Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Electrical Characteristics of $SiO_2$ Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition

원자층 증착법으로 성장된 $SiO_2$ 박막의 전기적 특성

  • 김운중 (세종대학교 신소재공학과) ;
  • 이주현 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 한창희 (한밭태학교 재료공학과) ;
  • 나사균 (한밭태학교 재료공학과) ;
  • 이원준 (세종대학교 신소재공학과)
  • Published : 2003.10.17
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