TEM의 CBED(Convergent Beam Electron Diffraction)법을 이용한 반도체 소자의Strain 거동 분석
- Lee, Ju-Hui ;
- Lee, Deok-Won ;
- Kim, Won ;
- Kim, Ho-Jeong ;
- Lee, Sun-Yeong ;
- Seo, Ju-Hyeong ;
-
Park, Chan-Gyeong
- 이주희 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
- 이덕원 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
- 김원 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
- 김호정 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
- 이순영 (포항공과대학교 신소재공학과) ;
- 서주형 (포항공과대학교 신소재공학과) ;
-
박찬경
((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀)
- Published : 2005.05.01
Abstract
Keywords