• 한국표면공학회:학술대회논문집
• /
• 한국표면공학회 2003년도 춘계학술발표회 초록집
• /
• pp.41-41
• /
• 2003

텅스텐(W)은 높은 thermal stability 와 process compatibility 및 우수한 corrosion r resistance 둥으로 integrated circuit (IC)의 gate 및 interconnection 둥으로의 활용이 대두되고 있으며, 차세대 thin film transistor liquid crystal display (TFT-LCD)의 gate 및 interconnection m materials 둥으로 사용되고 았다. 그러나, 이러한 장점을 가지고 있는 팅스텐 박막이 실제 공정상에 적용되가 위해서는 건식 식각이 주로 사용되는데, 이는 wet chemical 을 이용한 습식 식각을 사용할 경우 낮은 etch rate, line width 의 감소 및 postetch residue 잔류 동의 문제가 발생하기 때문이다. 또한 W interconnection etching 을 하기 위해서는 높은 텅스텐 박막의 etch rate 과 하부 layer ( (amorphous silicon 또는 poly-SD와의 높은 etch selectivity 가 필수적 이 라 할 수 있다. 그러 나, 지금까지 연구되어온 결과에 따르면 텅스탠과 하부 layer 와의 etch selectivity 는 2 이하로 매우 낮게 관찰되고 았으며, 텅스텐의 etch rate 또한 150nm/min 이하로 낮은 값을 나타내고 있다. 따라서 본 연구에서는 halogen-based inductively coupled plasma 를 이용하여 텅스텐 박막 식각시 여러 가지 첨가 가스에 따른 높은 텅스탠 박막의 etch rate 과 하부 layer 와의 높은 etch s selectivity 를 얻고자 하였으며, 그에 따른 식각 메커니즘에 대하여 알아보고자 하였다. $CF_4/Cl_2$ gas chemistry 에 첨 가 가스로 $N_2$와 Ar을 첨 가할 경 우 텅 스텐 박막과 하부 layer 간의 etch selectivity 증가는 관찰되지 않았으며, 반면에 첨가 가스로 $O_2$를 사용할 경우, $O_2$의 첨가량이 증가함에 따라 etch s selectivity 는 계속적으로 증가렴을 관찰할 수 있었다. 이는 $O_2$ 첨가에 따라 형성되는 WOF4 에 의한 텅스텐의 etch rates 의 감소에 비하여, $Si0_2$ 등의 형성에 의한 poly-Si etch rates 이 더욱 크게 감소하였기 때문으로 사료된다. W 과 poly-Si 의 식각 특성을 이해하기 위하여 X -ray photoelectron spectroscopy (XPS)를 사용하였으며, 식각 전후의 etch depth 를 측정하기 위하여 stylus p pmfilometeT 를 이용하였다.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
• /
• 제18권10호
• /
• pp.1061-1066
• /
• 1997

The complexes M(CO)4-1,2-(PPh2)2-1,2-C2B10H10 (M=Cr 2a, Mo 2b, W 2c) have been prepared in good yields from readily available bis-diphenylphosphino-o-carboranyl ligand, closo-1,2-(PPh2)2-1,2-C2B10H10 (1), by direct reaction with Group Ⅵ metal carbonyls. The infrared spectra of the complexes indicate that there is an octahedral disposition of chelate bis-diphenylphosphino-o-carboranyl ligand around the metal atom. The crystal structure of 2a was determined by X-ray diffraction. Complex 2a crystallizes in the monoclinic space group P21/n with cell parameters a = 12.2360(7), b = 17.156(1), c = 16.2040(6) Å, V = 3354.1(3) Å3, and Z =4. Of the reflections measured a total of 2514 unique reflections with F2 > 3σ(F2) was used during subsequent structure refinement. Refinement converged to R1 = 0.066 and R2 = 0.071. Structural studies showed that the chromium atom had a slightly distorted pseudo-octahedral configuration about the metal center with two phosphine groups of o-carborane occupying the equatorial plane cis-orientation to each other. These metal carbonyl complexes are rapidly converted to the corresponding metal carbene complexes, [(CO)3M=C(OCH3)(CH3)]-1,2-(PPh2)2-1,2-C2B10H10 (M= Cr 3a, Mo 3b, W 3c), via alkylation with methyllithium followed by O-methylation with CF3SO3CH3.

• 농업생명과학연구
• /
• 제52권6호
• /
• pp.61-72
• /
• 2018

The aim of this present study was to investigate the impact of different seeding rate and nitrogen fertilizing levels on the seed yield and feed value of oats(Avena sativa L.) grown in Gyeongbuk area for two years. The experiment was arranged in split plot design with 3 main plots(100, 130 and 160 kg of seed/ha) and 4 subplots(0, 50, 70 and 90 kg N/ha), with 3 replicates. Heading, flowering, and maturing dates of oats sown in spring 2017, delayed by two days compared to that of spring 2016, and the plant height of spring 2017 were significantly shorter than that of spring 2016(18.1 ~ 23.4 cm). In addition, the highest number of stems and number of panicles according to different seeding rate and nitrogen fertilizing levels were achieved with the seeding rate of 160 kg/ha and 90 kg of N/ha in 2016 and 2017, respectively. In case of seed yield as affected by different seeding rate, the highest seed yield was achieved with a seeding rate of 130 kg/ha(p<0.05), and based on nitrogen fertilizing levels, the highest yield was obtained in 50 kg of N/ha compared to others. The crude fiber(CF), neutral detergent fiber(NDF) and total digestible nutrients(TDN) of oats cultivated and harvested in spring 2016 and 2017 according to different sowing rate were the highest in the seeding rate of 130 kg/ha. The crude protein(CP) content and total digestible nutrients(TDN) of 2016-2017 as influenced by nitrogen fertilizer levels were the highest in the nitrogen fertilizer level of 90 and 50 kg N/ha, respectively. In conclusion, the proper seeding rate and the optimal nitrogen fertilizing level in Gyeongju, Gyeongbuk province were considered to be the most appropriate in 130 kg/ha and 50 kg of N/ha, respectively.

• 한국전기전자재료학회논문지
• /
• 제36권2호
• /
• pp.99-108
• /
• 2023

Currently, semiconductor manufacturing industry heavily relies on a wide range of high global warming potential (GWP) gases, particularly during etching and cleaning processes, and their use and relevant carbon emissions are subject to global rules and regulations for achieving carbon neutrality by 2050. To replace high GWP gases in near future, dry etching using alternative low GWP gases is thus being under intense investigations. In this review, we report a current status and recent progress of the relevant research activities on dry etching processes using a low GWP gas. First, we review the concept of GWP itself and then introduce the difference between high and low GWP gases. Although most of the studies have concentrated on potentially replaceable additive gases such as C₄F₈, an ultimate solution with a lower GWP for main etching gases including CF₄ should be developed; therefore, we provide our own perspective in this regard. Finally, we summarize the advanced dry etch process research with low GWP gases and list up several issues to be considered in future research.

• Asian-Australasian Journal of Animal Sciences
• /
• 제15권4호
• /
• pp.522-527
• /
• 2002

The experiment was conducted for a period of 56 days with twelve Bangladeshi bull calves of average body weight of $127.20{\pm}11.34$ kg. The calves were divided into 3 groups having 4 animals in each. The animals were fed urea-treated rice straw designated as A) 4% urea-treated rice straw, B) 4% urea+4% soybean-treated rice straw and C) 4% urea+6% soybean-treated rice straw. In addition, all the animals were supplied 2 kg green grass, 350 g Til-oil-cake and 100 g common salt per 100 kg body weight of animals. Straw was treated with 4% urea solution and soybean meal at 4 and 6% were added to treated straw and kept for 48 h in double layer polythene bags under anaerobic condition. Urea treatment improved crude protein (CP) content of rice straw from 2.68 to 8.70% and it was further increased by 10.74 and 12.12% with the addition of 4 and 6% soybean meal. Dry matter (DM) intake (kg) was higher (p<0.05) in C (4.2) followed by B (4.1) and A (4.0). Crude protein intake was significantly higher (p<0.05) in group B and C than group A. Total live weight gains were 20.2, 24.8 and 25.6 kg for calves of group A, B and C respectively (p<0.01). The addition of soybean meal to treated rice straw did not affect the coefficients of digestibility of DM, OM, EE and NFE. However, CP and CF digestibility were significantly higher in group B and C (p<0.05). The values for digestible crude protein (DCP), digestible ether extract (DEE), digestible nitrogen free extract (DNFE) and total digestible nutrients (TDN) were significantly (p<0.05) higher in diet C and B in comparison to diet A, but there were no significant difference in digestible organic matter (DOM) and digestible crude fibre (DCF) value among the groups. It may be concluded that 4% urea treated rice straw can be fed to growing bull calves with 2 kg green grass and a small quantity of concentrate without any adverse effect on feed intake and growth. Moreover, soybean meal at 4 and 6% can be added to urea treated rice straw at the time of treatment for rapid hydrolyzing of urea, which resulted an improvement in nutrient digestibility and better utilization of rice straw for growth of growing bull calves.

• 한국초지조사료학회지
• /
• 제26권4호
• /
• pp.227-232
• /
• 2006

본 시험은 가축분뇨와 시비시기가 추파 호밀의 생육특성, 사초수량 및 조단백질 함량에 미치는 영향을 구명하기 위하여 실시하였다. 본 시험은 처리구로 화학비료 150N 전량기비구(CFB 150), 화학비료150N분시구(CFS150), 액상돈분 150N기비구(SLB150), 액상돈분150N분시구(SLS150), 액상돈분 300N기비구(SLB300), 액상돈분 300N분시구(SLS300), 액상우분 150N기비구(CLB150), 액상우분150N분시구(CLS150), 액상우분300N기비(CLB300), 액상우분300N분시(CLS300)로 10처리 3반복의 난괴법으로 하였다. 호밀의 출수기는 화학비료구와 돈분구는 4월 17일로 우분구는 4월 16일로 1일 늦었다. 화학비료의 녹체성은 다른 처리구 보다 높았고, 질소비료의 양이 증가할수록 녹체성이 높았으며 이는 호밀의 조단백질 함량 증가가 원인이었다. 그러나 호밀의 내도복성은 녹체성과는 반대로 질소비료가 적고 기비만 준 구에서 높았다. 화학비료의 건물률은 액상돈분 및 액상우분 보다 낮았다. 화학비료의 생초 및 건물수량은 액비보다 높았다. 건물수량은 분시와 전량기비 간에 차이가 없었다. 화학비료의 조단백질 함량 및 수량은 액상돈분 및 액상우분 보다 많았으며, 분시는 전량기비 보다 16%에서 18% 많았다. 이상의 결과를 볼 때 액상돈분 및 액상우분은 화학비료 보다 사초생산성이 낮았다. 그리고 분시는 전량기비 보다 건물 및 조단백질 수량 증가 측면에서 우수하였다.

• 한국수산과학회지
• /
• 제30권2호
• /
• pp.161-174
• /
• 1997

진해만의 저서동물 군집의 생태학적 연구의 일환으로 주요 우점종의 분포 양상을 조사하였다. 출현종의 개체수 및 출현 빈도를 동시에 고려하여 우점종을 선별한 결과, 총 287종 가운데 상위 13종이 전체 출현 개체수의 $70\%$ 이상을 차지하였으며, 다모류가 11종 $(85\%)$, 연체동물의 2종 $(15\%)$을 차지하였다. 개체수 우점종은 다모류의 Lumbrineris longifolia와 Paraprionospio pinnata 및 이매패류인 Theora fragilis였으며, 각각 평균 $173.3({\pm}55.4),\;169.3({\pm}257.8),\;81.8({\pm}93.3)$ 개체/$m^2$이 밀도였다. 한편 생물량 우점종은 14종이 전체 채집된 생물량의 $75\%$ 이상을 차지하고 있으며 다모류가 6종, 연체동물이 7종, 극피동물이 1종이었다. 이매패류인 Macoma tokyoens그 및 Periglypta cf. puerpera, 그리고 다모류인 Paraprionospio pinnate의 생물량이 우점하여 이들이 전체 생물량의 약 $45\%$ 이상을 차지하였으며, 생물량은 각각 $14.69({\pm}30.17),\;8.17({\pm}29.40),\;4.17({\pm}11.93)\;g/m^2$이었다. 한편 이들 우점종 가운데 6종의 다모류와 1종의 이매패류 (Lumbrineris longifolia, Paraprionspio pinnata, Aricidea jeffreysii, Magelona japonica, Sigambra tentaculata, Raetellops pulchella, Glycinde gurjanovae)에 대하여 분포 특성을 논의하였다. 대체로 유기물 함량이 높은 내만해역에 주로 서식하는 Lumbrineris longifolia, Paraprionospio pinnata, Aricidea jeffreysii, Sigambra tentaculta, Raetellops pulchella와 만의 입구역에 서식하는 Magelona japonica, Glycinde gurjanovae, Sternaspis sutata, Theora fragilis 등의 분포가 특징적이었다. 진해만 전해역에 광범위하게 분포하는 종은 Lumbrineris longifolia, 중앙부 일부 정점에 우점하게 분포하는 종은 Paraprionospio pinnata Aricidea jeffreysii, Sigambra tentaculata로서, 이들은 퇴적물 유기물 함량이 비교적 높은 해역에서 출현하고 있어 유기물 오염의 지표종으로 사용될 수 있는 가능성을 시사하고 있다.

• 한국작물학회지
• /
• 제63권4호
• /
• pp.294-303
• /
• 2018

중부 평야지에서 사료용 벼 주요품종의 수확시기 별 사료성분 및 수량성 분석을 기초로 각 품종별 최적 수확시기를 구명하고자 국립식량과학원 중부작물부 수원 벼 시험 포장에서 '영우' 등 사료용 벼 5품종으로 시험하여 2년간 검토한 연구 결과는 다음과 같다. 1. 시험에 사용한 5 품종 중 '녹양'을 제외하고 출수 후 30일에는 대략 65% 내외의 수분함량을 보였다. 이는 수분함량 면에서는 '녹양'은 출수 후 20~30일 사이, 그 외 품종은 출수 후 30일경에 수확하면 양질 사일리지 조제에 큰 문제가 없을 것으로 판단된다. 2. 사료용 벼 주요 품종의 수확시기 별 사료가치를 분석한 결과, 조단백질과 조회분은 시험에 사용한 품종 모두에서 수확시기가 늦어질수록 감소하는 경향을 보였다(p<0.05). 그러나 조지방은 시험한 품종에서 대체적으로 출수 일수가 증가할수록 감소하다가 그 이 후에는 다시 증가하는 경향을 보였다(p<0.05). ADF와 NDF 함량은 모든 시험 품종에서 수잉기부터 출수 후 45일까지 지속적으로 감소하는 경향을 보였다(P<0.05). ADF 함량으로 추정된 TDN함량은 수확시기가 늦어질수록 시험에 사용한 모든 품종에서 점차 증가하였으며 '녹우'를 제외한 4품종의 TDN함량이 70% 이상이 되는 시점은 출수 후 30일경이었다. 3. 건물수량성의 경우 수확시기가 늦어짐에 따라 시험한 모든 품종에서 유의하게 증가하였다(p<0.05). 각 품종별 최대건물수량은 출수 후 45일이나 유의적으로 차이가 없는(p<0.05) 출수 일수는 '목우', '녹우'는 출수 후 30일, '녹양'과 '영우'는 출수 후 40일, '목양은 출수 후 20일이었다. 4. 이상의 결과인 수분함량, 사료성분, TDN함량, 건물수량성과 사료용 벼 재배 및 이용특성인 도복, 탈립성, 종실의 미소화성, 식용벼로서의 전환 등을 고려해 볼때 각 품종별 수확적기는 대체로 황숙기이나 '녹양'과 '목우'는 출수 후 30~40일, '목양', '녹우', '영우'는 황숙기인 출수 후 30일 경이 적합하다고 판단된다.

• Radiation Oncology Journal
• /
• 제19권2호
• /
• pp.100-106
• /
• 2001

목적 : 국소 진행된 비인강암으로 유도 화학요법 혹은 동시 화학요법 및 방사선 치료를 받은 환자들의 부작용 및 단기 생존율을 비교하기 위하여 본 연구를 시행하였다. 대상 및 방법 : 1989년 10월부터 1998년 5월까지, 비인강암으로 진단받고 유도 화학요법 혹은 동시 화학요법 및 방사선 치료를 받은 62명의 환자들을 대상으로 후향적 분석을 시행하였다. 유도 화학요법군은 50명, 동시 화학요법군은 12명이었다. 나이, 성, 전신 수행능력, 조직학적 유형 등은 양군에서 비교적 고르게 분포하였다. 병기 분포는, 유도 화학요법군의 경우 IIB가 $32\%$, III가 $30\%$, 그리고 IV가 $38\%$였으며, 동시 화학요법군은 각각 50, 33.3, $16.7\%$였다. 양군에서 화학요법 약제는 CF (cisplatin and 5-FU)였고, 약제 투여 방법은 동일하였다. Cisplatin $100\;mg/m^2$을 day 1에, 5-FU $1,000\;mg/m^2$을 day $2\~6$에 각각 정맥투여하였으며 3주 간격으로 반복하였다. 방사선 치료 종료시까지 시행된 화학요법의 횟수는 양군 모두 테$1\~3$회(중앙값 2회)였다. 방사선 치료는 양군 모두 일일선량 $1.8\~2.0\;Gy$를 주 5회 조사하였다. 총 방사선량은, 유도 화학요법군의 경우 $69.4\~86\;Gy$ (중앙 선량 73.4 Gy), 동시 화학요법군은 $69.4\~75.4\;Gy$ (중앙 선량 70.8 Gy)였다. 추적기간은, 유도 화학요법군의 경우 $9\~l16$개월(중앙값 40.5개월), 동시 화학요법군은 $14\~29$개월(중앙값 21개월)이었다. 결과 : 전체 환자에서 2년 생존율은 $78.7\%$였다. 치료 방법별 2년 전체 생존율은, 유도 화학요법군이 $77\%$, 동시 화학요법군은 $87\%$였으며(p>0.05), 2년 무병 생존율은 각각 $56\%$ 와 $81\%$였다(p>0.05). 최종 치료에 대한 완전 관해율은 $75.5\%$와 $91.7\%$로 동시 화학요법군에서 높았으나 통계학적 유의성은 없었다. 방사선 치료시 grade $3\~4$의 혈액학적 독성은 양군에서 차이가 없었고, grade 2의 백혈구 감소가 동시 화학요법군에서 많았다 $(18\%\;vs\;66.7\%)$. Grade $3\~4$의 점막염은 동시 화학요법군에서 많았다$(4.0\%\;vs\;33.3\%)$. 전체적으로 grade $3\~4$의 급성 부작용이 동시 화학요법군에서 빈번하였고$(6.0\%\;vs\;41.7\%,\;p=0.005)$, 부작용으로 사망한 경우는 없었다. 결론 : 국소 진행된 비인강암에서 동시 화학요법을 시행함으로써 치료의 반응율과 2년 무병 생존율이 향상되는 경향을 보였으나, 통계학적 의의는 없었다. 따라서, 좀더 많은 대조군과 장기 추적관찰이 요구된다.

• 한국유기농업학회지
• /
• 제27권3호
• /
• pp.365-380
• /
• 2019

본 연구는 봄에 출생한 송아지 10두(3.90±0.26개월령)와 가을에 출생한 송아지 10두(4.10±0.30개월령)를 약 24개월간 조사료와 농후사료를 분리 급여하거나 또는 TMR을 급여하여 분만 후의 유생산과 비유지속성을 조사하였다. 처리구는 사료 급여 형태와 분만계절의 2가지 요인으로 육성기에 조사료와 농후사료를 분리하여 급여하고 봄에 분만한 CS구, 육성기에 조농분리 급여한 후 가을 분만한 CF구, 육성기에 TMR을 급여한 후 봄에 분만한 TS구 그리고 육성기에 TMR을 급여하고 가을에 분만한 TF구의 4가지로 구분하였다. 육성기의 건물섭취량은 분만계절의 영향을 받아 가을에 분만한 구가 봄에 분만한 구보다 높게 나타났으나(P<0.01), 사료급여 방법에 의해서는 유의한 차이를 나타내지 않았다. CP 섭취량과 TDN 섭취량은 분만계절(P<0.05)과 사료급여(P<0.01)에 의해 유의한 영향을 받았으며 가을에 분만한 구가 봄에 분만한 구에 비해 약 1.2% 높게 나타났고 TMR 급여구가 조농분리 급여구보다 약 4.7%정도 높은 결과를 보였다. 평균 산유량과 9, 10개월차의 산유량은 사료급여 방법에 의해 유의한 영향을 받아 TMR 급여구(TS구, TF구)가 조농분리 급여구(CS구, CF구) 보다 높은 결과를 나타내었다(평균 P<0.05; 9개월차와 10개월차 P<0.01). 평균 비유지속성은 분만계절(P<0.05)과 사료급여 방법(P<0.01)에 의해 유의한 영향을 받아 가을에 분만한 구가 봄에 분만한 구에 비해 높은 결과를 보였으며 TMR 급여구가 조농분리 급여구 보다 높은 결과를 나타냈다. 산유량의 결과와 유사하게 비유후기인 9, 10개월차에 사료급여에 의해 통계적 유의차를 보여(P<0.01) TMR 급여구가 약 8% 높았으며, 7개월차(P=0.12)와 8개월차(P=0.09)에도 높은 경향을 나타내었다. 따라서 육성기에 TMR을 급여하고 가을에 분만할 경우 초산우의 산유량과 비유지속성 증진에 효과적일 것으로 사료된다. 평균 유지율은 사료급여의 영향을 받아 TMR 급여구가 조농분리 급여구 보다 7.8% 높았는데(P<0.01) 육성기 TMR 급여가 분만 후 섭취행동에 영향을 주어 반추위의 안정화로 인해 유지율이 증가한 것으로 사료된다. 분만 후 3개월차에는 봄에 분만한 구가 가을에 분만한 구보다 유지방 함량이 낮았으며(P<0.05) 이는 계절적 차이에 의한 것으로 사료된다. MUN은 평균과 4, 5 및 6개월차에 조농분리 급여구에서 유의하게 높았다(4개월차 P<0.01; 5, 6개월차 P<0.05). 체세포수는 평균과 분만 후 3, 4개월차에 TMR 급여구가 조농분리 급여구 보다 높은 결과를 보였다(P<0.01). 결과를 종합해보면, 육성기에 TMR 급여방법을 적용하고 가을에 분만하는 경우 봄에 분만하는 경우에 비해 여름철 고온의 영향을 비교적 덜 받아 산유량과 비유지속성 뿐만 아니라 유지율 등이 개선되어 경제성이 향상되는 효과를 보았다. 그러나 본 실험은 봄과 가을의 분만계절이 미치는 영향만을 보았기 때문에 여름과 겨울의 분만계절의 영향에 대한 추가 실험이 필요할 것으로 사료된다.