• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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• 한국현미경학회 1995년도 제26회 춘계학술대회 연제초록
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• pp.58-58
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• 1995

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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• 한국현미경학회 2005년도 제36차 춘계학술대회 및 제3회 HVEM 이용자 워크샵
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• pp.160-162
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• 2005

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2015년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.143-144
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• 2015

Here we report the Ar-ion milling rates of ultrathin Si and GaAs single crystals. The thickness change is measured using convergent beam electron diffraction (CBED) technique with the help of Bloch wave simulation method. This study suggests the experimental procedures to determine the references for an etching rate to reduce a sample thickness or to remove the damaged sample surface using Ar-ion source.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2006년도 추계학술대회 논문집 Vol.19
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• pp.14-14
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• 2006

Al2O3 단결정을 기판을 이용하여 HVPE법으로 GaN를 성장한 후 얻어진 GaN wafer는 N-face에 동종인 GaN를 성장하였다. 이때 동종 성장은 Al2O3와의 열팽창계수 차이로 야기된 휨을 제거할 수 있었으며, 양쪽 면은 결합 밀도가 급격히 감소하였다. 또한 표면 분극을 조사하기 위하여 에칭후 SEM 형상과 CBED를 조사 하였으며 특히 N-face에서의 표면 형상과 PL의 변화를 조사하였다. 이때 N-face의 변화는 초기의 N-face의 특성과 다른 양상을 보여 주고 있으며, DXRD와 PL 분석 걸과 결정성은 두배나 높은 결과를 보여주고 있다.

• Applied Microscopy
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• 제25권3호
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• pp.99-107
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• 1995

The morphological changes of primary solid particles as a function of process time on hypereutectic Al-15.5wt%Si alloy during semi-solid state processing with a shear rate of $200s^{-1}$ are studied. In this alloy, it was observed that primary Si crystals are fragmented at the early stage of stirring and morphologies of primary Si crystals change from faceted to spherical during isothermal shearing for 60 minutes. To understand the role of Al dissolved in the primary Si crystal by shear stress at high temperature, lattice parameters of the primary Si crystals are determined as a variation of high order Laue zone(HOLZ) line positions measured from convergent beam electron diffraction(CBED) pattern. The lattice parameter of the primary Si crystal in the rheocast Al-15.5wt%Si alloy shows tensile strain of about 5 times greater than that of the gravity casting. Increase of the lattice parameter by rheocasting is due to the increased amount of Al dissolved in the primary Si crystal accelerated by shear stress at high temperature. The amounts of solute Al in the primary Si crystal are measured quantitatively by EPMA method to confirm the CBED analysis.

• Applied Microscopy
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• 제36권spc1호
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• pp.47-56
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• 2006

Improvements are made to existing primitive cell volume measurement method to provide a real-time analysis capability for the phase analysis of nanocrystalline materials. Simplification is introduced in the primitive cell volume calculation leading to fast and reliable method for nano-phase identification and is applied to the phase analysis of Mo-Si-N nanocoating layer. In addition, comparison is made between real-time and film measurements for their accuracy of calculated primitive cell volume values and factors governing the accuracy of the method are determined. About 5% accuracy in primitive cell determination is obtained from camera length calibration and this technique is used to investigate the cell volume variation in WC-TiC core-shell microstructure. In addition to chemical compositional variation in core-shell type structure, primitive cell volume variation reveals additional information on lattice coherency strain across the interface.

• Applied Microscopy
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• 제51권
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• pp.10.1-10.9
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• 2021

We investigate the sensitivity of symmetry quantification algorithms based on the profile R-factor (R_p) and the normalized cross-correlation (NCC) coefficient (γ). A DM (Digital Micrograph^©) script embedded in the Gatan digital microscopy software is used to develop the symmetry quantification program. Using the Bloch method, a variety of CBED patterns are simulated and used to investigate the sensitivity of symmetry quantification algorithms. The quantification results show that two symmetry quantification coefficients are significantly sensitive to structural changes even for small strain values of < 1%.

• 한국주조공학회지
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• 제15권5호
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• pp.514-522
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• 1995

The microstructural evolution with isothermal stirring during semi-solid state processing of hypoeutectic Al-6.2wt%Si alloy was studied. Substructure of the individual primary solid particle in the slurry was investigated through transmission electron microscopy(TEM). Formation of subgrain boundaries on the rheocast Al-6.2wt%Si alloy is observed and the misorientation between the grains is shown typically under 2 degrees by analyzing selected area diffraction (SAD) and convergent beam electron diffraction (CBED) patterns. The existence of high angle grain boundaries are also observed in the alloy. Based upon these observations, mechanisms for the primary particles fragmentation are considered. With isothermal stirring, the dislocation density increases, and the evolution of dislocation cell structure takes place, which is interpreted as a process of achieving uniform deformation by dynamic recovery under applied shear stress.

• Applied Microscopy
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• 제36권3호
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• pp.155-163
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• 2006

합성 사파이어 기판 시료-GaN반도체의 성장기판으로 사용된-의 내재하는 결함 형태를 전통적인 투과식 전자현미경 조사기법 (TEM), LACBED, HAADF-STEM 방법으로 관찰 분석하였다. 이 시료에서 주로 발견된 결함들은 두께 ${\sim}2nm$에서 32nm를 가진(0001)면 미소 쌍정(basal microtwins), 모체 결정과의 계면 주위의 변형 결함, (0001)면 전위결함(basal dislocations), 그리고 {$2\bar{1}\bar{1}3$} 피라미드 미끄럼면 중 한 면에서 일어나는 복잡한 형태의 전위 결함들이다 이들(0001)면 및 {$2\bar{1}\bar{1}3$}면에 전위 결함들은 미소 쌍정과 강하게 관련되어 일어나는 것으로 보인다. 또한 전위결함 밀도는 매우 균일하지 않으며 수 ${\mu}m$의 크기의 결함 밀집 영역에서는 그 밀도가 ${\sim}10^{10}/cm^2정도만큼 높지만 시료 전체에서의 평균은 대체적으로 ${\sim}10^5/cm^2보다 작다. 이 값은 보통 합성되는 결정에서 평균적으로 예상되는 수치이다.

• Applied Microscopy
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• 제29권3호
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• pp.281-289
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• 1999

교반관법으로 제조한 $AZ91HP/SiC_p$ Mg 복합재료를 틱소포팅하여 미세조직과 존재상들을 조사하였다. $AZ91HP/SiC_p$ Mg 복합재료를 반응고 가공시 액상율 50% 이상에서 완전 충전이 이루어겼으며 전형적인 반응고 조직을 보였다. 복합재료내의 강화상이 초정 $\alpha$상의 합체, 조대화를 억제하여 보다 용이하게 thixotropic 조직을 가질 수 있었다. TEM 관찰결과, 복합재료내의 계면반응 생성물은 MgO, $Mg_2Si$ 및 $Al_{12}Mg_{17}$등이며, 직접 가압시 정출상으로 나타나는 비평형상인 decagonal T상이 관찰되었으며, 이 상은 간접가압시 안정상인 $Al_6Mn$의 형태로 관찰되었다. 이는 간접가압시 승온시간이 직접가압보다 상대적으로 길어, 비평형의 decagonal T상이 안정한 $Al_6Mn$상으로 생성된 것으로 판단된다. 아직까지 생성과정이 명확하진 않으나 교반관법으로 제조 후, 2차가압 성형시 비평형상의 존재는 재료의 강화에 기여할 것으로 판단된다.