귀금속을 함유한 알루미나 촉매층을 에어로졸 화염 증착법으로 증착한 $Pd/SnO_2$ 박막 가스 센서 어레이 (SnO$_2$ Thin Films Gas Sensor Arrays Using Noble Metal Catalysis Doped Alumina Catalytic Layer Fabricated by Aerosol Flame Deposition Method)

• 이광철;문종하;김진혁;이병택
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2000년도 추계총회,초청강연,특별강연,연구발표회
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  • pp.156.1-156
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  • 2000
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ECRPECVD법으로 증착한 SiOF 박막의 잔류응력 안정화에 관한 연구 (A Study on the stabilization of residual stress in SiOF thin films deoposited by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition)

• 김석필;박영수;정일섭;최시경
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2000년도 추계총회,초청강연,특별강연,연구발표회
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  • pp.192.1-192
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  • 2000
• PDF

Preparation and Characterization of Thin Oxide Film Deposited by Ion-Assist-Deposition(IAD)

• Cho, Jun-Sik;Choi, Won-Kook;Yoon, Ki-Hyun;Jung, Hyung-Jin
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1996년도 제10회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.59-59
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  • 1996
• PDF

증착 온도가 이온빔 스퍼터링 법으로 제조된 ZnO:Al 박막의 전기적 광학적 특성에 미치는 영향 (Effect of Substrate Deposition Temperature on the Electrical and Optical Properties of ZnO:Al Films Ion Beam Sputtering Method)

• 성진욱;윤기현;조준식;고석근
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2002년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.96.2-96
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  • 2002
• PDF

Growth of Single Crystalline SiC Nanowires by Chemical Vapor Deposition

• Sung, Han-Kyu;Choi, Heon-Jin;Lee, June-Gunn
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2002년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.31.2-31
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  • 2002
• PDF

무전해 도금법으로 제조한 $Al_2O_3/Ni$ Composite의 TEM 미세조직 (TEM Microstructure of $Al_2O_3-Ni$ Composites by Electroless Deposition)

• 이재영;한재길;이병택
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2002년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.179.2-179
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  • 2002
• PDF

CVD법을 이용한 SiC Whisker 합성 (Synthesis of Silicon Carbide Whisker by Chemical Vapor Deposition)

• 박종훈;강석민;김원주;류우석;박지연
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2002년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.22.1-22
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  • 2002
• PDF

분자동역학을 이용한 Co-Al 시스템의 낮은 에너지 증착 거동 전산모사 (Low-energy Deposition Behavior in Co-Al System using Classical MD Simulation)

• 김상필;이승철;이광렬;정용재
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2002년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.113.1-113
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  • 2002
• PDF

전착법에 의한 SOFC용 나노 SDC 전해질 박막의 제조 (Fabrication of Thin Film Nano-SDC Layer by Electrophoretic Deposition Technique)

• 이용진;안진호;김상우;배동식;이종호;윤석민;방재희
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2002년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.196.1-196
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  • 2002
• PDF

원자층 증착법으로 성장된 $SiO_2$ 박막의 전기적 특성 (Electrical Characteristics of $SiO_2$ Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition)

• 김운중;이주현;한창희;나사균;이원준
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2003년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.101.2-101
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  • 2003
• PDF

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