용할 경우 하수처리수를 관개용수로 직접 이용하기보다는 UV소독으로 보건 위생학적으로 높은 안정성을 확보할 수 있으며 하수처리수재이용 수질기준에도 적합할 수 있을 것이다. 그러나 벼의 생육에 영향을 줄 수 있는 영양물질과다로 인한 도복문제, 하수처리수에 존재할 수 있는 독성물질에 의한 영향 등 하수처리수를 관개강수로 이용하는 데에는 종합적이고 과학적인 고찰이 필요하며, 본연구의 결과는 하수처리수를 농업적으로 이용할 경우 공공의 보건 ·위생적인 안전을 확보하기 위한 기초연구로서의 성격을 갖는다고 할 수 있다.

제주도 고산 습지에서 분리한 Bacteroidetes, Firmicutes, Actinobacteria 문에 속하는 신종후보 세균 (Novel Species Candidates Belonging to the Phyla Bacteroidetes, Firmicutes, and Actinobacteria Isolated from the Halla Mountain Wetlands)

  • 최아영;최재희;강지영;최정욱;이상훈;김하늘;이하나;신영민;장광엽;이현환;김규중;조기성;천종식;김승범;조장천
    • 환경생물
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    • 제29권3호
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    • pp.126-137
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    • 2011
  • 제주도 한라산의 숨은물벵뒤 습지는 여러 다른 생태계에 비해 접근이 용이하지 않아 생물다양성이 높다고 여겨져 왔으나, 세균의 다양성과 새로운 종에 대한 보고는 전혀 이루어지지 않았다. 본 연구에서는 제주도 한라산의 고산 습지인 숨은물벵뒤 습지에서 담수 및 토양시료를 채취하여 Bacteroidetes, Firmicutes, Actinobacteria문에 속하는 세균을 분리하였다. 분리된 세균 중 위의 3개의 문에 속하는 균주의 16S rRNA 유전자 염기서열을 구한 다음 표준균주와 비교하였으며, 16S rRNA 유전자 염기서열의 유사도가 표준균주와 98.7% 미만인 균주를 신종후보 균주로 간주하였다. 전체적으로 과 및 속 수준의 다양성은 높지 않았으며, 특정 계통에 집중되어 신종후보 균주가 발굴되었다. Bacteroidetes 문에는 Mucilaginibacter, Sphingobacterium, Pedobacter, Flavobacterium, Chryseobacterium 속에 속하는 13개의 후보신종이 확인되었다. Firmicutes 문에는 Paenibacillus, Lysinibacillus, Bacillus 속에 해당하는 13개의 후보신종이 배양되었다. Actinobacteria 문에는 Mycobacterium과 Nocardia에 속하는 후보신종 2개가 발굴되었다. 분리된 28개의 후보신종에 대하여 배양학적 특징, 생리학적 특징, 화학분류적 특징을 조사하였으며 본 논문에 기재하였다. 종합적으로 숨은물벵뒤 습지는 아직까지 배양되지 않은 많은 수의 신종 미생물을 포함하고 있는 생태계임이 확인되었다.

GPU Based Feature Profile Simulation for Deep Contact Hole Etching in Fluorocarbon Plasma

  • Im, Yeon-Ho;Chang, Won-Seok;Choi, Kwang-Sung;Yu, Dong-Hun;Cho, Deog-Gyun;Yook, Yeong-Geun;Chun, Poo-Reum;Lee, Se-A;Kim, Jin-Tae;Kwon, Deuk-Chul;Yoon, Jung-Sik;Kim3, Dae-Woong;You, Shin-Jae
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.80-81
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    • 2012
  • Recently, one of the critical issues in the etching processes of the nanoscale devices is to achieve ultra-high aspect ratio contact (UHARC) profile without anomalous behaviors such as sidewall bowing, and twisting profile. To achieve this goal, the fluorocarbon plasmas with major advantage of the sidewall passivation have been used commonly with numerous additives to obtain the ideal etch profiles. However, they still suffer from formidable challenges such as tight limits of sidewall bowing and controlling the randomly distorted features in nanoscale etching profile. Furthermore, the absence of the available plasma simulation tools has made it difficult to develop revolutionary technologies to overcome these process limitations, including novel plasma chemistries, and plasma sources. As an effort to address these issues, we performed a fluorocarbon surface kinetic modeling based on the experimental plasma diagnostic data for silicon dioxide etching process under inductively coupled C4F6/Ar/O2 plasmas. For this work, the SiO2 etch rates were investigated with bulk plasma diagnostics tools such as Langmuir probe, cutoff probe and Quadruple Mass Spectrometer (QMS). The surface chemistries of the etched samples were measured by X-ray Photoelectron Spectrometer. To measure plasma parameters, the self-cleaned RF Langmuir probe was used for polymer deposition environment on the probe tip and double-checked by the cutoff probe which was known to be a precise plasma diagnostic tool for the electron density measurement. In addition, neutral and ion fluxes from bulk plasma were monitored with appearance methods using QMS signal. Based on these experimental data, we proposed a phenomenological, and realistic two-layer surface reaction model of SiO2 etch process under the overlying polymer passivation layer, considering material balance of deposition and etching through steady-state fluorocarbon layer. The predicted surface reaction modeling results showed good agreement with the experimental data. With the above studies of plasma surface reaction, we have developed a 3D topography simulator using the multi-layer level set algorithm and new memory saving technique, which is suitable in 3D UHARC etch simulation. Ballistic transports of neutral and ion species inside feature profile was considered by deterministic and Monte Carlo methods, respectively. In case of ultra-high aspect ratio contact hole etching, it is already well-known that the huge computational burden is required for realistic consideration of these ballistic transports. To address this issue, the related computational codes were efficiently parallelized for GPU (Graphic Processing Unit) computing, so that the total computation time could be improved more than few hundred times compared to the serial version. Finally, the 3D topography simulator was integrated with ballistic transport module and etch reaction model. Realistic etch-profile simulations with consideration of the sidewall polymer passivation layer were demonstrated.

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