최근 나노임프린트 리소그래피 공정이 마이크로/나노 스케일의 소자 개발에 있어서 경제적으로 대량 생산할 수 있는 기술로 주목 받고 있다. 자외선경화 방식의 나노임프린트의 경우 상온 및 저압의 장점과 함께 비진공 환경에서 공정을 통하여 설비 비용의 저감과 생산공정의 고속화를 달성할 수 있다. 그러나 이 경우 비진공 환경에서 발생하는 기포결함의 문제를 해결해야만 한다. 본 연구에서는 비진공 환경에서의 자외선경화 방식의 나노임프린트 공정에서 몰드 중공부 단면의 형상과 기포결함 발생 관계를 연구하였다. 일반적으로 많이 사용되는 사각형 단면과 타원형 단면 그리고 삼각형 단면에 대하여 2차원 유동해석 및 VOF 방법을 통하여 기포결함을 시뮬레이션 하였고 단면의 형상과 다양한 접촉각에 따른 유동선단의 특성을 분석하였다. 해석결과 몰드 중공부 형상은 기포결함 발생에 매우 중요한 영향을 미치며, 고려된 형상 모두 몰드와의 접촉각이 작을수록, 기판과의 접촉각이 클수록 기포결함 발생 가능성이 작아짐을 알 수 있었다. 또한 타원형 형상이 기포결함 발생방지 측면에서 가장 효과적임을 확인하였다.
Nucleate pool boiling experiments with constant heat flux condition were performed using pure R113 for various channel heights under saturated pool condition. A circular heater of 1mm diameter, with artificial cavity in the center, fabricated using MEMS technique and the high-speed controller were used to maintain the constant heat flux. Images of bubble growth were taken at 5,000 frames per second using a high-speed CCD camera. The bubble geometry was obtained from the captured bubble images. The effects of channel height on the bubble growth behaviors were analyzed as dimensional scales for the initial and thermal growth regions. The parameters for the bubble growth behaviors were bubble radius, bubble growth rate, and bubble shapes. These phenomena require further analysis for various surface angles, but this study will provide good experimental data with constant heat flux boundary condition for such works.
Nucleate pool boiling experiments with constant heat flux condition were performed using pure R11 and R113 for various surface angles under saturated pool condition. A circular heater of 1 mm diameter, with artificial cavity in the center, fabricated using MEMS technique and the high-speed controller were used to maintain the constant heat flux. Images of bubble growth were taken at 5,000 frames per second using a high-speed CCD camera. The bubble geometry was obtained from the captured bubble images. The effects of surface angles on the bubble growth behaviors were analyzed as dimensional scales for the initial and thermal growth regions. The parameters for the bubble growth behaviors were bubble radius, bubble growth rate, sliding velocity, bubble shape and advancing and receding contact angles. These phenomena require further analysis for various surface angles, but this study will provide good experimental data with constant heat flux boundary condition for such works.
Thermal bubble formation is a fundamental process in nucleate boiling heat transfer and many microelectromechanical thermal systems. One of the established facts is that heterogeneous nucleation is originated from vapors trapped inside cavities. Based on this, we performed an experimental study on the formation of thermal bubbles from microcavity fabricated by microfabrication technology on a copper plate. The cavity was filled with aluminum particles to enhance thermal bubble formation. We observed the thermal bubble behaviors, such as bubble incipience, diameter, frequency and coalescence during nucleate boiling. The experimental data showed that the superheat required to trigger the bubble formation was significantly reduced when the cavity was filled with microparticles. We found that the initial increase of superheat led to the increase of both the departure diameter and frequency while the further increase of superheat caused multiple bubbles to coalesce resulting in the decrease of departure frequency.
In a closed square cavity filled with a liquid, a cooled the upper horizontal wall and a heated the lower horizontal wall, the flow isn't generated under the ground-based condition when Rayleigh number is lower than 1700. In such case the flow phenomena near an air bubble under a cooled horizontal wall were investigated. The temperature and the flow fields were studied by using the Thermo-sensitive Liquid-Crystal and the image processing. The qualitative analysis for the temperature and the flow fields were carried out by applying the image processing technique to the original data. Injecting bubble at the center point of upper cooled wall, the symmetry shape of two vortexes near an air bubble was observed. The bubble size increased, the size of velocity and the magnitude of velocity increased. In spite of elapsed time, a pair of two vortexes was the unique and steady-state flow in a square cavity and wasn't induce to the other flow in the surround region.
Kim, Jeong-Bae;Kim, Hyung-Dae;Lee, Jang-Ho;Kwon, Young-Chul;Kim, Jeong-Hoon;Kim, Moo-Hwan
Journal of Mechanical Science and Technology
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제20권11호
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pp.1980-1992
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2006
Nucleate pool boiling experiments were performed using pure R11 for various surface angles under constant heat flux conditions during saturated pool boiling. A 1-mm-diameter circular heater with an artificial cavity in the center that was fabricated using a MEMS technique and a high-speed controller were used to maintain the constant heat flux. Bubble growth images were taken at 5000 frames per second using a high-speed CCD camera. The bubble geometry was obtained from the captured bubble images. The effects of the surface angle on the bubble growth behavior were analyzed for the initial and thermal growth regions using dimensional scales. The parameters that affected the bubble growth behavior were the bubble radius, bubble growth rate, sliding velocity, bubble shape, and advancing and receding contact angles. These phenomena require further analysis for various surface angles and the obtained constant heat flux data provide a good foundation for such future work.
In this article, vapor bubble nucleation in liquid and the evaporation process of a liquid droplet at its superheat limit were discussed from the viewpoint of molecular clustering (molecular cluster model for bubble nucleation). For the vapor bubble formation, the energy barrier against bubble nucleation was estimated by the molecular interaction due to the London dispersion force. Bubble nucleation by quantum tunneling in liquid helium under negative pressure near the absolute zero temperature and bubble nucleation on cavity free micro heaters were also presented as the homogenous nucleation processes.
In a square cavity, the flow phenomena in the surrounding of the bubble attached at the upper cooled solid wall were studied by using a thermo-sensitive liquid-crystal tracer and image processing techniques. This method offers the advantage of measuring the entire flow field in a selected plane within the fluid at a given instant of time in contrast to point by point method like T/C. Quantitative data of the temperature were obtained by applying a colour-image-processing to the. visualized image. As the growing of a bubble, In a bubble size appears the flow phenomena which the direction of flow is reversed in the entire temperature and flow field. The observed phenomena are described with regard to thermocapillary convection.
Observed spectra of stars around the Sun have indicated that the Sun is located in a gas cavity, extending to 100pc. This gas cavity is called the "Local Bubble". The density of the interstellar medium (ISM) in the local bubble is about one tenth that of the average for the ISM in the Milky Way. Furthermore, some structures such as gas planes and strings in the local bubble are probably the result of supernovae. These, due to their low temperatures, can not be observed in the visible and infrared. The only way to do so is to measure the spectra of nearby stars so that the light of stars passing through the local bubble is absorbed by existing gas and the resulting spectral lines from absorption can be measured. In this study, we use binary stars to trace the local bubble structures through lines such as the Na I Doublet. First, we determined the observed spectral lines of stars by HARPS and FEROS echelle spectrographs. Then, we made synthetic spectra with the ATLAS9 code. Finally, the difference between the observational and synthetic spectra confirms the existence of the Na I Doublet in the local ISM.
In this study, the formation mechanism of discontinuities in the laser fusion zone of diamond saw blade was investigated. $CO_2$ laser weldings were conducted along the butt between Fe base sintered tip and carbon steel shank with sets of variable welding parameters. The effect of heat input on irregular humps, outer cavity, inner cavity and bond strengh was evaluated. The optimum heat input to have a proper humps was in the range of 10.4~$17.6kJm_{-1}$. With increasing heat input, both outer and inner cavities were reduced. The outer cavity was caused by insufficient refill of keyhole, while inner cavity was caused by trapping of bubble in molten metal. The bubble came from sintered tip and intensive vaporization at bottom tip of the keyhole. A gas formation and low melting point element vaporization were not occurred during welding. We could not find any relationship between bond strength and amount of discontinuities. Because the fracture were occurred in not only sintered tip but also carbon steel shank due to hardness distributions.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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